可自动插片的菱形石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽、连接挡板、固定板、侧垫、插片机、自动安插杆以及顶板，所述限位齿槽设置于连接挡板的左侧，所述连接挡板设置于固定板的左侧，所述侧垫设置于固定板的上下两端，所述插片机通过自动安插杆固定设置于固定板的右侧，所述顶板设置于插片机的右侧，使用时，通过限位齿槽的内部设置的矫正感应器进行精确对位硅片，利用插片机实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，同时上下两侧的侧垫保护硅片，提高自动插片的使用安全度。本实用新型专利技术可以通过插片机部件实现自动化插片，同时可利用具有矫正感应器的限位齿槽进行插片角度的矫正，提高自动化插片的精度，进而提高插片效率。提高插片效率。提高插片效率。

【技术实现步骤摘要】
可自动插片的菱形石英舟


[0001]本技术涉及石英
，具体的说是一种可自动插片的菱形石英舟。

技术介绍

[0002]石英是主要造岩矿物之一，一般指低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物。广义的石英还包括高温石英和柯石英等，无色透明，常含有少量杂质成分，而变为半透明或不透明的晶体，质地坚硬，石英是地球表面分布最广的矿物之一，石英是硅石矿的主要矿物组分，含硅46.70％。有三方晶系的低温石英(α－石英)和六方晶系的高温石英(β－石英)之分。一般所称石英均指低温石英。三方晶系，晶体呈六方柱状，双晶很普遍。通常呈晶簇状、料状、块状集合体。呈多种颜色，无色透明者称为水晶，乳白色者称为乳石英，紫色者称为紫水晶，浅玫瑰色者称为蔷薇石英，烟色者称为烟水晶，褐色者称为茶晶等。玻璃光泽。硬度7，密度2.65g/cm3。不溶于除氢氟酸以外的任何酸。地壳中分布最广的矿物之一，为多种岩石和矿床的矿物组分。用于制造硅胶、水玻璃及各种硅化物和硅酸盐，用作塑料、橡胶的填料。还广泛用于玻璃、陶瓷、石油、冶金、铸造、建材等部门。
[0003]由于现有的石英舟在加工过程中要使用手工进行装载硅片到石英舟上，手工插片效率低，也容易将硅片破坏，因此我们提出一种可自动插片的菱形石英舟，用以克服以上问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的上述不足之处，本技术目的是提供一种可自动插片的菱形石英舟。
[0005]本技术为实现上述目的所采用的技术方案是：可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽、连接挡板、固定板、侧垫、插片机、自动安插杆以及顶板，所述限位齿槽设置于连接挡板的左侧，所述连接挡板设置于固定板的左侧，所述侧垫设置于固定板的上下两端，所述插片机通过自动安插杆固定设置于固定板的右侧，所述顶板设置于插片机的右侧。
[0006]作为本技术再进一步的方案：所述限位齿槽的内部设置有矫正感应器，所述感应器采用电感式距离测量传感器ALPHAPROX。
[0007]作为本技术再进一步的方案：所述固定板包括拼接部件、安装条，所述拼接部件31设置的三组菱形结构依次拼接于固定板的表面，所述安装条设置的数量为二个，且所述安装条分别设置于固定板的两侧。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述侧垫设置的数量为二个，所述侧垫包括弹簧、缓冲层，所述弹簧设置有若干个，且所述弹簧依次设置于缓冲层的内侧，所述缓冲层设置于侧垫的外侧。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述插片机包括插片槽、螺纹孔，所述插片槽设置于插片机的左侧，所述螺纹孔设置的数量为二个，且所述螺纹孔分别设置于插片槽的上下两部。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述插片机通过外部的螺栓与螺纹孔固定安装。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述自动安插杆设置的数量为二个。
[0012]本技术的有益效果：该种可自动插片的菱形石英舟可以通过插片机部件实现自动化插片，同时可利用具有矫正感应器的限位齿槽进行插片角度的矫正，提高自动化插片的精度，进而提高插片效率。
附图说明
[0013]图1为本技术整体的结构示意图；
[0014]图2为本技术中固定板的结构示意图；
[0015]图3为本技术中侧垫的结构示意图；
[0016]图4为本技术中插片机的结构示意图。
[0017]图中：1限位齿槽、2连接挡板、3固定板、31拼接部件、32安装条、4侧垫、41弹簧、42缓冲层、5插片机、51插片槽、52螺纹孔、6自动安插杆、7顶板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-4，可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽1、连接挡板2、固定板3、侧垫4、插片机5、自动安插杆6以及顶板7，限位齿槽1设置于连接挡板2的左侧，连接挡板2设置于固定板3的左侧，侧垫4设置于固定板3的上下两端，插片机5通过自动安插杆6固定设置于固定板3的右侧，顶板7设置于插片机5的右侧。
[0020]本技术中：
[0021]进一步的是，限位齿槽1的内部设置有矫正感应器，感应器采用电感式距离测量传感器ALPHAPROX，通过感应距离进行精确对位硅片插片，提高自动插片精度。
[0022]进一步的是，固定板3包括拼接部件31、安装条32，拼接部件31设置的三组菱形结构依次拼接于固定板3的表面，安装条32设置的数量为二个，且安装条32分别设置于固定板3的两侧，便于通过安装条32分别与连接挡板2、插片机5连接。
[0023]进一步的是，侧垫4设置的数量为二个，侧垫4包括弹簧41、缓冲层42，弹簧41设置有若干个，且弹簧41依次设置于缓冲层42的内侧，缓冲层42设置于侧垫4的外侧，可有效保护硅片不被损坏。
[0024]进一步的是，插片机5包括插片槽51、螺纹孔52，插片槽51设置于插片机5的左侧，螺纹孔52设置的数量为二个，且螺纹孔52分别设置于插片槽51的上下两部，插片机5通过外部的螺栓与螺纹孔52固定安装，可通过插片机5部件实现自动化插片。
[0025]进一步的是，自动安插杆6设置的数量为二个，可用于辅助插片机5自动控制。
[0026]本技术的工作原理是：使用时，通过限位齿槽1的内部设置的矫正感应器进行精确对位硅片，利用插片机5实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，同时
上下两侧的侧垫4保护硅片，提高自动插片的使用安全度。本技术可以通过插片机部件实现自动化插片，同时可利用具有矫正感应器的限位齿槽进行插片角度的矫正，提高自动化插片的精度，进而提高插片效率。
[0027]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0028]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.可自动插片的菱形石英舟，包括限位齿槽(1)、连接挡板(2)、固定板(3)、侧垫(4)、插片机(5)、自动安插杆(6)以及顶板(7)，其特征在于：所述限位齿槽(1)设置于连接挡板(2)的左侧，所述连接挡板(2)设置于固定板(3)的左侧，所述侧垫(4)设置于固定板(3)的上下两端，所述插片机(5)通过自动安插杆(6)固定设置于固定板(3)的右侧，所述顶板(7)设置于插片机(5)的右侧。2.根据权利要求1所述的可自动插片的菱形石英舟，其特征在于：所述限位齿槽(1)的内部设置有矫正感应器，所述感应器采用电感式距离测量传感器ALPHAPROX。3.根据权利要求1所述的可自动插片的菱形石英舟，其特征在于：所述固定板(3)包括拼接部件(31)、安装条(32)，所述拼接部件31设置的三组菱形结构依次拼接于固定板(3)的表面，所述安装条(32)设置的数量为二个，且所述安装条(...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰锋，
申请(专利权)人：浙江泓芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：