振荡器装置、光偏转器以及使用光偏转器的光学器械制造方法及图纸

一种振荡器装置及其制造方法，能够大范围且高速度地进行振荡部件的转动惯量或者重心位置的调节。其中，该振荡部件绕振荡轴线（１７）振荡，并且该振荡部件包含可动元件（１１）和质量调节部件（１９），在可动元件（１１）和质量调节部件（１９）之间限定有空腔（３０），从而，通过对质量调节部件（１９）进行激光束照射，该质量调节部件的与空腔相邻近的一部分被部分地去除，该要被去除的部分包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种振荡器装置，该振荡器装置具有用于振荡运动的被支撑的可动元件；一种具有该振荡器装置的光偏转器；一种例如使用该光偏转器的光学器械，例如成像装置或显示装置；以及一种制造振荡装置的方法。本专利技术的光偏转器适合用在基于光偏转扫描而投射图象的投影显示装置中和例如具有电子照相过程的激光束打印机或数字复印机的成像装置中。
技术介绍
对于这样的光偏转器，已经提出了各种类型的光学扫描系统或光学扫描装置，该光学扫描系统或光学扫描装置中，具有反射表面的可动元件正弦地振荡以使光偏转。与采用旋转多边形反射镜(多角反射镜)的扫描光学系统相比，具有基于谐振现象而正弦振荡的光偏转器的光学扫描系统具有如下有利的特征。即，可以将光偏转器的尺寸制造地非常小；能量消耗非常低；特别是由单晶硅制成并且由半导体工艺生产的这些光偏转器在理论上不具有金属疲劳性并且具有优良的耐用性。在基于谐振现象的这样的光偏转器中，对于期望的驱动频率来讲，预先确定了期望达到的固有振荡模式的频率。存在一些用于制造光偏转器的方法的较好提议。日本未审公开(Laid-Open)专利申请No.2002-40355公开了一种方法，其中，采用了包括可动板的平面电反射镜，该可动板具有反射表面和线圈，并且被弹性地支撑，以相对扭转轴线进行振荡运动，并且其中，电反射镜具有形成在所述可动板的相对端部处的质量负载部分。激光束投射在该质量负载部分上，以去除其质量，从而调整转动惯量(moment of inertia)。由此实现所需的频率。日本未审公开专利申请No.2004-219889公开了一种方法，其中，可动板涂覆有例如典型的树脂的质量件，基于与上述类似的原理来调整频率。
技术实现思路
在上述的方法中，如果应当进行大量的调整，则需要花费大量的时间来进行调整加工过程。此外，采用在这些方法中用到的调整原理，非常难以迅速和同时地调整频率和重心位置。根据本专利技术的一个方面，这些不便之处可以通过制造这样的振荡器装置的方法来消除，该振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部以及支撑部件，该振荡部件由弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡。该方法的特征在于用可动元件和用于调节该振荡部件的质量的质量调节部件形成所述振荡部件，同时在该可动元件和该质量调节部件的一部分之间形成空腔；然后采用激光束照射该质量调节部件，以部分地去除该质量调节部件的邻近于该空腔的材料。所述这样去除的材料包括质量调节部件的未被激光束照射的部分。根据本专利技术的另一方面，本专利技术提供了一种制造振荡器装置的方法，该振荡器装置包括振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，该振荡部件由该弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡，所述方法的特征在于由可动元件形成所述振荡部件，该可动元件具有用于调节该振荡部件质量的突出部，该突出部从该可动元件沿平行于该振荡轴线的方向延伸；以及将激光束投射到该突出部的切割位置处，从而部分地去除该可动元件，去除的部分包括该突出部的范围从该切割位置延伸到该突出部的末端处的未被激光束照射到的部分；其中，通过控制该切割位置来调整由激光束投射实现的去除的量。根据本专利技术的另一方面，本专利技术提供了一种制造振荡器装置的方法，该振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，该振荡部件由该弹性支撑部弹性地支撑以绕振荡轴线振荡，所述方法的特征在于由可动元件形成所述振荡部件，该可动元件具有多个用于调节该振荡部件的质量的突出部，所述突出部设置在该振荡轴线的相对两侧；沿切割线切割至少一个所述突出部，从而部分地去除该可动元件，去除包括该突出部的范围从该切割线延伸到该突出部的末端的部分；其中，对该切割线的位置进行控制，以调整该振荡部件的转动惯量和该振荡部件的重心与该振荡轴线的偏离距离。根据本专利技术的又一个方面，本专利技术提供一种振荡器装置，其包括振荡部件；弹性支撑部；以及支撑部件，其中，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述振荡部件具有可动元件和用于调节所述振荡部件质量的质量调节部件；并且其中，在所述可动元件和所述质量调节部件的一部分之间形成空腔。根据本专利技术的又一方面，本专利技术提供一种振荡器装置，其包括振荡部件；弹性支撑部；以及支撑部件，其中所述振荡部件由所述弹性部件弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述振荡部件包括可动元件，该可动元件具有用于调节所述振荡部件质量的突出部；其中该突出部从所述可动元件沿平行于该振荡轴线的方向延伸；并且其中，该突出部沿垂至于该振荡轴线的平面的横截面积在振荡轴线的方向上是恒定的。根据本专利技术的另一个方面，本专利技术提出了一种振荡器装置，其包括振荡系统；以及用于驱动所述振荡系统的驱动装置；其中所述振荡系统包括第一振荡部件、第一弹性支撑部、第二振荡部件、第二弹性支撑部；以及支撑部件；其中，所述第一振荡部件包括第一可动元件，该第一可动元件具有用于调节所述第一振荡部件质量的突出部；其中，所述第二振荡部件包括第二可动元件，该第二可动元件具有用于调节所述第二振荡部件质量的突出部；其中，在所述第一和第二可动元件中的每一个上，所述突出部从其可动元件沿平行于该振荡轴线的方向延伸，并且该突出部沿垂直于该振荡轴线的平面的横截面积在振荡轴线方向上是恒定的；其中，所述第一可动元件经由所述第一弹性支撑部由所述第二可动元件支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述第二可动元件经由所述第二弹性支撑部由所述支撑部件支撑，以绕振荡轴线振荡；并且其中所述振荡系统具有至少两个频率不同的固有振荡模式。根据本专利技术的又一方面，本专利技术提供了一种振荡器装置，其包括振荡部件；弹性支撑部；以及支撑部件；其中所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述振荡部件包括可动元件，该可动元件具有多个用于调节所述振荡部件质量的突出部；其中，各突出部成对地形成，每对突出部设置在相对于该振荡轴线对称的位置处；其中，设置在对称位置处的这些突出部具有彼此不同的形状；并且其中，所述振荡部件的重心设置在振荡轴线上。根据本专利技术的又一方面，本专利技术提供了一种振荡器装置，其包括振荡系统；以及用于驱动所述振荡系统的驱动装置；其中所述振荡系统包括第一振荡部件、第一弹性支撑部、第二振荡部件、第二弹性支撑部以及支撑部件；其中所述第一振荡部件包括第一可动元件，该第一可动元件具有多个用于调节所述第一振荡部件质量的第一突出部；其中所述第二振荡部件包括第二可动元件，该第二可动元件具有多个用于调节所述第二振荡部件质量的第二突出部；其中所述多个第一突出部和所述多个第二突出部分别地设置在相对于振荡轴线对称的位置处；其中，所述多个第一突出部和/或所述多个第二突出部中的设置在对称位置处的那些具有彼此不同的形状；其中，所述第一振荡部件的重心和所述第二振荡部件的重心设置在振荡轴线上；其中，所述第一可动元件经由所述第一弹性支撑部由所述第二可动元件弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；其中，所述第二可动元件经由所述第二弹性支撑部由所述支撑部件弹性地支撑，以绕振荡轴线振荡；并且其中，所述振荡系统具有至少两个频率不同的固有振荡模式。根据本专利技术的又一方面，本专利技术提供一种成像设备，其包括光源；基于上述振荡器装置的光偏转器；以及感光部件，其中所述光偏转器使来自所述光源的光偏转，以使得所述光的至少一部分入射到所述感光部件上。根据本专利技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造振荡器装置的方法，所述振荡器装置具有振荡部件、弹性支撑部和支撑部件，所述振荡部件由所述弹性支撑部弹性地支撑，以便可绕振荡轴线进行振荡，所述方法包括：由可动元件和用于调节所述振荡部件的质量的质量调节部件形成所述振荡部件，同时在所述可动元件与所述质量调节部件的一部分之间形成空腔，以及用激光束照射所述质量调节部件，以部分地去除所述质量调节部件中与所述空腔邻近的材料，所述被以此去除的材料包含所述质量调节部件中未被激光束照射的部分。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：加藤贵久，古川幸生，秋山贵弘，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]