一种加热装置及加热方法制造方法及图纸

本发明专利技术适用于半导体器件制造工艺技术领域，提供了一种加热装置及加热方法，加热装置包括加热炉、机械臂、输送机构以及升降机构。加热炉内设置有多个加热层，加热层上设有用于放置玻璃基板的支撑结构，加热炉的两侧设置有进口和出口；机械臂设置于加热炉的进口一侧，用于取放玻璃基板；输送机构用于输送玻璃基板；升降机构设置于加热层和输送机构之间，用于驱使输送机构上升以高于加热层上的支撑结构。本发明专利技术的加热装置，通过设置出口，当机械臂由于故障死机时，启动升降机构驱使输送机构上升，并使得输送机构高于加热层上的支撑结构，此时驱动输送机构，输送机构带动玻璃基板输送至出口处，并打开出口，输送机构将玻璃基板输送至其他工位。其他工位。其他工位。

【技术实现步骤摘要】
一种加热装置及加热方法


[0001]本专利技术属于半导体器件制造工艺
，特别涉及一种加热装置及加热方法。

技术介绍

[0002]液晶显示领域存在许多工序需要用到加热炉加热，比如聚酰亚胺(PI，Polyimide)配向膜涂布工序，需要加热炉加热玻璃基板到230℃左右，使得涂布在玻璃基板上的PI配向膜完成主固化，高分子发生环化反应最终新城可以进行配向需求的薄膜。
[0003]目前PI涂布工序已有的主固化加热炉制程温度为230℃左右，制程时间一般为1200s～1800s。每条线体一共有多座加热炉，每座加热炉有多层独立加热层。主要采用机械臂搬送的方式将将玻璃基板搬送至炉内，当制程时间到达设定时间时，再由机械臂取出，送入下一机构冷却机构进行冷却300s左右。玻璃基板进出炉内通道相同，且必须依赖机械手的搬送。
[0004]当在实际生产过程中如果遇到机械臂发生故障时，晶体管基板一般过加热超过4000s-5000s就会影响配向膜的配向效果从而降低产品品质；彩色滤光片基板由于色阻、聚苯乙烯存在，其对过加热时间更为敏感，一般过加热超过3000s的基板就会存在品质异常，平面转换显示中，配向膜对过加热的敏感程度更高，有时候过加热100s就会造成配向不良品质异常。这些因过加热导致品质异常的基板可能会降低等级，影响效益，或者直接报废，造成原材、人力、时间等资源的巨大损失。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种加热装置及加热方法，旨在解决现有的加热装置中的机械臂发生故障时，可能会导致玻璃基板过加热的技术问题。
[0006]本专利技术是这样实现的，一种主板接地连接结构，包括：
[0007]加热炉，所述加热炉内设置有多个加热层，所述加热层上设有用于放置玻璃基板的支撑结构，所述加热炉的两侧对应所述加热层的位置分别设置有进口和出口；
[0008]机械臂，设置于所述加热炉的进口处，用于取放所述玻璃基板；
[0009]输送机构，设置于所述加热层上，用于输送所述玻璃基板；以及
[0010]升降机构，设置于所述加热层和所述输送机构之间，用于驱使所述输送机构上升以高于所述加热层上的支撑结构。
[0011]本专利技术提供的加热装置的有益效果在于：与现有技术相比，通过设置出口，当机械臂由于故障死机时，启动升降机构驱使输送机构上升，并使得输送机构高于加热层上的支撑结构，此时驱动输送机构，输送机构带动玻璃基板输送至出口处，并打开出口，输送机构将玻璃基板输送至其他工位，解决了现有的加热装置中的机械臂发生故障时，可能会导致玻璃基板过加热的技术问题，可以快速将加热炉内的玻璃基板取出，降低损失，节约成本、空间以及时间。
[0012]在一个实施例中，所述输送机构包括：
[0013]多个支撑轴，沿第一方向间隔设置，相邻的两个支撑轴之间设置有所述支撑结构；
[0014]主动轴；沿与所述第一方向呈预设角度的第二方向设置，所述主动轴与所述支撑轴的端部转动连接；以及
[0015]多个滚轮，多个所述滚轮沿所述支撑轴的轴线方向依次设置，并与所述支撑轴连接，所述滚轮上设置有所述玻璃基板；
[0016]其中，所述支撑结构包括设置于所述加热层上的多个支撑端子，所述支撑端子位于相邻的两个所述支撑轴之间。
[0017]在一个实施例中，所述输送机构还包括：
[0018]主动力传动磁力轮，套设于所述主动轴上，并与所述主动轴固定连接；以及
[0019]从动力传动磁力轮，设置于所述主动力传动磁力轮上，所述从动力传动磁力轮与所述支撑轴固定连接，所述从动力传动磁力轮的轴线与所述主动力传动磁力轮的轴线相交。
[0020]在一个实施例中，所述输送机构还包括：
[0021]齿轮，与所述主动轴连接，用于带动所述主动轮转动。
[0022]在一个实施例中，所述升降机构包括：
[0023]支撑架，与所述支撑轴连接；以及
[0024]驱动组件，设置于所述加热层上，所述驱动组件的驱动端与所述支撑架连接。
[0025]在一个实施例中，所述支撑架包括：
[0026]第一支撑杆，沿所述第一方向设置；以及
[0027]第二支撑杆，沿所述第二方向设置，并与所述第一支撑杆的端部连接；以及
[0028]第三支撑杆，沿所述第二方向设置于所述第一支撑杆上，并与所述第一支撑杆连接，所述第三支撑杆与所述支撑轴连接。
[0029]在一个实施例中，所述支撑架还包括：
[0030]支撑轴承，设置于所述第三支撑杆上，并套设于所述支撑轴上。
[0031]在一个实施例中，所述加热装置还包括：
[0032]第一炉门，设置于所述加热炉的进口处，并与所述加热炉转动连接；以及
[0033]第二炉门，设置于所述加热炉的出口处，并与所述加热炉转动连接。
[0034]在一个实施例中，该加热装置还包括：
[0035]卡夹搬送机，设置于所述出口处，用于接收输送机构输送的玻璃基板。
[0036]本专利技术的另一目的在于提供一种加热方法，应用于上述所述的加热装置，所述加热方法包括
[0037]S101：打开加热炉的进口，使得机械臂将玻璃基板放入加热层上，并使得升降机构驱使输送机构下降，以使得输送机构的高度低于支撑结构的高度；
[0038]S102：当加热完成时，使得升降机构上升，带动输送机构上升，使得输送机构输送玻璃基板至出口处；
[0039]S103：打开出口，输送机构输送玻璃基板流出，关闭出口，并打开进口。
[0040]本专利技术提供的加热方法的有益效果在于：与现有技术相比，通过采用上述任意实施例中的加热装置，可以及时将玻璃基板输送出，避免玻璃基板的过加热。
附图说明
[0041]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0042]图1是本专利技术实施例提供的加热装置的主视结构示意图；
[0043]图2是本专利技术实施例提供的加热装置除去机械臂和卡夹搬送机的俯视结构示意图；
[0044]图3图2中A部分的局部放大结构示意图；
[0045]图4是本专利技术实施例提供的加热装置除去机械臂和卡夹搬送机的侧视结构示意图一；
[0046]图5是图4中B部分的局部放大结构示意图；
[0047]图6是本专利技术实施例提供的加热装置除去机械臂和卡夹搬送机的侧视结构示意图二；
[0048]图7是本专利技术实施例提供的加热装置除去机械臂和卡夹搬送机的侧视结构示意图三；
[0049]图8本专利技术实施例提供的加热方法的流程图。
[0050]其中，图中各附图标记：
[0051]1-加热炉；11-加热层；12-进口；13-出口；14-第一炉门；15-第二炉门；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热装置，其特征在于，包括：加热炉，所述加热炉内设置有多个加热层，所述加热层上设有用于放置玻璃基板的支撑结构，所述加热炉的两侧对应所述加热层的位置分别设置有进口和出口；机械臂，设置于所述加热炉的进口处，用于取放所述玻璃基板；输送机构，设置于所述加热层上，用于输送所述玻璃基板；以及升降机构，设置于所述加热层和所述输送机构之间，用于驱使所述输送机构上升以高于所述加热层上的支撑结构。2.如权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构包括：多个支撑轴，沿第一方向间隔设置，相邻的两个支撑轴之间设置有所述支撑结构；主动轴；沿与所述第一方向呈预设角度的第二方向设置，所述主动轴与所述支撑轴的端部转动连接；以及多个滚轮，多个所述滚轮沿所述支撑轴的轴线方向依次设置，并与所述支撑轴连接，所述滚轮上设置有所述玻璃基板；其中，所述支撑结构包括设置于所述加热层上的多个支撑端子，所述支撑端子位于相邻的两个所述支撑轴之间。3.如权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构还包括：主动力传动磁力轮，套设于所述主动轴上，并与所述主动轴固定连接；以及从动力传动磁力轮，设置于所述主动力传动磁力轮上，所述从动力传动磁力轮与所述支撑轴固定连接，所述从动力传动磁力轮的轴线与所述主动力传动磁力轮的轴线相交。4.如权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述输送机构还包括：齿轮，与所述主动轴连接，用于带动所述主动轮转动。5.如权利要求4所述的加热装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：马越，李伟，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，
类型：发明
国别省市：