本发明专利技术提供了一种靶材焊接、冷却一体化装置及其运行方法，所述一体化装置包括焊接平台和冷却平台，所述焊接平台和冷却平台位于同一平面上；所述焊接平台上设有移动加热板，所述移动加热板的下方连接有传动组件，所述传动组件包括上下移动的传动组件和水平移动的传动组件；所述冷却平台上方设有加压组件。本发明专利技术所述装置通过将焊接平台和冷却平台集成于同一装置内，能够一体化实现靶材组件的焊接加热、自动搬运以及加压冷却，省去了人工搬运，避免了人工搬运过程中可能发生震动而导致的焊接面异常，焊接结合率较高，并降低了搬运过程的安全隐患；所述装置可自动化进行，能够快速实现靶材组件的焊接及冷却，节省时间，降低成本。本。本。
【技术实现步骤摘要】
一种靶材焊接、冷却一体化装置及其运行方法
[0001]本专利技术属于靶材制备
，涉及一种靶材焊接、冷却一体化装置及其运行方法。
技术介绍
[0002]靶材是一种用于溅射镀膜的溅射源，在利用靶材进行溅射镀膜之前，需要将靶材固定至背板上形成靶材组件，背板能够被固定安装至溅射基台上，以支撑靶材，并传导热量。靶材与背板的固定通常采用焊接固定的方式，在焊接平台上放置靶材和背板，并在两者的焊接面上涂布焊料，通过焊接平台加热靶材和背板至焊料熔化后，将靶材和背板的焊接面相对设置并贴合，然后将其冷却，待焊料凝固后形成靶材组件。
[0003]为了避免焊接平台重复性升温与降温，靶材的焊接与冷却通常需要分开进行，即焊接平台跟冷却平台分开设置，在焊接过程中需要把焊接好的靶材放置到冷却平台上进行加压冷却，搬运过程需要两人合力人工搬运，而且人工搬运过程中可能发生震动而导致焊接面异常，焊接结合率降低，同时搬运过程也存在安全隐患，因而需要对焊接及冷却过程进行改进。
[0004]CN 110270732A公开了一种用于靶材焊接的吊装治具及靶材焊接装置，所述吊装治具包括：载物平台和固定设置于所述载物平台的吊环；至少一个挡板组，包括面对面设置的两块挡板，所述挡板设置在所述载物平台上，适于对设置于所述载物平台的背板进行限位。所述靶材焊接装置包括适于对背板进行加热的加热平台，还包括所述吊装治具和冷却平台，所述载物平台用于放置背板，所述吊装治具适于在所述加热平台和冷却平台之间运动，以加热背板或冷却背板。通过采用吊装治具来转移背板，将背板加热后直接转移到冷却平台，之后再进行焊接，焊接和冷却过程并未分开进行，为了实现靶材和背板的贴合，还需要手动转移靶材或背板其中之一；而且吊装治具的转移稳定性不佳，难以保证较高的焊接结合率。
[0005]CN 109093218A公开了一种靶材组件的制造方法，包括焊接平台；加热板，加热板放置于所述焊接平台，经焊接平台加热后能够保温；靶材和背板，所述靶材和背板放置于焊接平台，在两者至少其中之一的焊接面涂布焊料；支架，待所述加热板、靶材和背板通过焊接平台加热至预设温度后，移动加热板至所述支架；移动所述靶材和背板至加热板，并将所述靶材和背板的焊接面相对设置并贴合，形成靶材组件。该方法中将靶材和背板的焊接、冷却均转移至支架进行，只在焊接平台上进行加热，但带焊料的靶材和背板升温后的转移较为困难，不易形成稳定均匀的焊接料层，也未涉及到后续的冷却过程。
[0006]综上所述，对于靶材与背板的焊接及冷却，还需要选择合适的装置使之能够自动一体化进行，避免靶材背板贴合后的人工搬运，减少焊接异常。
技术实现思路
[0007]针对现有技术存在的问题，本专利技术的目的在于提供一种靶材焊接、冷却一体化装
置及其运行方法，所述装置将靶材的焊接与冷却集成于同一装置内，能够一体化实现靶材组件的焊接加热、自动搬运以及加压冷却，省去了人工搬运，减少焊接异常，有助于提高焊接结合率，并降低人工搬运的安全隐患。
[0008]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0009]一方面，本专利技术提供了一种靶材焊接、冷却一体化装置，所述一体化装置包括焊接平台和冷却平台，所述焊接平台和冷却平台位于同一平面上；所述焊接平台上设有移动加热板，所述移动加热板的下方连接有传动组件，所述传动组件包括上下移动的传动组件和水平移动的传动组件；所述冷却平台上方设有加压组件。
[0010]本专利技术中，所述装置通过将靶材焊接时的焊接平台和冷却平台一体化，集成于同一装置上，通过在焊接平台上设置移动加热板，不仅具有较好的导热效果，还能够在传动组件的作用下带动靶材组件移动至冷却平台，且该过程能够自动化进行，避免了人工搬运过程中可能发生震动而导致的焊接面异常，同时降低了安全隐患，靶材和背板的焊接结合率较高；所述装置能够实现靶材组件的快速焊接及冷却，节省时间，降低成本。
[0011]以下作为本专利技术优选的技术方案，但不作为本专利技术提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本专利技术的技术目的和有益效果。
[0012]作为本专利技术优选的技术方案，所述焊接平台至少设有一个，优选为两个。
[0013]优选地，所述冷却平台位于两个焊接平台之间。
[0014]本专利技术中，所述焊接平台数量的设置是为了提高装置的利用率，避免单个设置时焊接平台和冷却平台只能交替运行，利用率较低的问题，也能够提高焊接靶材的生产效率。
[0015]优选地，每个所述焊接平台上均设有移动加热板。
[0016]优选地，每个所述焊接平台对应一组传动组件。
[0017]作为本专利技术优选的技术方案，所述移动加热板的材质包括金属或合金，优选为不锈钢。
[0018]本专利技术中，所述移动加热板的材质选择需要满足升温块、不易变形的特性；另外，需要在移动加热板中铣一个槽，用于焊料溶解和放置。
[0019]优选地，所述移动加热板上设置有焊接面相贴合的靶材和背板。
[0020]优选地，所述靶材和背板采用焊料进行焊接。
[0021]优选地，所述背板位于靶材下方，直接与移动加热板接触。
[0022]本专利技术中，所述靶材和背板的焊接方式为钎焊，焊料浸润后焊接面进行贴合，为了避免对靶材溅射面的影响，通常将背板置于下方，至达到焊接温度焊料熔融后再进行冷却。
[0023]作为本专利技术优选的技术方案，所述传动组件包括气缸。
[0024]优选地，所述上下移动的传动组件带动移动加热板离开焊接平台。
[0025]优选地，所述水平移动的传动组件带动移动加热板往复于焊接平台区域和冷却平台区域。
[0026]本专利技术中，根据装置运行的需要，一组所述传动组件通常包括上下移动的传动组件和水平移动的传动组件，首先使移动加热板脱离焊接平台表面，降低其水平移动的难度，保证移动过程的稳定性，避免移动过程中发生震动而影响焊接面的均匀性。
[0027]作为本专利技术优选的技术方案，所述冷却平台区域设有冷却管路。
[0028]优选地，所述冷却管路设置于冷却平台内部，形成循环水管路。
[0029]本专利技术中，所述冷却管路内可通入循环水进行靶材组件的冷却，可根据材料、工艺的不同控制冷却速率的大小，调节冷却的时间。
[0030]优选地，所述加压组件包括加压头和液压油缸，所述液压油缸带动加压头上下移动。
[0031]优选地，所述加压头包括金属块和万向球头，所述万向球头位于金属块上方，所述液压油缸通过万向球头与金属块连接。
[0032]本专利技术中，所述万向球头设置于金属块上方，可以调节金属块的方向，以更好地与靶材平面进行接触；所述金属块可选择钢材，钢材表面镀锌以防止金属块生锈导致焊接时靶材表面异常。
[0033]本专利技术中，所述冷却过程中采用加压条件的作用在于：使得靶材和背板能够更好地贴合，提高焊接结合率，加压时多余的焊料受挤压溢出，不影响焊接面的平整性和均匀性。
[0034]作为本专利技术优选的技术方案，所述装置还包本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种靶材焊接、冷却一体化装置，其特征在于，所述一体化装置包括焊接平台和冷却平台，所述焊接平台和冷却平台位于同一平面上；所述焊接平台上设有移动加热板，所述移动加热板的下方连接有传动组件，所述传动组件包括上下移动的传动组件和水平移动的传动组件；所述冷却平台上方设有加压组件。2.根据权利要求1所述的一体化装置，其特征在于，所述焊接平台至少设有一个，优选为两个；优选地，所述冷却平台位于两个焊接平台之间；优选地，每个所述焊接平台上均设有移动加热板；优选地，每个所述焊接平台对应一组传动组件。3.根据权利要求1或2所述的一体化装置，其特征在于，所述移动加热板的材质包括金属或合金，优选为不锈钢；优选地，所述移动加热板上设置有焊接面相贴合的靶材和背板；优选地，所述靶材和背板采用焊料进行焊接；优选地，所述背板位于靶材下方，直接与移动加热板接触。4.根据权利要求1-3任一项所述的一体化装置，其特征在于，所述传动组件包括气缸；优选地，所述上下移动的传动组件带动移动加热板离开焊接平台；优选地，所述水平移动的传动组件带动移动加热板往复于焊接平台区域和冷却平台区域。5.根据权利要求1-4任一项所述的一体化装置，其特征在于，所述冷却平台区域设有冷却管路；优选地，所述冷却管路设置于冷却平台内部；优选地，所述加压组件包括加压头和液压油缸，所述液压油缸带动加压头上下移动；优选地，所述加压头包括金属块和万向球头，所述万向球头位于金属块上方，所述液压油缸通过万向球头与金属块连接。6.根据权利要求1-5任一项所述的一体化装置，其特征在于，所述装置还包括控制单元，所述控制单元独立地与焊接平台、传动组件、加压组件相连。7.根据权利要求1-6任一项所述的一体化装...
【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，边逸军，潘杰，王学泽，翁前军，张国洪，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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