光罩验证系统及程序技术方案

本发明专利技术提供一种光罩验证系统及程序，可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光结果，其中，ＣＰＵ（７）参照存储部（８）的数据文件存储部（５）中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的显示面板上的面板布局要素，通过判断上述显示面板上的多个面板布局要素的位置关系，验证上述曝光要素是否错误，显示部（１）在面板基板窗口（９）或光罩窗口（１０）内显示上述验证结果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到一种为了进行所希望的曝光而进行是否制作了光罩数据(reticle data)的验证的光罩验证系统，尤其涉及到一种进行平板 显示器制作用光罩数据的验证的光罩验证系统。
技术介绍
平板显示器(FPD)制作用光罩数据在面板布局数据上规定拍摄 框，作为曝光要素(以下也称为重复要素)剪切制作，包括上述曝光 要素的图形数据及表示面板基板上的曝光位置的坐标信息。利用上述光罩数据转印到FPD面板基板上时，使用上述光罩数据 的配置曝光要素的坐标信息，在曝光装置中转印到FPD的面板基板上。此时，当光罩上设置的曝光要素的图形数据或上述坐标信息中存 在错误时，不仅浪费光罩，而且浪费面板基板。尤其是在制作平板显 示器用的光罩数据时，需要人力进行曝光区域分割的情况较多，易产 生错误。为了防止这一点，考虑根据光罩图像数据和坐标信息模拟曝光装 置并进行验证的方法。其中，在曝光装置和模拟的关系中，例如包括实现曝光装置的成本优化的技术。专利文献1提供如下方法使用模 拟器，在曝光装置中降低时间和劳力，优化测量条件的测量条件优化 方法。但是，专利文献l仅仅公开了想要进行测量条件优化的专利技术。一般情况下，平板显示器用的面板基板的大小是远远超过曝光装 置的曝光范围的大小。因此，安装在曝光装置的光罩小于面板基板，在光罩上将剪切了面板基板上的一部分的要素作为曝光要素配置。使用光罩通过曝光装置曝光时，反复配置光罩上的曝光要素进行 曝光，从而制造出平板显示器用面板基板。因此，在制作光罩时，进行显示面板区域的分割和显示器布局数 据的切断，制作光罩的曝光要素等，另一方面，制作显示面板时，通 过反复曝光制作面板基板，因此在布局数据切断和曝光要素反复配置 时，易产生错误。并且，即使在不伴随布局数据切断的情况下，也需要显示面板区 域的分割，因此必须实施曝光要素的反复配置的指定。此时，存在产 生反复配置的指示错误的情况非常多。因此，要求在制造的前工序中 预先验证曝光结果的验证单元。专利文献l:日本特开2006-140204号公报
技术实现思路
本专利技术的课题在于提供一种可预先验证光罩上设置的曝光要素的 曝光结果的光罩验证系统。并且，本专利技术的课题在于提供一种通过模拟曝光装置的动作可预 先验证曝光要素的曝光结果的光罩验证系统。并且，本专利技术的课题在于提供一种由计算机执行、适于构建上述 光罩验证系统的光罩验证用程序。根据本专利技术，提供一种光罩验证系统，其特征在于，具有存储 单元，存储平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据； 以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存 储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上 述显示面板上的布局图形要素；验证单元，根据上述布局图形要素生 成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证 上述曝光要素；以及显示单元，显示上述验证单元验证的结果。布局图形要素生成单元根据存储单元中存储的曝光要素的图形数 据及坐标信息，生成与上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图 形要素。检测单元根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面 板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素。显示单元 显示上述验证单元验证的结果。其中，上述显示单元至少具有显示验证结果的窗口，上述验证单 元通过进行与上述多个布局图形要素对应的网格格子之间的计算处 理，验证上述多个曝光要素，上述显示单元将上述验证单元的验证结 果所获得的图形显示到上述窗口上。并且，上述光罩的数据将定义晶体管图形的中间层、或定义了晶 体管图形的外部程序库作为中间层持有，并且具有使定义上述晶体管 图形的中间层或外部程序库通过指针构造根据需要而展开的、具有表 格构造的展开单元。并且，上述验证单元具有差异抽取单元，其在进行了二个布局图 形要素的逻辑OR处理后，进行上述任意一个布局图形要素和与上述逻 辑OR结果所获得的图形要素中的该布局图形要素所对应的区域的逻 辑XOR处理或差分处理，从而抽取上述二个布局图形要素的差异。并且，上述验证单元具有重叠量检测单元，通过进行二个布局图 形要素的逻辑AND处理，检测出上述二个布局图形要素的重叠量。并且，上述验证单元具有偏移验证单元，验证上述重叠量检测单 元检测出的重叠量是否满足所指示的偏移值。并且，上述验证单元具有要素判断单元，在上述重叠量检测单元 检测出没有上述二个布局图形要素的重叠量后，进行逻辑OR处理，当 确认了二个布局图形要素形成关闭的一个图形的结果时，判断上述二个布局图形要素是连续的图形要素。并且，上述各曝光要素中含有图形要素及包围上述图形要素的预 定宽的百叶框，上述验证单元具有终点验证单元，对于与上述百叶框 内边缘对应的上述显示面板上的网格格子，验证在规定偏移值的范围 内是否存在上述图形要素的布局图形要素的终点。并且，具有指定单元，指定含有错误的验证结果的错误层，当上 述显示单元在表示上述验证结果的窗口上显示错误图形信息时，以层 单位在上述窗口上显示上述指定单元指定的错误层的错误图形信息。并且，上述显示单元具有与显示上述验证结果的窗口不同的对话 框，上述指定单元在上述对话框上指定上述错误层，上述显示单元在 上述对话框上显示错误个数，并且响应上述指定单元对错误层的指定， 将该层的错误图形信息显示到上述窗口上。并且，根据本专利技术，提供一种程序，使计算机起到上述任意一项 所述的光罩验证系统的作用。计算机通过执行上述程序，作为上述任意一项所述的光罩验证系 统起作用。本专利技术的光罩验证系统可预先验证光罩上设置的曝光要素的曝光 结果。 并且，通过模拟曝光装置的动作可预先验证曝光要素的曝光结果。并且，本专利技术的程序由计算机执行，从而可构筑上述光罩数据曝 光验证系统。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式中的平板显示器用面板基板和光罩 的关系的图。图2是表示本专利技术的实施方式中的面板基板上的面板布局数据和 光罩上的光罩布局数据的关系的图。图3是表示在本专利技术的实施方式中生成光罩数据时的整体的显示 内容的图。图4是表示在本专利技术的实施方式中生成光罩数据时的整体处理的 流程图。 图5是表示本专利技术的实施方式中的面板布局数据的构造的图。 图6是表示本专利技术的实施方式中的光罩数据的构造的图。 图7是本专利技术的实施方式中的光罩数据的表格。 图8是表示本专利技术的实施方式中的坐标信息输出处理的图。 图9是表示本专利技术的实施方式中的坐标信息输出处理的图。 图10是表示本专利技术的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。图11是表示本专利技术的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。图12是表示本专利技术的实施方式中的曝光区域的分割处理方法的 说明图。图13是表示本专利技术的实施方式中的曝光要素的图。 图14是本专利技术的实施方式涉及的光罩验证系统的框图。 图15是表示本专利技术的实施方式涉及的光罩验证系统的处理的流 程图。图16是表示本专利技术的实施方式中的各种数据的关系的图。图17是本专利技术的实施方式中的数据的表格。图18是表示本专利技术的实施方式中的面板基板上的数据构造的图。 图19是表示本专利技术的实施方式中的面板基板上的数据构造所对 应的表格构造的图。图20是表示本专利技术的实施方式中的图形的各种处理的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩验证系统，其特征在于，具有：　存储单元，存储：平板显示器曝光用光罩中含有的曝光要素的图形数据；以及由网格格子点的坐标表现，表示显示面板上的上述曝光要素的曝光位置的坐标信息；　布局图形要素生成单元，根据上述存储单元中存储的曝光要素的图形数据及坐标信息，生成和上述曝光要素对应的上述显示面板上的布局图形要素；　验证单元，根据上述布局图形要素生成单元生成的上述显示面板上的多个布局图形要素的位置关系，验证上述曝光要素；以及　显示单元，显示上述验证单元验证的结果。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：千田英树，
申请(专利权)人：株式会社绩达特，
类型：发明
国别省市：JP[日本]