显影装置制造方法及图纸

一种显影装置，具有：旋转卡盘，其用于保持基板，而且所保持的所述基板能够自由旋转；显影液喷嘴，其形成有排成一列的喷出显影液的多个喷出口，并且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着到基板上；水平移动机构，在俯视观察时，其将喷出口的排列方向保持在朝向基板中心的一个方向，同时沿该一个方向移动显影液喷嘴，从而在俯视观察时于基板的大致中心和周边缘之间移动显影液喷嘴；控制部，其控制旋转卡盘和水平移动机构，使显影液分别以螺旋状从各喷出口附着到基板上，从而对基板进行显影。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种对半导体衬底、液晶显示装置用玻璃基板、光掩模用玻 璃基板和光盘用基板等(以下简称为"基板")进行显影的显影装置，特别 涉及一种高效地向基板供给显影液从而抑制显影液的消耗量的技术。
技术介绍
以往，作为这种装置，具有用于保持基板的可自由旋转的旋转卡盘、以 带状供给显影液的狭缝喷嘴、使该狭缝喷嘴移动的移动机构。在该装置中， 使基板旋转，并且使狭缝喷嘴移动并将带状的显影液螺旋状地供给至基板。 根据该装置，与在基板上装满显影液并对基板进行显影的情况相比，能够降低显影液的消耗量(例如，日本特开2005-210059号公报所公开的内容)。 然而，具有这种结构的现有例存在如下的问题。艮P，从狭缝喷嘴喷出并流下的显影液的形状呈带状。如果改变向狭缝喷 嘴供给的显影液的流量，则该显影液的带状的形状容易变形。具体地讲，显 影液的带状形状的宽度变窄，或者显影液的带状形状变形分支成二条以上的 形状。在这种情况下，很难使显影液附着到基板上的所期望的位置上或范围 内，即使例如螺旋状地供给显影液，也会产生不能够对整个基板无间隙地供 给显影液这样的问题。另外，为了避免产生这样的问题，也想到了可以供给 增加了多余部分的量的显影液，但在这种情况下不能够充分地减少显影液的 消耗量。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的情况而作出的，其目的在于提供一种能够抑制显影 液的消耗量的显影装置。本专利技术为了达成这样的目的采用了下述结构。艮P，本专利技术是一种对基板进行显影的显影装置，其特征在于，包括以下要素旋转保持部，其用于保持基板，而且所保持的所述基板能够自由旋转;显影液供给部，其形成有排成一列的用于喷出显影液的多个喷出口，并且使 各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着在基板上；移动机构，其一边 将所述喷出口的排列方向保持在俯视观察时朝向基板中心的一个方向上，一 边沿着该一个方向移动所述显影液供给部，从而使所述显影液供给部在俯视观察时的基板的大致中心和周边缘之间移动；控制部，其控制所述旋转保持 部和所述移动机构，使得显影液从各喷出口分别以螺旋状附着在基板上，由 此对基板进行显影。根据本专利技术，显影液供给部的各喷出口喷出的显影液处于相互分离的状 态，直到附着于基板上为止。因此，能够稳定地保持从喷出口向基板面流下 的显影液的形状。因而，能够使显影液容易地附着在与喷出口相对应的基板 上的位置或范围内。附着到基板上的显影液向附着位置的周围扩散。移动机 构在俯视观察时，将排成一列的各喷出口的排列方向保持在朝向基板的中心 的一个方向，并在该状态下，而且在俯视观察时，使显影液供给部沿该一个 方向在基板的大致中心和周边缘之间移动。控制部将这样的移动机构与旋转保持部一起进行控制，从而使显影液从 各喷出口分别以螺旋状附着到基板上。显影液附着到基板上，每个喷出口扩 散的(显影液被供给的)范围呈多个螺旋形状。此时，在俯视观察时，各喷 出口总是排列在通过基板中心的直线上，从而能够相同地增减多个螺旋形状 的区域的各直径。因此，能够容易地控制多个螺旋形状的区域之间的位置关 系。由此，能够对基板的整个面高效地供给显影液，能够抑制显影液的消耗另外，本专利技术是一种对基板进行显影的显影装置，其特征在于，包括以 下要素旋转保持部，其用于保持基板，而且所保持的所述基板能够自由旋 转；显影液供给部，其形成有排成一列的用于喷出显影液的多个喷出口，并 且使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着在基板上；移动机构，其 在使所述喷出口的排列方向与基板的径向平行的状态下，使所述显影液供给 部沿着基板的径向在基板的大致中心和周边缘之间移动；控制部，其控制所 述旋转保持部和所述移动机构，使得显影液从各喷出口分别以螺旋状附着在 基板上，由此对基板进行显影。即使根据本专利技术，也能够稳定地保持显影液供给部的各喷出口向基板面流下的显影液的形状。能够使显影液容易地附着在与喷出口相对应的基板上 的位置上或范围内。移动机构在使排成一列的各喷出口的排列方向与基板的 径向平行的状态下，在基板的径向上于基板的大致中心和周边缘之间移动所 述显影液供给部。控制部将这样的移动机构与旋转保持部一起进行控制，从而使显影液从 各喷出口分别以螺旋状附着到基板上。显影液附着到基板上，每个喷出口扩 散的(显影液被供给的)范围呈多个螺旋形状。此时，在俯视观察时，各喷 出口总是排列在基板的径向上，从而能够相同地增减多个螺旋形状的区域的 各直径。因此，能够容易地控制多个螺旋形状的区域之间的位置关系。由此， 能够对基板的整个面高效地供给显影液，能够抑制显影液的消耗量。在所述的各专利技术中，优选使所述喷出口喷出的显影液以棒状流下。由于 从喷出口流下的显影液的形状呈棒状，因此即使在显影液的流量发生变动的 情况下也很难发生变形。因此，能够使显影液可靠地附着到与喷出口相对应 的基板上的位置上或范围内。在所述的各专利技术中，优选地，将各喷出口设置为相互接近，因此在各喷 出口同时喷出了显影液时，位于显影液附着在基板上的附着位置之间的基板 面被附着后扩散的显影液覆盖。各喷出口同时喷出的显影液分别附着到基板 上。此时，显影液附着到对应于每个喷出口分别分离的多个附着位置。附着 到各附着位置的显影液随着附着后的时间的变化，向多个附着位置之间的部 分扩散。这样能够向连接各喷出口的一条线无间隙地供给显影液。因此，能 够向基板的整个面高效地供给显影液，能够抑制显影液的消耗量。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部控制所述旋转保持部和所述移 动机构，使得相邻显影液的附着位置的轨迹彼此相接近，从而通过附着后扩 散的显影液来覆盖这些轨迹与轨迹之间的基板面。在旋转基板的同时移动显 影液供给部，由此显影液的附着位置的轨迹连接为螺旋状。使相邻附着位置 的轨迹相接近，从而能够向基板的整个面无间隙且可靠地供给显影液。此外， 相邻附着位置的轨迹可以是与不同的两个喷出口相对应的轨迹，也可以是与 相同的喷出口相对应的轨迹。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部控制所述旋转保持部和所述移 动机构以调整基板的转速和所述显影液供给部的移动速度之间的关系，由此控制相邻显影液附着位置的轨迹之间的间隔。控制部能够适当地控制相邻显 影液附着位置的轨迹之间的间隔。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部进行控制以使所述间隔为预先 设定的规定值或者在规定范围内。控制部能够可靠地向基板的整个面供给显 影液。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部在使基板旋转一周的过程中， 使所述显影液供给部的位于移动方向的最后方的喷出口移动至如下位置，艮口， 在移动方向一侧与在开始旋转一周的时刻位于最前方的喷出口的位置相接近 的位置。控制部能够向基板的整个面高效地供给显影液。因此，能够进一步 降低显影液的消耗量。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部进行控制，以使在与各喷出口 相对应的显影液附着位置的多个轨迹之中，至少任意两个轨迹相重叠。能够 向基板的整个面可靠地供给显影液。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部进行控制以使与各喷出口相对 应的显影液附着位置的多个轨迹相重叠。能够向基板的整个面可靠地供给显 影液。在所述的各专利技术中，优选地，所述控制部在使基板旋转一周的过程中使 所述显影液供给部移动的距离，是用从喷出口的总数减去1后的数值来除相 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置，对基板进行显影，其特征在于，包括：　旋转保持部，其能够旋转地保持基板；　显影液供给部，其形成有排成一列的用于喷出显影液的多个喷出口，使各喷出口喷出的显影液以相互分离的状态附着在基板上；　移动机构，其一边将所述 喷出口的排列方向保持在俯视观察时朝向基板的中心的一个方向上，一边沿着该一个方向移动所述显影液供给部，从而使所述显影液供给部在俯视观察时的基板的大致中心和周边缘之间移动；　控制部，其控制所述旋转保持部和所述移动机构，使得显影液从各喷出口分 别以螺旋状附着在基板上，由此对基板进行显影。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：春本将彦，山口晃，久井章博，杉山念，黑田拓也，
申请(专利权)人：株式会社迅动，
类型：发明
国别省市：JP[日本]