【技术实现步骤摘要】
本技术是一种高质量光学积分器件，属于对光学积分器件的进一步改进。广泛适用于各种光学光刻设备的照明系统，用于提高照明均匀性、平滑衍射效应和增大线条侧壁陡度。在现有的光学光刻设备中，其照明系统所用的积分器件主要有两类一类是由两组蝇眼透镜构成，每组蝇眼透镜都是由小六边形平凸透镜胶合在平板玻璃上而成，这种器件加工和装配都非常困难，且光在两平板间来回反射，而影响照明均匀性和平滑衍射的效果；另一类是双凸的小正方形积分棒并排捆绑而成的积分镜，这种器件由于其相邻元件间间距不等，而照明均匀性和线条的侧壁陡度。这两类积分器件都采用圆形或方光拦控制聚光角，其线条侧壁陡度都很差。本技术的目的在于避免上述现有技术的不足，而提供一种高质量光学积分器件，以提高照明均匀性、平滑衍射效应，提高线条侧壁陡度，从而提高光刻分辨力，同时降低加工和装配难度。本技术的目的可以通过以下措施来达到每个积分元件的两端为凸球面镜，中间介质为长方体结构，每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框内，且任意相邻积分元件的中心距相等。本技术的目的还可以通过以下措施来达到内六边形框由两条直边和四条锯齿边组成，积分元件错位排列镶嵌其中；控制器件聚光角的光栏为六边形。本技术相比已有技术具有如下优点1．每个积分元件的侧面为方形，工艺简单，降低加工难度，成本低。2．积分元件的两球面镜之间为同一种介质，避免光的多次反射，提高照明均匀性和平滑衍射效果。3．各积分元件错位排列于内六边形框内，保证任意元件间间距相等，整个结构均匀、连续，达到提高照明均匀性效果。4．采用内六边形光栏与积分器件配合控制系统聚光角，其对称性好，对...
【技术保护点】
高质量光学积分器件，由凸透镜、柱面镜和控制聚光角的光栏组成，其特征在于每个积分器件的两端面均为凸球面镜（１），中间介质为长方体结构（２），每个积分元件通过积木方式错位排列于内六边形框（３）内，且任意相邻积分元件的中心距相等。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：赵立新，林大键，胡松，王肇志，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：51[中国|四川]
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