阻挡放电灯及紫外线照射单元制造技术

本实用新型专利技术提供一种阻挡放电灯及紫外线照射单元，具有恰当的发光特性，进而抑制发光特性的下降。阻挡放电灯包括圆筒状的发光管、内部电极、外部电极及散热块。发光管中封入有气体，并使紫外光透过。内部电极配置在发光管的内部，并在发光管的管轴方向上延伸。外部电极在发光管的周向上以180度以上及300度以下的角度覆盖发光管。散热块隔着外部电极而与发光管相对。光管相对。光管相对。

【技术实现步骤摘要】
阻挡放电灯及紫外线照射单元


[0001]本技术的实施方式涉及一种阻挡放电灯及紫外线照射单元。

技术介绍

[0002]之前，已知有以基板的清洗或改质为目的来使用的阻挡放电灯。阻挡放电灯利用通过将配置在作为电介质的发光管的内部的螺旋状的内部电极与配置在发光管的外部的外部电极连接于交流电源而发生的电介质阻挡放电，放射具有与被收容在发光管的内部的气体相应的特定的波长的紫外光。
[0003][现有技术文献][0004][专利文献][0005][专利文献1]日本专利特开2013-211164号公报

技术实现思路

[0006][技术所要解决的问题][0007]在所述那样的阻挡放电灯中，例如由于外部电极或发光管的尺寸等，而存在无法获得恰当的发光特性的情况或发生发光特性的下降的情况。
[0008]本技术要解决的课题在于，提供一种具有恰当的发光特性，进而可抑制发光特性的下降的阻挡放电灯及紫外线照射单元。
[0009][解决问题的技术手段][0010]实施方式的阻挡放电灯包括圆筒状的发光管、内部电极、外部电极及散热块。发光管中封入有气体，使紫外光透过。内部电极配置在发光管的内部，在发光管的管轴方向上延伸。外部电极在发光管的周向上以180[
°
]以上且300[
°
]以下的角度覆盖发光管。散热块隔着外部电极而与发光管相对。
[0011][技术的效果][0012]根据本技术，具有恰当的发光特性，进而，可抑制发光特性的下降。
附图说明
[0013]图1是表示实施方式的紫外线照射单元的图。
[0014]图2是图1的A-A剖面图。
[0015]图3是表示评价试验1的结果的图。
[0016]图4是表示评价试验2的结果的图。
[0017]图5是表示评价试验3的结果的图。
[0018][附图标记说明][0019]1：阻挡放电灯
[0020]2：发光管
[0021]2a：内表面
[0022]2b：外表面
[0023]3：内部电极
[0024]3a：线圈部
[0025]4：反射膜
[0026]5：灯头
[0027]6：引线
[0028]7：外部电极
[0029]7a：外表面
[0030]7b：端部
[0031]8：散热块
[0032]8a：内表面
[0033]8b：端面
[0034]100：紫外线照射单元
[0035]L3、L4：长度
[0036]P：间隔
[0037]t：厚度
[0038]θ4、θ7：角度
[0039]X、Y、Z：轴
具体实施方式
[0040]以下说明的实施方式的阻挡放电灯1包括圆筒状的发光管2、内部电极3、外部电极7及散热块8。发光管2中封入有气体，使紫外光透过。内部电极3配置在发光管2的内部，在发光管2的管轴方向上延伸。外部电极7以与内部电极3相向的方式设置在发光管2的外表面2b侧，在发光管2的周向上以180[
°
]以上且300[
°
]以下的角度θ7覆盖发光管2。散热块8隔着外部电极7而与发光管2相对。
[0041]而且，以下说明的实施方式的外部电极7具有超过0[mm]且在1.0[mm]以下的厚度t。
[0042]而且，以下说明的实施方式的发光管2的外径D1[mm]及外部电极7的内径D2[mm]具有0.93≦D1/D2≦0.99的关系。
[0043]而且，以下说明的实施方式的紫外线照射单元100包括一个或多个阻挡放电灯1。
[0044]以下，基于附图来对本技术的实施方式进行说明。另外，以下所示的实施方式并不限定本技术所公开的技术。
[0045][实施方式][0046]图1是表示实施方式的紫外线照射单元的图，图2是图1的A-A剖面图。如图1及图2所示，实施方式的紫外线照射单元100具有一个或多个阻挡放电灯1、外部电极7、散热块8。
[0047]另外，为了使说明容易理解，在图1及图2中图示了包括以照射方向为正方向的Z轴的三维的正交坐标系。而且，在图1中，省略了外部电极7及散热块8的图示。
[0048]阻挡放电灯1在与设置于阻挡放电灯1的外表面侧的外部电极7之间进行阻挡放电。另外，在本实施方式中，采用在阻挡放电灯1的外表面侧具有外部电极7的构成，但可以
将组合有阻挡放电灯1与外部电极7的形态，更具体而言是组合有后述的发光管2与外部电极7的形态称为“阻挡放电灯”，也可以将组合有阻挡放电灯1、外部电极7及散热块8的形态称为“阻挡放电灯”。
[0049]如图1及图2所示，阻挡放电灯1具有发光管2、内部电极3、反射膜4、灯头5、引线6。发光管2是使紫外光透过的圆筒状的构件。作为发光管2的材料，例如可例示波长200[nm]以下的真空紫外线透过率高的合成石英。具体而言，例如，可将信越石英制造的合成石英F-310用作发光管2的材料。而且，发光管2的管轴方向(X轴方向)的两端由具有芯柱结构(stem structure)的密封构件保持，被气密地密封。
[0050]而且，在发光管2的内部封入有气体。气体例如是80[kPa]～200[kPa]的氙气。具体而言，例如，93[kPa]的氙气被填充在发光管2的内部。另外，气体例如可包含氪、氙、氩、氖等中的一种、或将多种组合而成的气体来构成。进而，气体也可视需要包含例如卤素气体。发光管2可发出具有与被封入的气体的种类相应的特定的峰值波长的紫外光(准分子光)。在清洗液晶面板用玻璃的表面的用途中，例如可使用放射波长172[nm]的真空紫外光的发光管2。
[0051]内部电极3配置在发光管2的内部。内部电极3的作为螺旋状的导体的线圈部3a在发光管2的管轴方向上延伸。内部电极3例如由包含钨的材料来形成。具体而言，内部电极3的总成分中的50[％]以上的成分为钨。尤其，若将在钨中添加钾等而成的掺杂钨用作内部电极3，则可具有更高的尺寸稳定性。具体而言，例如，可使用普兰西(Plansee)制造的钾掺杂钨WK75作为内部电极3的材料。
[0052]而且，内部电极3的线径φ例如可设为0.5[mm]以上且1.0[mm]以下。而且，内部电极3中，例如可将线圈部3a的管轴方向的间隔P设为例如10[mm]以上且50[mm]以下。具体而言，例如，可使用将线圈部3a的间隔P设为30[mm]的内部电极3。
[0053]反射膜4设置于发光管2的内表面2a，将紫外光向发光管2的内部反射。作为反射膜4的材料，例如可例示二氧化硅。而且，反射膜4并不限于二氧化硅，例如也可以包括包含氧化铝等的紫外线散射粒子的材料。反射膜4在发光管2的周向上以180[
°
]以上，例如200[
°
]以上且300[
°
]以下的角度θ4配置。而且，反射膜4的管轴方向的长度L4以大于等于内部电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阻挡放电灯，其特征在于，包括：圆筒状的发光管，封入有气体，并使紫外光透过；内部电极，配置在所述发光管的内部，并在所述发光管的管轴方向上延伸；外部电极，以与所述内部电极相向的方式设置在所述发光管的外表面侧，在所述发光管的周向上以180度以上且300度以下的角度覆盖所述发光管；以及散热块，隔着所述外部电极而与所述发光管相对。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂栋兴，日野弘喜，矢内启资，前田祥平，藤冈纯，
申请(专利权)人：东芝照明技术株式会社，
类型：新型
国别省市：