一种具有定量供水的防回水光刻机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种具有定量供水的防回水光刻机，其结构包括光刻机和供水装置，光刻机左端镶嵌设有供水装置，供水装置与光刻机电连接，本实用新型专利技术具有以下有益效果，通过在水箱装配座内部设有供水顶压头搭配具有供水活动板的便捷水箱，在放置时供水活动板会被供水顶压头顶起实现水箱供水的开启，而在水箱提起时，供水活动板会自动闭合关闭水箱，使水箱能够通过直接放置装配使用时，便于水箱的装配，使水箱便于更换维修，通过在水箱装配座上设有升降用电机的通电联动装置，并将通电联动装置与阀门的密闭盖板相连，使设备在阀门开启时设备会对升降电机断电，反之则通电，使设备能够防止供水时水箱的升降移动，保证供水的正常运行。常运行。常运行。

【技术实现步骤摘要】
一种具有定量供水的防回水光刻机


[0001]本技术属于光刻机
，特别涉及一种具有定量供水的防回水光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机在使用时一般要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，而其中在信息清洗时，便需要进行光刻机的自动供水，而在进行清洗时，对于水量要进行需求供水的定量供水控制，以防止水资源的浪费和过度供水导致清洗完毕后影响后续工序的进行，随着科学技术的飞速发展，也得到了技术改进，但是现有技术新型在使用时，储水水箱的装配需要进行供水接头等的锁定对接，在需要进行维修更换时较为不便，且现有技术在使用时，如果正在进行供水时随意进行储水水箱的移动，容易导致供水计算的错误，从而容易导致供水的断续和设备的错误控制，从而导致危险和不便。

技术实现思路

[0003](一)要解决的技术问题
[0004]为了克服现有技术不足，现提出一种具有定量供水的防回水光刻机，以解决现有技术新型在使用时，储水水箱的装配需要进行供水接头等的锁定对接，在需要进行维修更换时较为不便，且现有技术在使用时，如果正在进行供水时随意进行储水水箱的移动，容易导致供水计算的错误，从而容易导致供水的断续和设备的错误控制，从而导致危险和不便的效果。
[0005](二)技术方案
[0006]本技术通过如下技术方案实现：本技术提出了一种具有定量供水的防回水光刻机，包括光刻机和供水装置，光刻机左端镶嵌设有供水装置，供水装置与光刻机电连接；
[0007]光刻机包括辅助齿槽、警示灯、主机体、控制器和升降齿槽，主机体前端上侧固定连接有警示灯，控制器镶嵌设于主机体前端右侧，辅助齿槽设于主机体与供水装置连接处前后两端，升降齿槽设于主机体与供水装置连接处右端；
[0008]供水装置包括排水接头、水箱装配座、便捷水箱、密闭塞、箱盖、主齿轮、电机、电机接电盒、副齿轮、轮轴装配板、排水槽、供水顶压头、电磁阀门、流量计、通电联动装置和供水槽，水箱装配座顶端镶嵌设有便捷水箱，便捷水箱底端锁接有密闭塞，水箱装配座与便捷水箱之间中部设有排水槽，排水槽左端与排水接头相通，水箱装配座底端左侧固定连接有轮轴装配板，轮轴装配板通过轴杆扣接有副齿轮，副齿轮与辅助齿槽相接，水箱装配座底端右侧固定连接有电机，电机右端通过主齿轮与升降齿槽相接，供水顶压头设于水箱装配座内部右下方，供水槽贯穿水箱装配座内部右下方，供水槽位于供水顶压头下方，电磁阀门设于水箱装配座内部右侧，电磁阀门底端与供水槽顶端相通，电磁阀门与主机体电连接，通电联动装置设于水箱装配座内部下方右侧，通电联动装置与电磁阀门相接，通电联动装置分别
与电机、电机接电盒电连接，电机接电盒锁接于水箱装配座底端，流量计与水箱装配座固定连接，电机接电盒与主机体电连接，流量计位于电磁阀门左侧，便捷水箱顶端扣接有箱盖，箱盖顶端锁接有密闭塞；
[0009]便捷水箱包括箱体主体、密闭垫一、供水活动板、密闭垫二、顶压连杆、顶压板和压缩弹簧一，供水活动板顶端右侧与顶压连杆底端固定连接，顶压连杆顶端与顶压板底端固定连接，顶压板通过压缩弹簧一与箱体主体底端右侧镶嵌扣接，密闭垫二设于顶压板与箱体主体连接槽底端，密闭垫一包覆设于供水活动板底端左侧；
[0010]电磁阀门包括铁芯、线圈、隔磁套、压缩弹簧二、塞杆、密闭盖板和密闭垫，密闭盖板底端中部固定连接有密闭垫，密闭盖板设于供水槽顶端，密闭盖板底端左侧与通电联动装置相接，密闭盖板顶端中部与塞杆底端固定连接，塞杆顶端贯穿隔磁套底端与压缩弹簧二底端相接，压缩弹簧二设于隔磁套内部，铁芯底端贯穿隔磁套顶端中部与压缩弹簧二顶端相接，线圈套接于铁芯外侧，线圈与主机体电连接；
[0011]通电联动装置包括密闭套、联动顶杆、联动顶板、压缩弹簧三、通电杆、通电触板一和通电触板二，密闭套与水箱装配座固定连接，密闭套顶端与密闭盖板底端左侧相接，联动顶杆中部包覆设有联动顶板，联动顶杆顶端与密闭套底端，联动顶杆底端与通电杆固定连接，联动顶板底端通过压缩弹簧三与水箱装配座扣接，通电触板一、通电触板二均设于水箱装配座内，通电触板二右端与通电杆相接，通电触板二与电机接电盒电连接，通电触板一顶端与通电杆相接，通电触板一与电机电连接。
[0012]进一步的，所述供水活动板左侧底部为凹槽，箱体主体右端下侧为与供水活动板相契合的空槽，以保证供水活动板能够在下降时与箱体主体进行密闭契合。
[0013]进一步的，所述水箱装配座、联动顶杆为绝缘材质制成，以防止联动通电的传导漏电。
[0014]进一步的，所述密闭塞、密闭垫一、密闭垫二、密闭套均由橡胶制成，以保证密闭性和密闭套的柔韧性。
[0015]进一步的，所述供水顶压头比供水活动板左右长度更短，使供水顶压头能够顺畅的将供水活动板顶起，防止供水顶压头与水箱的磕碰卡死。
[0016]进一步的，所述顶压连杆的可升降距离和供水活动板受供水顶压头顶压升起距离一致，以保证供水活动板和顶压连杆装配的顶压板在下降后能够通过密闭垫进行水箱的密闭。
[0017](三)有益效果
[0018]本技术相对于现有技术，具有以下有益效果：
[0019]1)、为解决现有技术新型在使用时，储水水箱的装配需要进行供水接头等的锁定对接，在需要进行维修更换时较为不便，通过在水箱装配座内部设有供水顶压头搭配具有供水活动板的便捷水箱，在放置时供水活动板会被供水顶压头顶起实现水箱供水的开启，而在水箱提起时，供水活动板会自动闭合关闭水箱，使水箱能够通过直接放置装配使用时，便于水箱的装配，使水箱便于更换维修。
[0020]2)、为解决现有技术在使用时，如果正在进行供水时随意进行储水水箱的移动，容易导致供水计算的错误，从而容易导致供水的断续和设备的错误控制，从而导致危险和不便，通过在水箱装配座上设有升降用电机的通电联动装置，并将通电联动装置与阀门的密
闭盖板相连，使设备在阀门开启时设备会对升降电机断电，反之则通电，使设备能够防止供水时水箱的升降移动，保证供水的正常运行。
附图说明
[0021]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0022]图1为本技术一种具有定量供水的防回水光刻机的结构示意图；
[0023]图2为本技术供水装置的正剖结构示意图；
[0024]图3为本技术图2中A的放大结构示意图；
[0025]图4为本技术图2中B的放大结构示意图；
[0026]图5为本技术图4中C的放大结构示意图；
[0027]图中：光刻机-1、供水装置-2、辅助齿槽-11、警示灯-12、主机体-13、控制器-14、升降齿槽-15、排水接头-a、水箱装配座-b、便捷水箱-c、密闭塞-d、箱盖-e、主齿轮-f、电机-g、电机接电盒-h、副齿轮-i、轮轴装配板-j、排水槽-k、供水顶压头-l、电磁阀门-m、流量计-n、通电联动装置-o、供水槽-p本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有定量供水的防回水光刻机，其特征在于：包括光刻机(1)和供水装置(2)，光刻机(1)左端镶嵌设有供水装置(2)，供水装置(2)与光刻机(1)电连接；光刻机(1)包括辅助齿槽(11)、警示灯(12)、主机体(13)、控制器(14)和升降齿槽(15)，主机体(13)前端上侧固定连接有警示灯(12)，控制器(14)镶嵌设于主机体(13)前端右侧，辅助齿槽(11)设于主机体(13)与供水装置(2)连接处前后两端，升降齿槽(15)设于主机体(13)与供水装置(2)连接处右端；供水装置(2)包括排水接头(a)、水箱装配座(b)、便捷水箱(c)、密闭塞(d)、箱盖(e)、主齿轮(f)、电机(g)、电机接电盒(h)、副齿轮(i)、轮轴装配板(j)、排水槽(k)、供水顶压头(l)、电磁阀门(m)、流量计(n)、通电联动装置(o)和供水槽(p)，水箱装配座(b)顶端镶嵌设有便捷水箱(c)，便捷水箱(c)底端锁接有密闭塞(d)，水箱装配座(b)与便捷水箱(c)之间中部设有排水槽(k)，排水槽(k)左端与排水接头(a)相通，水箱装配座(b)底端左侧固定连接有轮轴装配板(j)，轮轴装配板(j)通过轴杆扣接有副齿轮(i)，副齿轮(i)与辅助齿槽(11)相接，水箱装配座(b)底端右侧固定连接有电机(g)，电机(g)右端通过主齿轮(f)与升降齿槽(15)相接，供水顶压头(l)设于水箱装配座(b)内部右下方，供水槽(p)贯穿水箱装配座(b)内部右下方，供水槽(p)位于供水顶压头(l)下方，电磁阀门(m)设于水箱装配座(b)内部右侧，电磁阀门(m)底端与供水槽(p)顶端相通，电磁阀门(m)与主机体(13)电连接，通电联动装置(o)设于水箱装配座(b)内部下方右侧，通电联动装置(o)与电磁阀门(m)相接，通电联动装置(o)分别与电机(g)、电机接电盒(h)电连接，电机接电盒(h)锁接于水箱装配座(b)底端，流量计(n)与水箱装配座(b)固定连接，电机接电盒(h)与主机体(13)电连接，流量计(n)位于电磁阀门(m)左侧，便捷水箱(c)顶端扣接有箱盖(e)，箱盖(e)顶端锁接有密闭塞(d)；便捷水箱(c)包括箱体主体(c1)、密闭垫一(c2)、供水活动板(c3)、密闭垫二(c4)、顶压连杆(c5)、顶压板(c6)和压缩弹簧一(c7)，供水活动板(c3)顶端右侧与顶压连杆(c5)底端固定连接，顶压连杆(c5)顶端与顶压板(c6)底端固定连接，顶压板(c6)通过压缩弹簧一(c7)与箱体主体(c1)底端右侧镶嵌扣...

【专利技术属性】
技术研发人员：李俊毅，陈舜钦，姚恒裕，林雅芳，李雅瑜，
申请(专利权)人：福建安芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：