放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法，其能够满足对放电灯的要求寿命即1500小时。由包括具有内部空间(24)的发光管部(20)和密封部(22)的发光管(12)、一对电极(14)、埋设于密封部(22)内的箔(16)、以及另一端从密封部(22)向外部延伸出的引线棒(18)构成放电灯(10)。并且，使一对电极(14)彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，使封入到内部空间(24)的水银(26)的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在内部空间(24)封入碘，并使碘的封入浓度为6

【技术实现步骤摘要】
放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法


[0001]本专利技术涉及例如在曝光装置等中用于紫外线照射的放电灯、光源单元、光源装置以及放电灯的点亮方法。

技术介绍

[0002]以往，作为曝光装置的光源装置，使用大型的水银灯(使用水银作为发光物质的放电灯。以下简称为“放电灯”)。这是为了使大型的放电灯相对高效地放射k线(302nm)、j线(313nm)、i线(365nm)、h线(405nm)、和g线(436nm)的各种光。
[0003]但是，在大型的放电灯的情况下，由于一对电极间距离长至大致10mm至20mm，因此从与规定反射器的反射面的旋转抛物面或旋转椭圆面等的焦点偏离的位置放射出的光的比例变多，结果，聚光效率变差，并且光的传播变大，因此存在不适合高精细的曝光的问题。
[0004]此外，在1台曝光装置中使用的大型的放电灯的数量为1～4个灯，哪怕有1个灯发生故障就会导致曝光量不足，因此还存在必须停止包含该曝光装置的生产线，从而由1个灯的故障所致的损害非常大的问题。
[0005]鉴于这样的问题，最近开发了使用小型的放电灯的多灯式光源装置的曝光装置。
[0006]在使用多灯式光源装置的情况下，所使用的小型的放电灯中的一对电极间距离为1.1mm～1.7mm，因此能够消除使用大型的放电灯的情况下的聚光效率、光的传播的问题，由此实现更高精细的曝光。
[0007]另外，由于在1台曝光装置中使用的小型的放电灯的数量多达数十个，因此即使例如多个小型的放电灯发生故障，也能够确保必要的曝光量，因此能够避免包含曝光装置的生产线的停止。现有技术文献专利文献
[0008]专利文献1：日本特开平11-283898号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的课题
[0009]然而，小型的放电灯存在由于发光管的内部提前黑化因而具有寿命短的倾向的问题。
[0010]本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种能够满足对放电灯的要求寿命即1500小时的、电极间距离短的小型的低压放电灯、光源单元以及光源装置。用于解决课题的技术方案
[0011]根据本专利技术的一个方面，提供一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从上述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及
引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在所述内部空间封入有碘，所述碘的封入浓度为6
×
10-5
μmol/mm3以上且1.4
×
10-3
μmol/mm3以下。
[0012]根据本专利技术的另一方面，提供一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从所述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在所述内部空间封入有溴，所述溴的封入浓度为7.1
×
10-7
μmol/mm3以上且1.1
×
10-4
μmol/mm3以下。
[0013]根据本专利技术的另一方面，提供一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从所述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在所述内部空间封入有使碘与溴混合而成的物质，所述碘和所述溴的封入浓度(μmol/mm3)满足下式：-8.156
×
10-2
×
I+0.11
×
10-4
≤Br≤-8.156
×
10-2
×
I+1.72
×
10-4
。
[0014]优选地，在最大使用功率下，电极负荷为0.6W/mg以下。
[0015]优选地，在最大使用功率下，管壁负荷为1.35W/mm2以上且1.91W/mm2以下。
[0016]根据本专利技术的另一方面，提供一种灯，其具备：上述的放电灯；以及反射器，其使来自所述放电灯的光向给定的方向反射。
[0017]根据本专利技术的另一方面，提供一种光源单元，其具备：上述的灯；以及灯座，其安装所述灯。
[0018]优选地，所述灯为多个，在所述灯座安装多个所述灯。
[0019]根据本专利技术的另一方面，提供一种光源装置，其具备：上述的光源单元；以及
电源单元，其向所述光源单元供给电力。
[0020]根据本专利技术的另一方面，提供一种上述放电灯的点亮方法，其中，从比额定功率低的功率开始进行恒定照度运转。专利技术效果
[0021]根据本专利技术，能够提供能够满足对放电灯的要求寿命即1500小时的、电极间距离短的小型的低压放电灯、光源单元以及光源装置。
附图说明
[0022]图1是表示实施方式所涉及的放电灯10的剖视图。图2是表示实施方式所涉及的反射器50的主视图。图3是表示实施方式所涉及的光源单元130的主视图。
具体实施方式
[0023](放电灯10的结构)如图1所示，本实施方式的放电灯10大致由发光管12、一对电极14、一对箔16和一对引线棒18构成。
[0024]发光管12例如由石英玻璃形成，具有发光管部20和从该发光管部20延伸出的一对密封部22。在发光管部20内形成有由一对密封部22密闭的内部空间24。
[0025]一对电极14是由钨形成的大致棒状的部件，以各自的一端相互对置的方式配设于内部空间24。另外，各电极14的另一端分别与埋设于各密封部22的钼制的各箔16的一端电连接。
[0026]另外，本实施方式所涉及的放电灯10是以直流电流点亮的类型，因此形成为阳极(anode)40比阴极(cathode)大。
[0027]而且，一对引线棒18是由钼形成的大致棒状的部件，各自的一端分别与各箔16的另一端电连接。另外，一对引线棒18各自的另一端从各密封部22向外部延伸出。
[0028]另外，在发光管部20的内部空间24封入有给定量的水银26和卤素(碘、溴、或者碘与溴的混合物)。
[0029]当对设置于放电灯10的一对引线棒18施加给定的高电压时，在配置于发光管部20的内部空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从所述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在所述内部空间封入有碘，所述碘的封入浓度为6
×
10-5
μmol/mm3以上且1.4
×
10-3
μmol/mm3以下。2.一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从所述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另一端连接，并埋设于所述密封部内；以及引线棒，其一端与所述箔连接，另一端从所述密封部向外部延伸出，一对所述电极彼此之间的距离为1.1mm以上且1.7mm以下，封入到所述内部空间的水银的量为0.03mg/mm3以上且0.14mg/mm3以下，在所述内部空间封入有溴，所述溴的封入浓度为7.1
×
10-7
μmol/mm3以上且1.1
×
10-4
μmol/mm3以下。3.一种放电灯，其具备：发光管，其包括具有内部空间的发光管部以及从所述发光管部延伸出的密封部；一对电极，以一端彼此对置的方式配设于所述内部空间；箔，其与所述电极的另...

【专利技术属性】
技术研发人员：池田富彦，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：发明
国别省市：