辐射敏感树脂组合物制造技术

一种辐射敏感树脂组合物，其包含（Ａ）具有硬化性能的碱溶性树脂、（Ｂ）醌二叠氮化合物、（Ｃ）溶剂和（Ｄ）硅烷偶联剂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种辐射敏感(radiation sensitive)树脂组合物。
技术介绍
辐射敏感树脂组合物可以用作形成硬化树脂图案用的材料，所述的材料典型地包括在薄层晶体管(以下，在某些情况下称为TFT)型液晶显示器中使用的TFT绝缘膜、在反射型TFT基板中使用的扩散反射板、有机EL绝缘膜、立体照相机(solid camera)元件(以下，在某些情况下称为CCD)中的保护膜等(参见，日本专利No.2933879，第2页，左栏，第22至25行)。要求硬化树脂图案对于可见光具有高透射比，以得到更明亮的显示图像(参见，日本专利No.2933879，第3页，左栏，第13至14行)。但是，通过使用传统的辐射敏感树脂组合物而形成的硬化树脂图案没有被认可对可见光具有足够透射比。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种辐射敏感树脂组合物，其能够在400nm的波长下形成具有高透射比的硬化树脂图案。本专利技术人为了发现一种几乎不具有如上所述问题的辐射敏感树脂组合物进行了研究，结果发现一种包含硅烷偶联剂的辐射敏感树脂组合物在400nm的波长下形成具有高透射比的硬化树脂图案，从而完成了本专利技术。即，本专利技术提供下面的至。一种辐射敏感树脂组合物，其包含(A)具有硬化性能的碱溶性树脂、(B)醌二叠氮(quinonediazide)化合物、(C)溶剂和(D)硅烷偶联剂。根据的组合物，其中硅烷偶联剂(D)在它的结构中具有环氧基。根据或的组合物，其中硅烷偶联剂(D)的含量基于辐射敏感树脂组合物为0.01至10重量％。根据至任何一项的组合物，其中溶剂(C)包含选自由式(1)的化合物和乳酸乙酯中的至少一种溶剂R1-COO-R2(1)(其中，R1表示含有1至4个碳原子的烷基，R2表示含有3至10个碳原子的烷基)。根据的组合物，其中R1表示含有1或2个碳原子的直链烷基，和R2表示含有4至8个碳原子的直链烷基或含有4至8个碳原子的支链烷基。根据至任何一项的组合物，其中溶剂(C)的含量基于辐射敏感树脂组合物为50至80重量％。根据至任何一项的组合物，其中式(1)的化合物的含量基于溶剂总量按重量分数计为10至90重量％。8根据至任何一项的组合物，其中乳酸乙酯的含量基于溶剂总量为5至50重量％。根据至任何一项的组合物，其中具有硬化性能的碱溶性树脂(A)是包含衍生自不饱和羧酸的组成单元(a1)和衍生自含有硬化基团的不饱和化合物(除不饱和羧酸外)的组成单元(a2)的共聚物。根据的组合物，其中在衍生自含有硬化基团的不饱和化合物(除不饱和羧酸外)的组成单元(a2)中，硬化基团是氧杂环丁烷基(oxetanylgroup)。根据或的组合物，其中具有硬化性能的碱溶性树脂(A)是还包含至少一种选自下列中的组成单元(a3)的共聚物衍生自羧酸酯的组成单元(a31)、衍生自芳族乙烯基化合物的组成单元(a32)、衍生自乙烯基氰化合物的组成单元(a33)和通过断裂N-取代的马来酰亚胺化合物的不饱和键而衍生的组成单元(a34)。一种由根据至任何一项的组合物形成的硬化树脂图案。一种包含根据的硬化树脂图案的显示器。优选本专利技术中使用的具有硬化性能的碱溶性树脂(A)为包含衍生自不饱和羧酸的组成单元(a1)和衍生自含有硬化基团的不饱和化合物(除不饱和羧酸外)的组成单元(a2)的共聚物。至于上面所述的不饱和羧酸，提及的有在分子中含有一个或多个羧基的不饱和羧酸，例如，不饱和的单羧酸、不饱和的二羧酸等，其具体实例包括丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等。上面所述的具有硬化基团的不饱和化合物(除不饱和羧酸外)的实例包括含环氧基的不饱和化合物，如(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸(β-甲基缩水甘油)酯、(甲基)丙烯酸(β-乙基缩水甘油)酯、(甲基)丙烯酸(3-甲基-3，4-环氧丁)酯、(甲基)丙烯酸(3-乙基-3，4-环氧丁)酯、(甲基)丙烯酸(4-甲基-4，5-环氧戊)酯、(甲基)丙烯酸(2，3-环氧环己基甲)酯、(甲基)丙烯酸(3，4-环氧环己基甲)酯、邻-乙烯基苄基缩水甘油醚、间-乙烯基苄基缩水甘油醚、对-乙烯基苄基缩水甘油醚、2-乙烯基环己烯化氧、3-乙烯基环己烯化氧、4-乙烯基环己烯化氧等；含氧杂环丁烷基的不饱和化合物，如3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷等。优选使用含氧杂环丁烷基的不饱和化合物，如3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-苯基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-三氟甲基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷、2-五氟乙基-3-(甲基)丙烯酰氧乙基氧杂环丁烷等，更优选使用3-乙基-3-丙烯酰氧甲基氧杂环丁烷。当使用包含含氧杂环丁烷基的不饱和化合物的碱溶性树脂制备辐射敏感树脂组合物时，出现具有优异储存稳定性的趋势，是优选的。本专利技术中的共聚物还可以包含至少一种选自下列中的组成单元(a3)衍生自羧酸酯的组成单元(a31)、衍生自芳族乙烯基化合物的组成单元(a32)、衍生自乙烯基氰化合物的组成单元(a33)和通过断裂N-取代的马来酰亚胺化合物的不饱和键而衍生的组成单元(a34)。上面所述的衍生自(a31)的具有烯双键的羧酸酯的实例包括不饱和羧酸酯，如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸(2-羟乙)酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸异龙脑酯、(甲基)丙烯酸二环戊(dicyclopentanyl)酯、(甲基)丙烯酸苯酯、马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；不饱和羧酸氨烷基酯，如(甲基)丙烯酸氨乙酯等；羧酸乙烯酯，如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等。上面所述的衍生自(a32)的具有可聚合碳-碳不饱和键的芳族化合物的实例包括芳族乙烯基化合物等。芳族乙烯基化合物的实例包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯等。上面所述的衍生自(a33)的乙烯基氰化合物的实例包括乙烯基氰化合物，如丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯(甲基)丙烯腈等。上面所述的衍生自(a34)的N-取代马来酰亚胺化合物的实例包括N-甲基马来酰亚胺、N-乙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-(4-乙酰基苯基)马来酰亚胺、N-(2，6-二乙基苯基)马来酰亚胺、N-(4-本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辐射敏感树脂组合物，其包含（Ａ）具有硬化性能的碱溶性树脂、（Ｂ）醌二叠氮化合物、（Ｃ）溶剂和（Ｄ）硅烷偶联剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：川口裕次郎，中野由子，白川政和，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]