显影装置、显影方法及显影液循环方法制造方法及图纸

一种显影装置，具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液／浓缩液循环系统，（１）所述显影液循环系统包括：进行显影处理的显影槽、收容显影液的显影液循环池、将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构、使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；（２）所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；（３）所述滤液／浓缩液循环系统包括：收容从上述显影液循环池中取出一部分的显影液的超滤浓缩液池、将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构、以及使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统的机构。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别涉及在制造彩色滤光片的过程中形成着色像素时的显影。
技术介绍
用于液晶显示器等中的彩色滤光片是由细小的红、绿、蓝等图案构成的光学元件。其制造过程包括在玻璃等的透明基板上涂敷感光性的抗蚀剂、显影等工序，对各种颜色反复进行同样的过程。下面说明制造彩色滤光片过程中以往的显影工序。显影工序以溶解、剥离除去曝光后未硬化的抗蚀剂为目的，即使在光刻蚀工序中也是控制图案的形状的重要的工序。作为显影工序中被管理的项目有显影时间、显影液的温度等，虽然因显影槽的结构或方式而不同，但都以使用的显影液的显影能力为基准。一般的显影装置不管是成批式还是单张式，都由显影槽和显影液池构成，伴随着显影液的单纯的循环。为了维持显影液的显影能力，有管理处理的张数，在处理了规定的张数后将显影液池内的显影液一起排掉的方法，或者以一定间隔连续地进行补充新的显影液和排掉显影液池内的显影液的方法。在一起排掉显影液池内的显影液的方法中，不得不停止运转。因此，该方法是近似于维护的方法。并且，依管理的处理张数不同，初期的显影液的显影能力与排放时的显影液的显影能力差别很大。因此，在连续运转中有必要调整细微的显影参数，不太适合作为工厂里的流程管理。在以一定间隔连续地进行补充新的显影液和排掉显影液池内的显影液的方法中，如果减少排放量则显影能力极度低下，显影液池内的显影液的污染度变得非常高。显影液池内的显影液的污染度、网眼堵塞提供给显影的显影液的污染度是使装置、以及制品产生不良的主要原因。反之，如果增加排放量，则虽然能将显影液池内的显影液的污染度抑制在较低的水平，但新的显影液的补充量巨大，运转成本增加，不合算。无论哪种方法都难以避免刚维护后显影液的显影能力的变动。并且，新显影液的供给量与显影液池内的显影液的污染度是相反的参数。即，难以在维持低运转成本的同时维持显影液池内的显影液的污染度也低的状态。因此，目前的现状是在优先抑制制品品质产生不良，增加新显影液的供给量和排放量的状态下工作。近年来，光刻蚀生产线不断大型化。这一背景关系到特别是适应市场需求的显示器的大型化。生产线的大型化使实际使用量增加，装置的可维护性恶化。而且，制品的大型化带来作业性变差，使流程管理困难。包括显影工序的湿法显影工艺受这些生产线的大型化和制品的大型化问题的影响很大。为了解决这些问题，过去提出过有关显影液再生的方案，实际考虑了使用了超滤过滤器的再生显影液的方法(参照日本特开平11-212275号公报)。但是，该方法为仅药液调合处理过滤后的液体进行再利用的方法，为了确保必要的过滤液的量需要花费时间，因此不适合连续工作。并且通过药液调合处理再生成新显影液的方法虽然可以断续工作，但连续工作需要连续监控液体的成分等，因此不适合。
技术实现思路
本专利技术的目的就是要提供一种用超滤过滤器处理提供给显影的显影液来再利用滤液，同时使浓缩液循环，通过这样可以防止显影液的质量降低、将运转成本控制在低水平，并且流程管理极其容易的。本专利技术的另一个目的是要提供一种能够防止长时间使用时因堵塞超滤过滤器的网孔而使滤液量降低，使维护性容易，即使连续运转也不需对显影参数作细微的调整，并且即使制品大型化作业性也不会变差的。如果采用本专利技术的第1形态，提供具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液/浓缩液循环系统的显影装置，(1)所述显影液循环系统包括进行显影处理的显影槽，收容显影液的显影液循环池，将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构，使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；(2)所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；(3)所述滤液/浓缩液循环系统包括收容从上述显影液循环池中取出一部分的显影液的超滤浓缩液池，将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器中的机构，使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构，使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统内的机构。如上述构成的本专利技术的第1形态的显影装置可以采用以下各种结构。(1)上述超滤过滤器具有截留分子量(分画分子量)1000～粒径10μm的过滤精度。(2)还具备在显影装置的连续运转时定期地废弃上述超滤浓缩液池内的一定量的显影液的机构，以及在显影装置连续运转时定期地往上述显影液循环池内供给一定量的新显影液的机构。(3)还具备调节来自上述超滤过滤器的滤液的流量用的调整阀、测量来自上述超滤过滤器的滤液的流量用的流量计、测量来自上述超滤过滤器的浓缩液的流量的流量计、自动调节上述滤液流量与浓缩液流量之比将其固定地保持在最佳值的定透液率模式机构。(4)还具备调节来自上述超滤过滤器的滤液的流量用的调整阀、测量来自上述超滤过滤器的滤液的流量用的流量计、以及自动调节上述滤液流量将其固定地保持在最佳值的定滤液流量模式机构。(5)还具备调节来自上述超滤过滤器的滤液的流量用的调整阀，测量来自上述超滤过滤器的滤液的压力用的压力计，以及自动调节来自上述超滤过滤器的滤液的压力将其固定地保持在最佳值的定滤液压力模式机构。本专利技术的第1形态所涉及的显影装置还可以具备将逆洗液输送到上述超滤过滤器中的逆洗液供给系统。其具体结构如下(1)上述逆洗液供给系统具备测量上述逆洗液的流量的流量计以及测量上述逆洗液的压力的压力计。(2)上述逆洗液供给系统具备储存在上述超滤过滤器中被分离的滤液作为过滤器的逆洗液的逆洗液池。(3)上述逆洗液供给系统具备根据从上述流量计或压力计中的任一个反馈来的测量值控制上述逆洗液的流量或压力，将其维持在设定值的逆洗控制系统。(4)上述逆洗控制系统可以设定逆洗时间。(5)上述逆洗控制系统在上述超滤过滤器的上游的浓缩液循环路径中具备自动阀，在逆洗时可以选择闭阀状态或开阀状态。(6)上述逆洗控制系统具备带变换器的逆洗泵，通过控制泵的频率来维持设定值地进行控制。(7)具有多个上述超滤过滤器，将来自第1个超滤过滤器的滤液储存到上述逆洗池内，将储存的滤液作为第1个超滤过滤器的逆洗液使用；具备同样地依次逆洗第2个以后的超滤过滤器的机构，在连续运转时多个超滤过滤器定期地依次被逆洗。本专利技术的第1形态所涉及的显影装置可以采用这样的结构具有多个上述超滤过滤器，使第1个超滤过滤器内的浓缩液的流动向与正常状态下的流向相反的方向而逆流，通过在浓缩液的流动上加上变化来洗净超滤过滤器的内部；对于第2个以后的超滤过滤器具有依次同样地使浓缩液的流动逆流的机构，在连续运转时对于多个超滤过滤器依次使浓缩液的流动逆流。本专利技术的第2形态提供一种使用上述任一种显影装置，在上述显影槽中用从上述显影液循环池输送来的显影液进行被显影体的显影处理的显影方法。本专利技术的第3形态提供一种显影液循环方法，使用上述任何一种显影装置，定期地从上述超滤浓缩液池中废弃显影液，定期地往上述显影液循环池中供给相当于该废弃掉的显影液的量的新显影液，由此来维持液量平衡。附图说明图1是表示现有方式和本专利技术方式的显影液污染度与时间的关系的图。图2是本专利技术的一个实施方式的显影装置的流程图。图3是本专利技术的其他实施方式的、不需逆洗用管路的显影装置的流程图。图4是逆洗机构的时间图表的说明图。图5是逆洗、逆流机构的时间图表的说明图。具体实施例方式下面说明实施专利技术用的优选方式。本专利技术的一个本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显影装置，其特征在于：具备显影液循环系统、超滤过滤器和滤液／浓缩液循环系统，（１）所述显影液循环系统包括：进行显影处理的显影槽、收容显影液的显影液循环池、将上述显影液循环池内的显影液输送到上述显影槽内的机构、使上述显影槽内进行显影处理所使用过的显影液返回上述显影液循环池内的机构；（２）所述超滤过滤器将上述显影液分离成滤液和浓缩液；（３）所述滤液／浓缩液循环系统包括：收容从上述显影液循环池中取出了一部分的显影液的超滤浓缩液池、将上述超滤浓缩液池内的显影液输送到上述超滤过滤器中的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的浓缩液返回上述超滤浓缩液池内的机构、使在上述超滤过滤器中被分离的滤液返回上述显影液循环系统的机构。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷胁和磨，池田武司，宿南友幸，松本泰明，多田昌广，古谷直树，楠进也，松苗贵久，天满屋裕，三桥则登，茅根博之，
申请(专利权)人：凸版印刷株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]