用于光刻胶的感光树脂组合物制造技术

本发明专利技术涉及一种用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及一种用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括：通过选择使用特定的化合物或控制未反应单体的比例以获得的丙烯酸酯共聚物，和１，２－二叠氮醌化物。该组合物在几方面性能优异，如：介电特性、平滑度、透明性、显影性能、残膜率、耐化学品性和耐热性，以及灵敏度和分辨率。特别是它促进夹层电介质中的图案易于形成，此外，由于甚至在制为厚膜时仍具有优异的透射率，它可在ＬＣＤ制造过程中用作光刻胶。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在LCD制造过程中用作光刻胶的感光树脂组合物，特别涉及含有不饱和烯键的丙烯酸酯共聚物的感光树脂组合物，该组合物在如介电特性、平滑度和耐化学品性的几个性能中表现优异，该组合物促进图案易于形成，并具有优秀的透射率，该组合物适用于在液晶显示元件和集成电路元件等中形成夹层电介质。
技术介绍
TFT液晶显示元件或集成电路元件使用夹层电介质以使位于层间的布线间隔相互绝缘。为了形成这样的夹层电介质，使用这样的感光材料，该感光材料具有优异的平滑度，并可减少获得具有所需图案构型的夹层电介质必要的加工步骤。同样，由于液晶显示器(LCDs)的显示质量已经提高，TFT液晶显示元件的结构已改变，并存在增加的情况，其中通过增加夹层电介质的厚度形成高平滑度。然而，当如上所述用于夹层电介质的感光树脂组合物很厚时，随着膜厚度的增加，透明性下降就成为问题。
技术实现思路
因此，考虑到上述现有技术的问题，本专利技术提供一种感光树脂组合物，该组合物在如介电特性、平滑度和耐化学品性几个性质中表现优异，并促进夹层电介质中图案易于形成。本专利技术的另一个目的是提供一种感光树脂组合物，由于甚至在制为厚膜时仍具有的优异的透射率，因而适于在LCD制造过程中用作夹层电介质。为达到上述目的，本专利技术提供一种感光树脂组合物，该组合物包括(A)通过共聚如下物质获得的丙烯酸类共聚物i)由如下通式1表示的化合物 其中R1和R2可以相同或不同，并每个独立地为氢原子、C1～C5烷基、或C1～C5烷氧基；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物；iii)含环氧基团的不饱和化合物；和iv)烯属不饱和化合物；和(B)1，2-二叠氮醌化物化合物。优选，本专利技术提供一种感光树脂组合物，该感光树脂组合物包括(A)100重量份通过共聚如下物质获得的丙烯酸类共聚物i)10～70wt％由通式1表示的化合物；ii)5～40wt％不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；iii)10～70wt％含环氧基团的不饱和化合物；和iv)10～70wt％烯属不饱和化合物；和(B)5～100重量份1，2-二叠氮醌化合物。本专利技术进一步提供一种感光树脂组合物，该组合物包括(A)通过共聚如下物质获得的丙烯酸类共聚物i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；ii)含环氧基团的不饱和化合物；和iii)烯属不饱和化合物；(B)1，2-二叠氮醌化物化合物；和(C)由如下通式2表示的丙烯酸酯化合物 其中R是氢原子、或烷基、烷氧基、或C1～C5烷酰基；并且1＜a＜6，a+b＝6。本专利技术提供一种感光树脂组合物，优选该感光树脂组合物包括(A)100重量份通过共聚如下物质获得的丙烯酸类共聚物i)5～40wt％不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；ii)10～70wt％含环氧基团的不饱和化合物；和iii)10～70wt％烯属不饱和化合物；(B)5～100重量份1，2-二叠氮醌化物化合物；和(C)1～50重量份由通式2表示的丙烯酸酯化合物。本专利技术进一步提供一种感光树脂组合物，该组合物包括(A)包括如下物质的丙烯酸类共聚物i)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；ii)含环氧基团的不饱和化合物；和iii)烯属不饱和化合物；其中未反应单体和聚合引发剂的范围是5％或更小，且由凝胶渗透色谱(GPC)分析，按照聚苯乙烯计算的重均分子量是5,000～20,000；和(B)1，2-二叠氮醌化物化合物。本专利技术提供一种感光树脂组合物，优选该感光树脂组合物包括(A)100重量份如下物质的丙烯酸类共聚物i)5～40wt％不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；ii)10～70wt％包含环氧基团的不饱和化合物；和iii)10～70wt％烯属不饱和化合物；其中未反应单体和聚合引发剂的范围是5％或更小，且由GPC分析按照聚苯乙烯计算的重均分子量是5,000～20,000；和(B)5～100重量份1，2-二叠氮醌化物化合物。具体实施例方式以下进一步详细描述本专利技术。本专利技术的特征为用于光刻胶的感光树脂组合物，该组合物包括通过使用特定丙烯酸类化合物或控制未反应单体的比例获得丙烯酸类共聚物。以下是本专利技术感光树脂组合物的第一优选实施方案。本专利技术的感光树脂组合物包括(A)通过共聚如下物质获得的丙烯酸类共聚物i)由以上定义的通式1表示的化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；iii)包含环氧基团的不饱和化合物；iv)烯属不饱和化合物；和(B)1，2-二叠氮醌化合物。在本专利技术的感光树脂组合物中，(A)的丙烯酸类共聚物使得能够容易地形成所需图案而在显影期间不产生浮渣。在溶剂和聚合引发剂存在下，使用i)由通式1表示的化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；iii)包含环氧基团的不饱和化合物；和iv)烯属不饱和化合物；由自由基反应获得(A)的丙烯酸类共聚物。用于本专利技术共聚的由通式1表示的i)化合物(丙烯酸类树脂)的用量，基于总的单体，优选为10～70wt％，更优选20～50wt％。如果通式1化合物的用量小于10wt％，丙烯酸类共聚物的贮存稳定性倾向于降低，如果超过70wt％，则丙烯酸类共聚物难以溶于碱性水溶液。由通式1表示的化合物的具体例子是如下的通式1a～1d 用于本专利技术中共聚的ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐或其混合物的用量，基于总的单体，优选为5～40wt％，更优选10～30wt％。如果以上单体的用量小于5wt％，则共聚物难以溶于碱性水溶液，另一方面如果超过40wt％，则在碱性水溶液中的溶解度则增加太多。以上ii)化合物的具体例子是不饱和单羧酸如丙烯酸和甲基丙烯酸；不饱和二羧酸如马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸和衣康酸；不饱和二羧酸的酸酐等，它们可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。其中，由于优秀的共聚反应性和在碱性水溶液中优良的溶解度，优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸或马来酸酐。用于本专利技术中共聚的iii)包含环氧基团的不饱和化合物的用量，基于总的单体，优选为10～70wt％，更优选20～60wt％。如果环氧基团的不饱和化合物的用量小于10wt％，获得的图案耐热性倾向于降低，如果超过70wt％，则共聚物的贮存稳定性倾向于降低。作为包含环氧基团的不饱和化合物有丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3，4-环氧丁酯、丙烯酸-6，7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚等，它们可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。由于可提高共聚反应性和获得图案的耐热性，优选使用甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、或对乙烯基苄基缩水甘油醚。用于本专利技术中共聚的iv)烯属不饱和化合物的用量，基于的总单体，优选为10～70wt％，更优选20～50wt％。如果烯属不饱和化合物的用量小于10wt％，丙烯酸类共聚物的贮存稳定性倾向于降低本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光树脂组合物，包括：（Ａ）１００重量份的如下物质的丙烯酸类共聚物：ｉ）５～４０ｗｔ％的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物；ｉｉ）１０～７０ｗｔ％的包含环氧基团的不饱和化合物；和ｉｉｉ）１０～７０ｗｔ％ 的烯属不饱和化合物；其中未反应单体和聚合引发剂的范围是５％或更小，由ＧＰＣ分析确定，按照聚苯乙烯计算的该共聚物重均分子量是５，０００～２０，０００；和（Ｂ）５～１００重量份的１，２－二叠氮醌化物化合物。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金柄郁，赵俊衍，权京一，朴洙晶，俞载元，
申请(专利权)人：株式会社东进世美肯，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]