感光性树脂组合物制造技术

本发明专利技术提供感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不仅透过率、绝缘性、平滑性、耐化学性等性能优异，而且特别地，该组合物由于具有高耐热特性，使得在层间绝缘膜产生的渗气最小化，因而可确保后工序的可靠性，适于用作ＬＣＤ制造工序的层间绝缘膜。本发明专利技术的感光性树脂组合物含有ａ）丙烯酸类共聚物、ｂ）１，２－二叠氮醌化合物、和ｃ）溶剂，其中所述ａ）丙烯酸类共聚物是通过使下述ｉ）～ｉｉｉ）共聚得到的：ｉ）苯基马来酰亚胺类化合物；ｉｉ）不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；ｉｉｉ）含环氧基的不饱和化合物。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及感光性树脂组合物，更详细地，本专利技术涉及下述感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物不仅透过率、绝缘性、平滑性、耐化学性等性能优异，而且特别地，该组合物由于具有高耐热特性，使得在层间绝缘膜产生的渗气(outgassing)最小化，因而可确保后工序的可靠性，适于用作LCD制造工序的层间绝缘膜。
技术介绍
在TFT型液晶显示元件、集成电路元件中，使用层间绝缘膜，该层间绝缘膜用于使配置在层间的配线之间绝缘。形成这种层间绝缘膜时，所使用的感光性材料的平滑性优异，并且用于得到必要的图案形状的层间绝缘膜的工序数目少。此外，随着液晶显示器(LCD)的显示品质的提高，TFT型液晶显示元件的结构也随之变化，从而使对于层间绝缘膜的膜的厚度增厚、平滑性提高的需求在增加。而且，适用于LCD制造工序的层间绝缘膜要求具有优异的高耐热性。以往的层间绝缘膜含有PAC、粘着剂、溶剂等成分，其中主要使用丙烯酸树脂作为上述粘着剂。但是，利用上述丙烯酸树脂时，难以发挥层间绝缘膜所要求的高耐热性，因此使得绝缘膜在反射度、粘着力等方面存在问题，由于渗气而导致照相(photo)装备的损伤。因此，实际上有必要对下述方法进行进一步研究，所述方法可以提高适用于LCD制造工序的层间绝缘膜的高耐热性、可以使渗气最小化。
技术实现思路
为了解决现有技术的上述问题，本专利技术的目的在于，提供感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的固化物的LCD基板和利用该感光性树脂组合物的LCD基板的图案形成方法，该感光性树脂组合物不仅透过率、绝缘性、平滑性、耐化学性等性能优异，而且特别地，该组合物由于具有高耐热特性，使得在层间绝缘膜产生的渗气最小化，因而可确保后工序的可靠性，适于用作LCD制造工序的层间绝缘膜。本专利技术的其它的目的在于，提供感光性树脂组合物、含有该感光性树脂组合物的固化物的LCD基板和利用该感光性树脂组合物的LCD基板的图案形成方法，该感光性树脂组合物具有优异的高耐热性，不仅可以提高适用于LCD工序的层间绝缘膜的反射度、粘着力，还可以防止由于渗气而导致的照相(photo)装备的损伤。为了达成上述目的，本专利技术提供感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物含有a)丙烯酸类共聚物、b)1，2-二叠氮醌化合物、和c)溶剂，其中所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)～iii)共聚得到的i)由下述式(1)表示的苯基马来酰亚胺类化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；iii)含环氧基的不饱和化合物， 上述式(1)中，R是羟基(OH-)或羧基(CH3COO-)。本专利技术的感光性树脂组合物优选含有a)100重量份的丙烯酸类共聚物、b)5重量份～100重量份的1，2-二叠氮醌化合物、和c)溶剂，该溶剂使得感光性树脂组合物内的固形成分的含量为10重量％～50重量％；其中所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)～iii)共聚得到的i)5重量份～60重量份的由上述式(1)表示的苯基马来酰亚胺类化合物；ii)5重量份～40重量份的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；iii)10重量份～70重量份的含环氧基的不饱和化合物。此外，本专利技术还提供LCD，其含有上述感光性树脂组合物的固化物。另外，本专利技术还提供LCD基板的图案形成方法，其利用了上述感光性树脂组合物。专利技术的效果基于本专利技术的感光性树脂组合物不仅透过率、绝缘性、平滑性、耐化学性等性能优异，而且特别地，该组合物由于具有高耐热特性，使得在层间绝缘膜产生的渗气最小化，因而可确保后工序的可靠性，适于用作LCD制造工序的层间绝缘膜；而且该组合物还可以提高适用于LCD工序的层间绝缘膜的反射度、粘着力，可以防止由于渗气而导致的照相装备的损伤。具体实施例方式下文对本专利技术加以详细说明。本专利技术的感光性树脂组合物的特征在于，其含有a)丙烯酸类共聚物、b)1，2-二叠氮醌化合物、和c)溶剂，其中所述a)丙烯酸类共聚物是通过使下述i)～iii)共聚得到的i)由上述式(1)表示的苯基马来酰亚胺类化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；iii)含环氧基的不饱和化合物。本专利技术使用的上述a)丙烯酸类共聚物发挥着下述作用即，其使得显像时可以容易地形成规定的图案而不会产生膜渣(scum)。上述a)的丙烯酸类共聚物可以通过下述方法获得以i)由上述式(1)表示的苯基马来酰亚胺类化合物；ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；和iii)含环氧基的不饱和化合物作为单体，在溶剂和聚合引发剂的存在下，利用自由基反应进行制造，从而得到上述a)的丙烯酸类共聚物。此外，上述丙烯酸类共聚物还可以进一步含有iv)烯烃类不饱和化合物作为单体。本专利技术上述a)中所使用的i)由上述式(1)表示的苯基马来酰亚胺类化合物发挥着下述作用其可提高耐热性和在碱性水溶液中的溶解性。对于上述苯基马来酰亚胺类化合物，可以使用4-羟基苯基马来酰亚胺或4-羧基苯基马来酰亚胺等。相对于100重量份的全部单体，上述苯基马来酰亚胺类化合物的含量优选为5重量份～60重量份，更优选为5重量份～40重量份。其含量小于5重量份时，存在耐热性可能降低的问题；超过60重量份时，存在在碱性水溶液中的溶解性降低的问题。对于本专利技术上述a)中所使用的ii)不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物，可以单独使用丙烯酸、甲基丙烯酸等不饱和一元羧酸；马来酸、富马酸、柠康酸、甲基毒芹酸(メタコン酸，methaconic acid)、衣康酸等不饱和二元羧酸；或这些不饱和二元羧酸的酸酐等；上述物质可单独使用，或至少2种混合使用。特别地，从共聚反应性和在作为显像液的碱性水溶液中的溶解性方面考虑，进一步优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸或马来酸酐。相对于100重量份的全部单体，上述不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物的含量优选为5重量份～40重量份，进一步优选为10重量份～30重量份。其含量小于5重量份时，有难以溶解于碱性水溶液的问题；超过40重量份时，有在碱性水溶液中的溶解性过大的问题。对于本专利技术上述a)中所使用的iii)含有环氧基的不饱和化合物，可以使用丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、α-乙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丙基丙烯酸缩水甘油酯、α-正丁基丙烯酸缩水甘油酯、丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-乙基缩水甘油酯、丙烯酸-3，4-环氧丁酯、甲基丙烯酸-3，4-环氧丁酯、丙烯酸-6，7-环氧庚酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、α-乙基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚或对乙烯基苄基缩水甘油醚等，上述化合物可以单独使用或至少2种混合使用。特别地，对于上述含有环氧基的不饱和化合物，从共聚反应性和提高所得到的图案的耐热性方面考虑，进一步优选使用甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸-β-甲基缩水甘油酯、甲基丙烯酸-6，7-环氧庚酯、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚或对乙烯基苄基缩水甘油醚。相对于100重量份的全部单体，上述含有环氧基不饱和化合物的含量优选为10重量份～70重量份，进本文档来自技高网...

【技术保护点】
感光性树脂组合物，其含有：ａ）丙烯酸类共聚物、ｂ）１，２－二叠氮醌化合物、和ｃ）溶剂，其中所述ａ）丙烯酸类共聚物是通过使下述ｉ）～ｉｉｉ）共聚得到的：ｉ）由下述式（１）表示的苯基马来酰亚胺类化合物；ｉｉ）不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或不饱和羧酸和不饱和羧酸酐的混合物；ｉｉｉ）含环氧基的不饱和化合物；＊＊＊（１）式（１）中，Ｒ是羟基ＯＨ↑［－］或羧基ＣＨ↓［３］ＣＯＯ↑［－］。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：尹赫敏，金柄郁，崔相角，丘冀赫，尹柱豹，金东敏，吕泰勳，郑义澈，金东明，李浩真，
申请(专利权)人：株式会社东进世美肯，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]