本发明专利技术提供了一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：装置底板、料盘单元、夹具单元、视觉监测单元、物料单元、探针单元、点胶单元和积分球，其中探针单元能够为激光器芯片上电发光，夹具单元会从所述料盘单元夹取反射镜并将反射镜运输至物料单元的耦合位置，通过点胶单元点胶并固化将反射镜固定在耦合位置；其中夹具单元的夹具运动机构能够驱动夹具机构自由运动实现精确位移，夹具机构能够通过夹取和吸附双重作用实现精确夹持，最终积分球会根据光线接收探头接收到的反射镜反射光判断耦合是否完成。本发明专利技术结构设计合理，自动化程度高，能够实现反射镜的自动耦合与安装，夹持精度高，有效提高了耦合效率。有效提高了耦合效率。有效提高了耦合效率。
【技术实现步骤摘要】
基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置
[0001]本专利技术涉及半导体激光器
，特别涉及一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置。
技术介绍
[0002]半导体激光器具有体积小，重量轻，效率高，寿命长等诸多有点，其在国民经济的各方面起着越来越重要的作用；随着实际工程的发展，对于半导体激光器的输出功率要求越来越高，为了获得高输出功率需要采用阵列半导体激光器，即将多个半导体激光器线状集成在同一个载体上，通过光学元件将每个半导体激光器产生的激光汇聚到一起。
[0003]反射镜是阵列半导体激光器的光学元件中极为重要的一个，其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向，反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量；现有的阵列半导体激光器的反射镜大多采用人工耦合或半自动化耦合，其中人工耦合需要操作人员提前给半导体激光器上电，使其发射激光，随后利用器具将反射镜设置在光路上，通过细微的调整使得激光照射向指定角度，在确定好耦合位置后还需要通过胶体令反射镜固定在载体上，整个过程工序繁琐且耗时长，且在整个过程中需要保证反射镜不会被污染，否则极易影响到激光的反射质量，若半导体激光器的功率过高还有可能对操作人员的人身安全造成影响；其中半自动化耦合时反射镜的夹持通常采用夹取或者气吸等单一夹持方式，其夹持效率低下、夹持精度不高，为适应单一夹持方式通常还需要将反射镜由原装料盘移送至夹持专用料盘，这一步骤极大的增加了耦合时间，降低了耦合效率。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供了一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其目的是为了提升反射镜耦合效率以及耦合精度。
[0005]为了达到上述目的，本专利技术的实施例提供了一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，包括：
[0006]装置底板，所述装置底板平面设置，所述装置底板上架设有横梁；
[0007]料盘单元，所述料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板上，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；
[0008]夹具单元，所述夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁上，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；
[0009]视觉监测单元，所述视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述夹具运动机构上；
[0010]物料单元，所述物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；
[0011]探针单元，所述探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；
[0012]点胶单元，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构，所述点胶机构设置在所述横梁上，所述固化机构设置在所述探针单元上。
[0013]其中，所述料盘运动机构设置有料盘Y轴运动平台，所述料盘Y轴运动平台的活动板上设置有料盘旋转平台，所述料盘旋转平台的转台上设置有料盘连接件，所述料盘安装座固定设置在所述料盘连接件顶部。
[0014]其中，所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台；所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的活动板上，所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的活动板上，所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的活动板上，所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上。
[0015]其中，所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的活动板上，所述夹具机构设置有夹持气缸连接件、夹持气缸、吸头连接件和吸头；所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上，所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部，所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头，所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上，所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端，所述吸头设置在两个所述反射镜夹头之间；所述吸头底部开设有反射镜吸附槽，所述吸头连通负压，所述反射镜吸附槽用于吸附反射镜。
[0016]其中，所述相机运动机构为相机手动平台，所述相机手动平台固定设置在所述X轴运动平台的活动板上，所述相机手动平台设置在所述X轴运动平台的活动板靠近所述夹具机构的一端；所述相机手动平台的活动板上设置有相机连接件，所述监测相机竖直向下设置在安装在所述相机连接件上。
[0017]其中，所述物料运动机构设置有物料第一运动平台、物料第二运动平台和物料第三运动平台，所述物料吸盘通过吸盘连接件设置在所述物料第三运动平台的活动板上；所述物料吸盘上设置有物料定位块。
[0018]其中，所述探针单元设置在所述物料单元旁，所述探针运动机构设置有探针进退气缸和探针升降气缸，所述探针进退气缸通过探针单元连接件固定设置在所述装置底板，所述探针升降气缸通过探针气缸连接件设置在所述探针进退气缸上；所述探针夹持机构设置有探针连接件和探针固定件，所述探针连接件设置在所述探针升降气缸的输出板上，所述加电探针通过所述探针固定件安装在所述探针连接件上。
[0019]其中，所述点胶机构设置有点胶运动平台、点胶XZ轴手动平台、点胶气缸和胶筒，所述点胶运动平台固定设置在所述横梁上，所述点胶XZ轴手动平台通过点胶连接件设置在所述点胶运动平台上，所述点胶气缸通过点胶气缸连接件倾斜设置在所述点胶XZ轴手动平台的活动板上，所述胶筒通过胶筒连接件安装在所述点胶气缸的输出板上。
[0020]其中，所述固化机构设置有第一UV灯连接件、第二UV灯连接件、UV灯固定件和UV灯，所述第一UV灯连接件设置在所述探针连接件上，所述第二UV灯连接件设置在所述第一UV灯连接件上，所述UV灯通过所述UV灯固定件安装在所述第二UV灯连接件上。
[0021]其中，还包括：积分球和光线接收探头，所述光线接收探头设置在所述物料吸盘的端头，所述光线接收探头通过光纤连通所述积分球。
[0022]本专利技术的上述方案有如下的有益效果：
[0023]本专利技术的上述实施例所述的基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，设置有装置底板、料盘单元、夹具单元、视觉监测单元、物料单元、探针单元、点胶单元和积分球，其中探针单元能够为激光器芯片上电发光，夹具单元会从所述料盘单元夹取反射镜并将反射镜运输至物料单元的耦合位置，通过点胶单元点胶并固化将反射镜固定在耦合位置；其中夹具单元的夹具运动机构能够驱动夹具机构自由运动实现精确位移，夹具机构能够通过夹取和吸附双重作用实现精确夹持，最终积分球会根据光线接收探头接收到的反射镜反射光判断耦合是否完成。本专利技术结构设计合理，自动化程度高，能够实现反射镜的自动耦合与安装，夹持精度高，有效提高了耦合效率。
附图说明
[0024]图1为本专利技术的基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置的结构示意图；
[0025]图2为本专利技术的基于功率检测的半导体本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，包括：装置底板，所述装置底板平面设置，所述装置底板上架设有横梁；料盘单元，所述料盘单元设置有料盘运动机构和料盘安装座，所述料盘安装座通过所述料盘运动机构设置在所述装置底板上，所述料盘安装座用于安装反射镜料盘；夹具单元，所述夹具单元设置有夹具运动机构和夹具机构，所述夹具机构通过所述夹具运动机构设置在横梁上，所述夹具单元用于夹持并运输反射镜；视觉监测单元，所述视觉监测单元设置有监测相机和相机运动机构，所述监测相机通过所述相机运动机构安装在所述夹具运动机构上；物料单元，所述物料单元设置有物料运动机构和物料吸盘，所述物料吸盘通过所述物料运动平台安装在所述装置底板上；探针单元，所述探针单元设置有探针运动机构和探针夹持机构，所述探针夹持机构通过所述探针运动机构安装在所述装置底板上，所述探针夹持机构上安装有加电探针；点胶单元，所述点胶单元设置有点胶机构和固化机构，所述点胶机构设置在所述横梁上，所述固化机构设置在所述探针单元上。2.根据权利要求1所述的基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述料盘运动机构设置有料盘Y轴运动平台，所述料盘Y轴运动平台的活动板上设置有料盘旋转平台，所述料盘旋转平台的转台上设置有料盘连接件，所述料盘安装座固定设置在所述料盘连接件顶部。3.根据权利要求1所述的基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具运动机构设置有X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、TZ轴旋转运动平台和TY轴旋转运动平台；所述Y轴运动平台设置在所述X轴运动平台的活动板上，所述Z轴运动平台设置在所述Y轴运动平台的活动板上，所述TZ轴旋转运动平台设置在所述Z轴运动平台的活动板上，所述TY轴旋转运动平台通过平台连接件设置在所述TZ轴旋转运动平台上。4.根据权利要求3所述的基于功率检测的半导体激光器阵列反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具机构通过一夹具连接件设置在所述TY轴旋转运动平台的活动板上，所述夹具机构设置有夹持气缸连接件、夹持气缸、吸头连接件和吸头；所述夹持气缸连接件设置在所述夹具连接件上，所述夹持气缸设置在所述夹持气缸连接件的前端底部，所述夹持气缸的输出端两侧分别向下设置有反射镜夹头，所述吸头连接件设置在所述夹具连接件上，所述吸头向下设置在所述吸头连接件的前端，所述吸头设置在两个所述反射镜夹...
【专利技术属性】
技术研发人员：段吉安，马著，唐佳，卢胜强，徐聪，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：
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