一种高效小舟运输结构制造技术

本发明专利技术公开了一种小舟运输结构，包括小舟、舟托；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接，槽棒分布在顶板和底板之间；舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件；本发明专利技术提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种小舟运输结构。自身重量轻的一种小舟运输结构。自身重量轻的一种小舟运输结构。

【技术实现步骤摘要】
一种高效小舟运输结构
[0001]此专利是申请号为：2019110110886专利名称为一种小舟运输结构的分案申请


[0002]本专利技术涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体的加工设备。

技术介绍

[0003]半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。
[0004]传统的设备中，待加工材料的放置方式为竖直插片，在处理过程中，存在工艺气体流动受到干扰或遮挡导致待加工材料上镀膜不均匀的问题；竖直插片的形式还容易出现待加工材料变形，设备进行自动化插拔过程中容易导致待加工材料的碎片率过高，自动化程度困难。

技术实现思路

[0005]本专利技术克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟运输结构。
[0006]本专利技术的技术方案如下：
[0007]一种小舟运输结构，其特征在于：包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接，槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上都分布设置槽口，且每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面；其中，小舟还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒；连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面。
[0008]舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件；
[0009]舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过渡部；稳固部的一端设置固定结构；舟桨固定部设置
一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与舟桨固定部相适应；舟桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件；贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。
[0010]进一步的，顶板与底板平行设置；底板上设置贯穿孔或贯穿槽。
[0011]进一步的，相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系；槽口朝向与小舟整体形状相匹配。
[0012]进一步的，小舟采用非导电、耐高温、抗压材料；舟托采用非导电、耐高温、抗压材料。
[0013]进一步的，把手整体呈圆柱形或长方体；把手底部靠近侧板的一端或中间位置设置安置槽，安置槽采用圆形凹槽或矩形凹槽；或者把手底部远离侧板的一端设置安置槽，并在把手该端设置限位块。
[0014]进一步的，舟托和舟桨采用非导电、耐高温、抗压材料。
[0015]进一步的，还包括两侧设置把手的舟托，两个舟桨对称设置在舟托两侧。
[0016]进一步的，舟托上相应位置的把手上设置与舟桨相匹配的凹槽。
[0017]进一步的，舟托的把手设置在舟托侧板的两端，一端的把手底部设置切削的矩形凹槽或圆形凹槽，另一端的把手底部设置同样的凹槽，并在凹槽中间位置设置定位缺口。
[0018]进一步的，定位缺口与舟桨的过渡部相匹配。
[0019]本专利技术的优点在于：
[0020]本方案结构简单、设计合理；本方案是由小舟、舟托、舟桨构成的运输结构，其中小舟的顶板和底板通过槽棒连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间；待加工插片横向放置在小舟中，并且舟托置于舟桨上可移动，能够避免受到工艺气体流动的干扰以及镀膜不均匀的问题；舟桨结构的桨托结构相比于单舟桨，其固定舟托后，舟托的稳定性远高于单舟桨的作用。舟托结构的立板位于炉管中扩散气流的进气口位置，侧板沿气流方向排布，通过设置的相应贯穿孔来将减小对扩散气流的阻碍。侧板的上边缘处设置定位槽，也可在定位槽内设置增加摩擦力的部件，来降低拖舟现象的发生。舟桨通过限位件和过渡部稳固住舟托的两侧把手，避免了石英舟托架发生偏离的情况。
[0021]本方案在侧板上设置把手，一般把手设置在侧板两端。此处设置把手，可以尽量减少舟托在与舟桨配合的长度方向的空间，摆放更大或更多的石英舟。
附图说明
[0022]图1为小舟的立体图；
[0023]图2为小舟的侧视图；
[0024]图3为图2中A处的放大示意图；
[0025]图4为小舟省却定板的俯视图；
[0026]图5为舟桨的整体结构图；
[0027]图6为本专利技术图5中AF的局部放大图；
[0028]图7为本专利技术图5中AG的局部放大图。
[0029]图8为舟托整体结构图；
[0030]图9为本专利技术图8中AF的局部放大图；
[0031]图10为本专利技术图8中AG的局部放大图。
[0032]图中标识：顶板1、底板2、槽棒3、槽口31、把手4、连接杆5、舟桨6、固定部7、稳固部8、过渡部9、限位件10、贯穿孔11、舟托12、定位缺口15、侧板16、立板17、把手18、上边缘19、安置槽20、贯穿孔21。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0034]实施例：
[0035]一种小舟运输结构包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；如图1所示的新型小舟，包括顶板1、底板2和槽棒3；顶板1和底板2通过槽棒3连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间。小舟整体结构简单，自重较轻，尽可能的提升了载重范围。
[0036]其中，槽棒3采用多根，其分布在顶板1和底板2之间，具体槽棒3数量、顶板1形状、底板2形状都与舟板相适应。例如，舟板采用矩形，整个小舟就形成长方体，四根槽棒3分布在顶板1和底板2的四个角上。如图2、图3所示，每根槽棒3上都分布设置槽口31，提供了放置待加工材料舟板的放置空间。每根槽棒3上相互对应的槽口31处于同一水平面，舟板放置其中，形成高度可控的小舟。平行放置的舟板具有比传统更优的热场，舟板与待加工材料平面和热量辐射方向相平行，使得热量可辐射整个小舟，从而能有效获得均匀一致的温度场。在镀减反膜工艺后，待加工材料也不会出现绕镀现象。槽口31朝向与小舟整体形状也尽可能相匹配，以提高小舟稳固舟板的效果。例如，当小舟采用长方体时，四根槽棒3的槽口31两两对称设置。在槽本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高效小舟运输结构，其特征在于：包括小舟、舟托；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接，槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上都分布设置槽口，且每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面；其中，小舟还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒；连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面；舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件。2.根据权利要求1所述的一种高效小舟运输结构，其特征在于：顶板与底板平行设置；底板上设置贯穿孔或贯穿槽。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：甘新荣，林佳继，刘群，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：