一种化学原料即时回收系统技术方案

本发明专利技术公开了一种化学原料即时回收系统，它包括：一个盛装化学原料并设有接头处的化学原料筒；一个自该化学原料筒的接头处连接至惰性气体供应源的第一管路；一个自该化学原料筒的接头处连接至泵及生产加工设备处的第二管路，该第二管路在所述化学原料筒接头处与所述泵之间设有一个储存器，该储存器上设有一个排放管；所述泵上设有排放废料的排放口；所述化学原料筒的接头处设有一个与所述泵排放口相连接的第三管路；该系统可有效地解决即时将化学原料回收使用，降低化学原料成本、废料回收费用以及实现环境保护的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种化学原料供应系统，尤其涉及一种针对在化学原料筒上方接 头处和化学原料相关输送管路的配置进行改进的化学原料即时回收系统。
技术介绍
目前在半导体集成电路或TFT-LCD制作过程中， 一般采用通过曝光显影及 蚀刻的流程进行相关电路的制造，其中光阻剂是曝光显影的主要原料，其原理是 在单晶硅圆片或玻璃基板上的一绝缘体层或导电金属层上均匀覆盖或涂敷一种 含聚合物树脂、感光化合物与溶剂的光阻剂。被光阻剂覆盖或涂敷的单晶硅圆片或玻璃基板经过加温烘焙，待溶剂蒸发 后，再选择性地曝露于某些射线之下进行辐射，如紫外线、电子或X射线。曝 露辐射过的单晶硅圆片或玻璃基板再经热烤，随后热烤基板经过显影产生所预期 的图案，显影的基板再以蚀刻脱除绝缘体层或导电金属层，并除去残留的光阻剂 层以完成微小图案移转于单晶硅圆片或玻璃基板表面上。为满足生产加工设备涂敷光阻剂的自动化作业的需要，必须通过相关的输送 回路将光阻剂输送至生产加工设备处。如图1所示，目前常用的光阻剂输送回路 主要是在用来盛装光阻剂或其他化学原料的化学原料筒IO上方接头处15设置一 个第一管路11以及一个第二管路12，其中第一管路11与惰性气体(例如氮气) 供应源相连接，第二管路12与储存器20、泵30以及生产加工设备40相连接。在化学原料开始供应前，利用惰性气体将化学原料筒10内的化学原料推送 进入第二管路12，且在储存器20及排放管21的作用下，使第二管路12内部的 空气排出，待第二管路12完全充满光阻剂或化学原料时，即可在泵30或惰性气 体的作用下将光阻剂推送至生产加工设备40处。泵30按照实际加工的需要，被 设定在既定的时间或某一个加工步骤自动排放一定量的光阻剂或其他化学原料， 以排出泵内的气泡。所排放的光阻剂经由泵前端的排放口直接排入废液筒50， 被当成废料处理，这不但造成光阻剂(化学原料)的浪费，而且极大地增加了废液的处理费用。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种化学原料即时回收系统，该系统通过对 化学原料筒上方接头处的构造以及化学原料相关输送管路的配置进行改进，可有 效地解决即时将化学原料回收利用，降低化学原料成本、废料回收费用以及实现 环保的目的。本专利技术化学原料即时回收系统包括一个盛装化学原料并设有接头处的化学 原料筒； 一个自该化学原料筒的接头处连接至惰性气体供应源的第一管路； 一个 自该化学原料筒的接头处连接至泵及生产加工设备处的第二管路，该第二管路在 所述化学原料筒接头处与所述泵之间设有一个储存器，该储存器上设有一个排放 管；所述泵上设有排放废料的排放口；所述化学原料筒的接头处设有一个与所述 泵排放口相连接的第三管路。本回收系统结构简单，实施方便，其针对化学原料供应系统中的化学原料筒 上方接头处的构造，以及化学原料相关输送管路的配置进行改进，即时将原本要 直接排放成为废液的化学原料回收使用，达到降低化学原料成本、废料回收费用 以及实现环境保护的目的。附图说明图1是现有技术中化学原料供应回路示意图。 图2是本专利技术的化学原料供应回路示意图。具体实施例方式如图2所示，本专利技术的化学原料供应回路系统中用以盛装化学原料的化学原 料筒10上方接头处15设有一个第一管路11以及一个第二管路12，所述第一管 路11的另一端与惰性气体(例如氮气)供应源连接，所述第二管路12与储存器 20、泵30以及生产加工设备40连接；此外，所述上方接头处15另增设一个从 所述化学原料筒10内伸出的第三管路13，其另一端与泵30的排放口相连接。在化学原料开始供应前，通过从惰性气体源输入第一管路的惰性气体将化学原料筒10内化学原料经上方接头处15推送进入第二管路12，由于第二管路12 与储存器20及排放管21相连通，可将第二管路12内部的空气通过排放管21 排出回路系统，待第二管路12完全充满化学原料时，即可在泵30及惰性气体的 作用下将化学原料推送至生产加工设备40处。当泵30在既定的时间或某一个加工步骤而需排放气泡时，即可通过泵30 即时将化学原料经由第三管路13回送到化学原料筒10内，即时将化学原料回收 使用，从而达到降低化学原料成本、废料回收费用以及实现环境保护的目的。本专利技术在具体实施中，还可选择在第三管路13与泵30连接的一端或与化学 原料筒10上方接头处15连接的一端设置一个阀门(图略)，也可在上述第三管 路13与所述泵30以及化学原料筒10上方接头处15连接的两端各设有一个阔门 (图略)。所述阀门可以采用手动阀门，以便于使用者控制化学原料回送的时机; 所述阀门也可以采用电动阀门，由相关的控制电路控制化学原料回送的时机。当 然，也可以完全不设置阀门，通过设定泵(30)与惰性气体启动(输送)的时间 差，达到控制化学原料回送的目的。权利要求1.一种化学原料即时回收系统，它包括一个盛装化学原料并设有接头处的化学原料筒；一个自该化学原料筒的接头处连接至惰性气体供应源的第一管路；一个自该化学原料筒的接头处连接至泵及生产加工设备处的第二管路，该第二管路在所述化学原料筒接头处与所述泵之间设有一个储存器，该储存器上设有一个排放管；所述泵上设有排放废料的排放口；其特征在于所述化学原料筒的接头处设有一个与所述泵排放口相连接的第三管路。2. 根据权利要求1所述的化学原料即时回收系统，其特征在于所述第三管路 与泵连接的一端设有一个阀门。3. 根据权利要求1所述的化学原料即时回收系统，其特征在于所述第三管路 与所述化学原料筒上方接头处连接的一端设有一个阀门。4. 根据权利要求1所述的化学原料即时回收系统，其特征在于所述第三管路 与所述泵以及化学原料筒上方接头处连接的两端各设有一个阀门。5. 根据权利要求2或3或4所述的化学原料即时回收系统，其特征在于所述 阀门为手动阀门。6. 根据权利要求2或3或4所述的化学原料即时回收系统，其特征在于所述 阀门为电动阀门。全文摘要本专利技术公开了一种化学原料即时回收系统，它包括一个盛装化学原料并设有接头处的化学原料筒；一个自该化学原料筒的接头处连接至惰性气体供应源的第一管路；一个自该化学原料筒的接头处连接至泵及生产加工设备处的第二管路，该第二管路在所述化学原料筒接头处与所述泵之间设有一个储存器，该储存器上设有一个排放管；所述泵上设有排放废料的排放口；所述化学原料筒的接头处设有一个与所述泵排放口相连接的第三管路；该系统可有效地解决即时将化学原料回收使用，降低化学原料成本、废料回收费用以及实现环境保护的目的。文档编号G03F7/26GK101101456SQ200610090660公开日2008年1月9日 申请日期2006年7月3日 优先权日2006年7月3日专利技术者蔡明伦 申请人:蔡明伦本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学原料即时回收系统，它包括：一个盛装化学原料并设有接头处的化学原料筒；一个自该化学原料筒的接头处连接至惰性气体供应源的第一管路；一个自该化学原料筒的接头处连接至泵及生产加工设备处的第二管路，该第二管路在所述化学原料筒接头处与所述泵之间设有一个储存器，该储存器上设有一个排放管；所述泵上设有排放废料的排放口；其特征在于：所述化学原料筒的接头处设有一个与所述泵排放口相连接的第三管路。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡明伦，
申请(专利权)人：蔡明伦，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]