感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜技术

本发明专利技术提供包含内酰胺系颜料作为遮光剂的感光性树脂组合物，其能同时实现能形成良好地密合于基板的固化膜的良好固化性、和对从固化膜产生逸气的抑制；使用其的经图案化的固化膜的制造方法；由感光性树脂组合物的固化物形成的经图案化的固化膜；由前述固化膜形成的隔堤；具备该隔堤的光学元件制造用的带隔堤的基板；具备该带隔堤的基板的光学元件；具备该光学元件的显示装置；和使用前述感光性树脂组合物的隔堤形成方法。包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)和遮光剂(D)的感光性树脂组合物中，使用作为光聚合引发剂(C)的包含N

【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜


[0001]本专利技术涉及感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法、及经图案化的固化膜。另外，本专利技术涉及由前述的感光性树脂组合物的固化膜形成的隔堤(bank)、具备该隔堤的光学元件制造用的带有隔堤的基板、具备该带有隔堤的基板的光学元件、具备该光学元件的显示装置、及使用前述的感光性树脂组合物的隔堤的形成方法。

技术介绍

[0002]以往，有机EL显示元件、滤色器、有机TFT阵列等光学元件通过以下方式制造：在基板上形成围绕像素的遮光性的隔堤(间隔壁)，然后在被隔堤围成的区域内，层叠各种功能层。作为容易地形成这样的隔堤的方法，利用使用包含黑色颜料这样的遮光剂的感光性树脂组合物的光刻法形成隔堤的方法是已知的(专利文献1)。
[0003]另外，关于隔堤的材质，有时要求电绝缘性。这种情况下，出于形成电绝缘性优异的隔堤的目的，在隔堤的材质中配合电绝缘性优异的作为遮光剂的内酰胺系颜料是已知的(专利文献2)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2018/181311号公报
[0007]专利文献2：日本特开2019-45659号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的课题
[0009]然而，在使用以往已知的包含内酰胺系颜料作为遮光剂的感光性树脂组合物的情况下，存在下述问题：难以同时实现能形成良好地密合于基板的固化膜的良好固化性、和对从固化膜产生逸气(outgas)的抑制。
[0010]本专利技术是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供：能够同时实现能形成良好地密合于基板的固化膜的良好固化性、和对从固化膜产生逸气的抑制的、包含内酰胺系颜料作为遮光剂的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、由前述的感光性树脂组合物的固化物形成的经图案化的固化膜、由前述的感光性树脂组合物的固化膜形成的隔堤、具备该隔堤的光学元件制造用的带有隔堤的基板、具备该带有隔堤的基板的光学元件、具备该光学元件的显示装置、和使用前述的感光性树脂组合物的隔堤的形成方法。
[0011]用于解决课题的手段
[0012]本申请的专利技术人发现，通过在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)的感光性树脂组合物中，使用包含N-芳香族基团取代咔唑骨架的规定结构的肟酯化合物作为光聚合引发剂(C)，并且使用内酰胺系颜料作为遮光剂(D)，能解决
上述课题，从而完成了本专利技术。更具体而言，本专利技术提供以下方案。
[0013]本专利技术的第1方式是感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)，
[0014]光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)，
[0015][0016](式(C1)中，X
01
为在下述式(C1-1)表示的结构中、从在芳香族环上键合的氢原子中除去t2+t3个氢原子而得到的基团，
[0017][0018]X
02
及X
03
各自独立地为一价有机基团，X
04
及X
05
各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，t0～t3各自独立地为0或1，t2及t3中的至少一方为1，
[0019]式(C1-1)中，X
06
为通过C-N键与咔唑环中的氮原子键合的、可以具有取代基的一价芳香族基团，X
07
及X
08
各自独立地为硝基、可以具有取代基的芳酰基、或可以具有取代基的杂芳酰基，t4及t5各自独立地为0或1，t4及t5中的至少一方为1。)
[0020]遮光剂(D)包含内酰胺系颜料(D1)。
[0021]本专利技术的第2方式是经图案化的固化膜的制造方法，其包括下述步骤：
[0022]将第1方式涉及的感光性树脂组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤，和
[0023]将涂布膜曝光的步骤；
[0024]其中，
[0025]涂布膜被图案化，或者，
[0026]对涂布膜进行位置选择性的曝光，接着进行针对经曝光的涂布膜的显影。
[0027]本专利技术的第3方式是经图案化的固化膜，其是由第1方式涉及的感光性树脂组合物的固化物形成的。
[0028]本专利技术的第4方式是隔堤，其是由可用于形成隔堤的第1方式涉及的感光性树脂组合物的固化物形成的。
[0029]本专利技术的第5方式是光学元件制造用的带有隔堤的基板，其具备第4方式涉及的隔堤。
[0030]本专利技术的第6方式是光学元件，其具备第5方式涉及的光学元件制造用的带有隔堤的基板。
[0031]本专利技术的第7方式是显示装置，其具备第6方式涉及的光学元件。
[0032]本专利技术的第8方式是隔堤的形成方法，其包括下述步骤：
[0033]将可用于形成隔堤的第1方式涉及的感光性树脂组合物涂布于基板上而形成涂布膜的步骤，和
[0034]将涂布膜曝光的步骤；
[0035]其中，
[0036]涂布膜被图案化，或者，
[0037]对涂布膜进行位置选择性的曝光，接着进行针对经曝光的涂布膜的显影。
[0038]专利技术的效果
[0039]通过本专利技术，可提供：能够同时实现能形成良好地密合于基板的固化膜的良好固化性、和对从固化膜产生逸气的抑制的、包含内酰胺系颜料作为遮光剂的感光性树脂组合物、使用该感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、由前述的感光性树脂组合物的固化物形成的经图案化的固化膜、由前述的感光性树脂组合物的固化膜形成的隔堤、具备该隔堤的光学元件制造用的带有隔堤的基板、具备该带有隔堤的基板的光学元件、具备该光学元件的显示装置、和使用前述的感光性树脂组合物的隔堤的形成方法。
具体实施方式
[0040]《感光性树脂组合物》
[0041]感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)。光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的肟酯化合物作为光聚合引发剂(C-I)。
[0042][0043]式(C1)中，X
01
为在下述式(C1-1)表示的结构中、从在芳香族环上键合的氢原子中除去t2+t3个氢原子而得到的基团。X
02
及X
03
各自独立地为一价有机基团。X
04
及X
05
各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基。t0～t3各自独立地为0或1。t2及t3中的至少一方为1。
[0044][0045]式(C1-1)中，X
06
为通过C-N键与咔唑环中的氮原子键合的、可以具有取代基的一价芳香族基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.感光性树脂组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性单体(B)、光聚合引发剂(C)、和遮光剂(D)，所述光聚合引发剂(C)包含下述式(C1)表示的光聚合引发剂(C-I)，式(C1)中，X
01
为在下述式(C1-1)表示的结构中、从在芳香族环上键合的氢原子中除去t2+t3个氢原子而得到的基团，X
02
及X
03
各自独立地为一价有机基团，X
04
及X
05
各自独立地为氢原子、可以具有取代基的碳原子数为1以上且11以下的烷基、或可以具有取代基的芳基，t0～t3各自独立地为0或1，t2及t3中的至少一方为1，式(C1-1)中，X
06
为通过C-N键与咔唑环中的氮原子键合的、可以具有取代基的一价芳香族基团，X
07
及X
08
各自独立地为硝基、可以具有取代基的芳酰基、或可以具有取代基的杂芳酰基，t4及t5各自独立地为0或1，t4及t5中的至少一方为1，所述遮光剂(D)包含内酰胺系颜料(D1)。2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述t2...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤梓实，田所惠典，石川达郎，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：