感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及图案形成装置和图案形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供相对于４００～４１０ｎｍ波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物等。为此，该感光性组合物等的特征在于，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为３４０～５００ｎｍ的增感剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及适合于可以通过UV曝光形成图像的阻焊剂、干膜抗蚀剂(DFR)等的感光性组合物、使用了该感光性组合物的图案形成材料以及感光性层叠体、具备该感光性层叠体的图案形成装置、图案形成方法。
技术介绍
在印刷线路基板领域，通常首先对镀铜层叠板使用DFR形成铜的配线图案。进而，在形成有半导体或电容器、电阻等部件的配线图案上进行焊接。此时，例如在红外回流焊(IR reflow)等焊接工序中，为了防止焊锡附着在不需要焊接的部分，采用形成相当于上述不需要焊接的部分的永久图案作为保护膜、绝缘膜的方法。另外，作为保护膜的永久图案，使用阻焊剂等图案形成材料。对上述图案形成材料的曝光通常使用掩模进行，但近年来，从生产性、清晰度等观点出发，对于使用了数字微镜器件(DMD)等的利用激光光的无掩模曝光装置的研究也方兴未艾。 另外，能在短波长(蓝紫光)区域稳定振荡的激光器的开发正在不断进行，并开始被用作曝光光源，但其功率或波长的均匀性不够充分。另外，对在该波长区域具有高感光度的感光材料也有需求，但可以用可见光感光的感光材料需要在红色光下进行处理，为了解决该问题，例如有人提出了在350～385nm的波长区域具有光谱感光度的极大峰值并能在黄色灯下进行处理的紫外激光光用感光性图像形成材料(例如参照专利文献1)。 另一方面，就为使感光材料曝光而排列有多个曝光头的曝光装置而言，当存在由作为照射光源的半导体元件的偏差引起的照射光波长的偏差时，被曝光的感光材料在不同曝光波长的各个区域，根据光谱感光度以不同的感光度发生反应，所以存在所谓形成的图案的均匀性受到损害的问题。为了解决该问题，需要使每个上述曝光头中中心波长保持一致，而这就会造成图案形成装置的成本非常高的问题。 但是，在上述的提案中，并没有考虑对于以曝光光的波长为中心的一定的波长区域的光谱感光度差，没有记载利用感光材料的光谱感光度来解决曝光光源的波长差异的问题。进而，在上述的提案中，当使用近年来被通用化的405nm的固体激光器作为曝光光源时，存在感光度不足的问题。 由此，相对于短波长(蓝紫光)区域特别是400～410nm的波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物、图案形成材料、感光性层叠体、以及具备该图案形成材料或感光性层叠体的图案形成装置、以及图案形成方法尚未出现，目前的现状就是需要进行进一步的改进开发。 专利文献1特开2001-194782号公报
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述的现状而完成的，其课题是解决以往的上述诸问题，实现以下的目的。即，本专利技术的目的在于，提供相对于短波长(蓝紫光)区域特别是400～410nm的波长的曝光光的感光度分布大致一定且不会被激光曝光时的曝光波长的偏差所影响、图案再现性出色、图案形状的偏差被极度抑制并可以在明室环境下进行处理的感光性组合物，层叠有该感光性组合物的图案形成材料和感光性层叠体，以及图案形成装置和图案形成方法。 作为解决上述课题的手段，如下所示。即， <1>感光性组合物，至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、以及增感剂，该增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂。 在<1>记载的图案形成材料中，通过作为增感剂含有至少两种最大吸收波长为340～500nm的增感剂，可以使405nm附近的光谱感光度平坦，即便存在激光振荡波长的偏差，也可以得到稳定的感光度，形成图案。 <2>就上述<1>记载的感光性组合物而言，增感剂中含有至少一种在340nm以上且不到405nm的波长区域具有最大吸收波长的增感剂和至少一种在405nm以上500nm以下的波长区域具有最大吸收波长的增感剂。 <3>就上述<1>～<2>中任意一项记载的感光性组合物而言，在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域其可以形成图案的最小曝光量S为210mJ/cm2以下，且在该区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足式Smax/Smin≤1.2。 <4>就上述<1>～<3>中任意一项记载的感光性组合物而言，在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域其可以形成图案的最小曝光量S为50mJ/cm2以下，且在该波长区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足式Smax/Smin≤1.2。 <5>就上述<1>～<4>中任意一项记载的感光性组合物而言，在380～420nm的波长区域具有光谱感光度的最大值，同时在400～410nm的区域其可以形成图案的最小曝光量S为50mJ/cm2以下，且在该波长区域的最小曝光量的最大值Smax和最小曝光量的最小值Smin满足式Smax/Smin≤1.1。 <6>就上述<1>～<5>中任意一项记载的感光性组合物而言，增感剂的最大吸收波长为380～420nm。 <7>就上述<1>～<6>中任意一项记载的感光性组合物而言，增感剂是稠环系化合物。 <8>就上述<1>～<7>中任意一项记载的感光性组合物而言，增感剂为选自吖啶酮化合物、吖啶化合物、噻吨酮化合物、和香豆素化合物的至少1种。 <9>就上述<1>～<8>中任意一项记载的感光性组合物而言，增感剂的含量相对于感光性组合物的总量为0.1～10质量％。 <9>就上述<1>～<8>中任意一项记载的感光性组合物而言，聚合性化合物包含具有尿烷基和芳基中的至少任意一种的单体。 <10>就上述<1>～<10>中任意一项记载的感光性组合物而言，光聚合性引发剂包含选自卤代烃衍生物、氧化膦、六芳基联二咪唑、肟衍生物、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓盐和金属茂类的至少1种。 <11>就上述<1>～<10>中任意一项记载的感光性组合物而言，光聚合引发剂包含2，4，5-三芳基咪唑二聚体衍生物。 <12>就上述<1>～<11>中任意一项记载的感光性组合物而言，聚合性化合物具有双酚骨架。 <13>就上述<1>～<12>中任意一项记载的感光性组合物而言，粘合剂是具有酸性基团和聚合性基团的化合物。 <14>就上述<13>记载的感光性化合物而言，粘合剂至少包含环氧丙烯酸酯化合物。 <15>就上述<13>～<14>中任意一项记载的感光性组合物而言，粘合剂是具有酸性基团和聚合性基团的乙烯共聚物。 <16>就上述<1>～<15>中任意一项记载的感光性组合物而言，粘合剂是相对于马来酸酐共聚物的酸酐基使0.1～1.2当量的伯胺化合物发生反应得本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性组合物，其特征在于，　　　　至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂以及增感剂，　　　　所述增感剂含有至少两种最大吸收波长为３４０～５００ｎｍ的增感剂。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：南一守，佐佐木义晴，若田裕一，高柳丘，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]