更换光阻过滤器的系统与方法技术方案

本发明专利技术是关于一种用以更换光阻过滤器（Ｒｅｓｉｓｔ　　Ｆｉｌｔｅｒ）的系统与方法，以此种方式来减少过滤器所诱致（Ｆｉｌｔｅｒ－Ｉｎｄｕｃｅｄ）的晶圆缺陷。在一实施例中，此实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括连接至分配器（Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ）的过滤系统，此过滤系统还至少包括有过滤器及连接至过滤器的开关，而此开关是用以选择性地连接过滤系统以输通第一化学溶液与第二化学溶液的其中之一。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种可减少过滤器所诱致(Filter-Induced)的晶圓缺陷的。
技术介绍
在微影制程中，光阻涂布系统(Photoresist Coating System)(或涂布器 (Coater))经由一或多条导管，例如输送管(Pipe)，以及过滤系统(Filtration System)而与化学药品的供给作连接。此过滤系统通常包含有过滤器，其中 过滤器至少包括用以滤除来自即将供应给涂布器的化学溶液，例如光阻， 的粒子与其他污染物的多孔性介质。当新的过滤器安装于过滤系统时，使用化学溶液来清洗或沖洗此系统，其中此系统包含导管与过滤器本身。显 然地，在化学溶液本身的价格昂贵而完成此制程需要超过两公升溶液的情 况下，这是一种昂贵的制程。 一种替代的选择方式是在过滤器未上线 (Off-Line)时，可使用较便宜的化学溶液或溶剂来清洗或"预湿(Pre-Wet)" 过滤器，再将预湿之后的过滤器安装于系统上。过滤器经安装后，则使用 较昂贵的化学溶液来清洗此系统，以沖洗过滤器与输送管。使用如同上述的光阻过滤器的优点包含降低源自于延长去光阻溶液寿 命的操作成本、因光阻的载送量与停机时间的减少而可提高整体生产量、 以及减少污水处理厂的需求。在一般的情况下，当需要将新的过滤器安装 于机台上时，是将此过滤器安装于未上线模型(Dummy)上，并在此模型上 对此过滤器进行手动预湿。在完成预湿制程后，随即自未上线模型上卸下 此过滤器，再将此过滤器安装于所需的机台中。不幸的是，使用如上所述的光阻过滤器会引发晶圆缺陷。这样缺陷的 其中一种可能是起因于过滤器的预湿不足，而在过滤器的内侧形成气泡， 如此一来可能会引发架桥缺陷(Bridge Defect)。另一种造成这种缺陷的原因 是此过滤器的品质不佳，其中此情况下的污染粒子可能源自于过滤器本身。 又一种造成这种缺陷的原因是所采用的过滤器的使用寿命已接近使用期限 或已经超过期限。此外，过滤器污染的风险为在未上线模型与实际机台上 所进行的每一次的过滤器安装与卸载。有鉴于上述现有的光阻过滤器存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类产 品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型的，能够改 进一般现有的光阻过滤器，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计， 并经过反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本专利技术。
技术实现思路
本专利技术的目的就是在于，提供一种，用 以改善现有制造设备中容易产生过滤器所诱致的晶圓缺陷，以及须在原制 程中全程使用较昂贵的化学溶液来操作的缺点。本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据 本专利技术提出的一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括 一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤 系统至少包括一过滤器；以及一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统 以输通一第一化学溶液和一第二化学溶液的其中之一。前述的实施光阻:滤器更换:支术的:手、:充，i中所述的开关机构^一位 置是利用手动或软件来控制 前述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其中所述的第 一化学溶液至 少包括光阻，该第二化学溶液至少包括可溶解该第一化学溶液的一溶剂。 前述的实施光阻过滤器更换技术的系统，其中在该分配器用以涂布晶圓的正常操作期间，连接该过滤系统以输通该第一化学溶液；及在更换该 光阻过滤器时，连接该光阻过滤器，以同时输通该第二化学溶液。本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本 专利技术提出的 一种更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中该过滤系统是连 接至一分配器，该更换过滤系统的光阻过滤器的方法至少包括换上该光 阻过滤器；连接该过滤系统以输通一第一化学溶液，来清洗和预湿该光阻 过滤器；以及在该连接该过滤系统以输通该第一化学溶液的步骤后，连接 该分配器以接收一第二化学溶液。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。前述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中所述的第二化学溶液 是一光阻溶液，该第一化学溶液为可溶解该第二化学溶液的一溶剂。前述的更换过滤系统的光阻过滤器的方法，其中连接该过滤系统以输 通该第一化学溶液的步骤，和连接该分配器以接收该第二化学溶液的步骤 是使用一开关机构来进行，该开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。本专利技术的目的及解决其技术问题另外还采用以下技术方案来实现。依 据本专利技术提出的 一种更换过滤系统的光阻过滤器的装置，借以有助于更换 连接至一分配器的该过滤系统的该光阻过滤器，其中该更换过滤系统的光阻过滤器的装置至少包括 一第一连接元件，用以连接该过滤系统以在更 换该光阻过滤器的同时输通一 第 一化学溶液，其中该第 一化学溶液是用以清洗和预湿该光阻过滤器；以及一第二连接元件，用以在连接该过滤系统以输通该第一化学溶液后，连接该分配器以接收一第二化学溶液。本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。 前述的一种更换过滤系统的光阻过滤器的装置，其中所述的第二化学溶液是一光阻溶液，该第一化学溶液是可溶解该第二化学溶液的一溶剂。 前述的一种更换过滤系统的光阻过滤器的装置，其中所述的第 一连接装置和第二连接装置至少包括一开关机构，该开关机构的一位置是利用手动或软件来控制。根据本专利技术的实施例，提供一种用以实施光阻过滤器更换技术的系统。 此实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括连接至分配器的过滤器及连接 至此过滤器的开关，另此开关则可用以选择性连接此过滤系统以输通 (Throughput)第一化学溶液与第二化学溶液的其中之一。根据本专利技术的又一实施例，提供一种用以更换连接至分配器的过滤系 统的光阻过滤器的方法。此方法至少包括更换光阻过滤器与连接过滤系统， 以输通第一化学溶液来清洗与预湿此光阻过滤器，以及在连接过滤系统以 输通第一化学溶液的步骤后，连接分配器以接收第二化学溶液。根据本专利技术的又一实施例，提供一种有助于更换连接至分配器的过滤 系统的光阻过滤器的装置。此装置至少包括第一连接元件，用以连接过滤 系统以在更换过滤器的同时输通第 一化学溶液，其中此第 一化学溶液是用 以清洗和预湿光阻过滤器；以及第二连接元件，用以在连接过滤系统以输 通第一化学溶液后，连接分配器以接收第二化学溶液。因此，应用本专利技术的实施例，当过滤器在过滤系统的原位置时，可以 使用较便宜的溶液或有机溶剂以冲洗来自于更换过滤器与系统的管路的污 染物，从而降低由于过度操作所造成的过滤器污染的可能性。上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的 技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和 其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附 图，详细i^明如下。附图说明根据一实施例的减少光阻过滤器所诱致的晶圓缺陷的系统与方法的特 征与优点可从以上的叙述与所附图式，获得更清楚的理解，其中同样的参 考编号指定给类似或对应的元件、区域和部位，其中图1是绘示根据一实施例的一种实施光阻过滤器的更换技术的系统示意图。图2是绘示根据本专利技术的一实施例的一种在例如图1的系统上实施光 阻过滤器的更换技术的流程图。102:供给泵 105:阀 108:过滤系统 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实施光阻过滤器更换技术的系统，其特征在于：其中该实施光阻过滤器更换技术的系统至少包括：一过滤系统，连接至一分配器，其中该过滤系统至少包括一过滤器；以及一开关机构，用以选择性地连接该过滤系统以输通一第一化学溶液和一第二化学溶液的其中之一。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高耀寰，黄柏昌，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]