光罩修补方法技术

本发明专利技术公开一种光罩修补方法，该方法包括以下步骤：采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。本发明专利技术避免了导管和修补液的浪费，并且可以准确地控制修补精度与厚度，大大缩短了修补时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光罩制作技术，尤其涉及一种对光罩制作过程中产生的针孔 空洞进行修补的方法。
技术介绍
光罩作为一种将透明/不透明图像在感光胶上曝光的媒介，它内部含有高精度的电路图像，光罩的材料主要含有包括玻璃基材、铬(Cr)层、氧化铬 层、感光胶等。随着半导体/液晶显示技术的飞速发展，作为半导体、液晶显示器中的一 个重要配件，市场上对光罩的需求量越来越大，同时对光罩的精度和各项性 能指标的要求也越来越高。特别是在半导体制造方面，随着对半导体精度的 要求从微米量级提升到纳米量级，光罩的精度要求也越来越重要，光罩精度 提升的主要表征是线条变小，如何使线宽尽可能縮小，是目前光罩制造行业 面临的一个严峻挑战。光罩的制作过程如下在苏打玻璃或石英玻璃基材表面上溅射一层铬(Cr)层形成遮光层； 在络层上面加涂覆一层氧化铬层；在氧化铬层上面涂覆一层感光胶，并使用软件控制曝光装置对感光胶进 行电子束曝光或镭射曝光；使用化学药液显影、蚀刻，将部分铬层刻蚀掉，从而形成图案，其表面 保留的铬层即为图案遮光区。上述制作过程中，在玻璃表面溅射铬层时，环境中微小的灰尘和颗粒掉 落在溅射表面；或者使用化学药液蚀刻的过程中，都可能导致铬层表面遮光 层出现针孔空洞。这种针孔空洞的产生，会造成线条的缺失，导致光罩报废。为了减少光罩的报废，便需要对出现针孔空洞的光罩进行修补。现有技 术中，对有针孔空洞的光罩采用的修补方法如下采用纳米级的石英导管注 射，将石英导管内的修补材质(即修补液)注入光罩的针孔空洞处后，使用不同加热装置对修补液进行加温加热处理，使修补液固化在针孔空洞的表面， 达到修复的功能。上述修补方法中，修补液都会存放在类似于医用针管的石英导管中，其导管口径为0.5um;在修补过程中，修补液往往无法从0.5iim的导管口中 挤出，而要将导管口折断，使导管口径变成5um以上，才能挤出修补液。 这将导致两大问题1、 石英导管口被折断后，导管只能做报废处理，而导管报废的同时还导 致了残留在导管内的修补液的报废，造成大量石英导管和修补液的浪费；2、 石英导管口径增大到5um以上后，修补厚度与修补精度均难以准确 控制，还浪费了大量的修补时间。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种，该方法无需折 断石英导管即可顺利将修补液注入针孔空洞内，避免石英导管和修补液的浪 费，并且可以准确地控制修补精度与厚度、縮短修补时间。 为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案 一种，其特征在于，该方法包括以下步骤 采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热； 采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞； 采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。 本专利技术的有益效果是-本专利技术的实施例通过对针孔空洞进行预加热，从而使石英导管内的修补 液可顺利地注入针孔空洞内，避免了石英导管和修补液的浪费，并且可以准 确地控制修补精度与厚度，大大縮短了修补时间。下面结合附图对本专利技术作进一步的详细描述。附图说明图1是本专利技术提供的一个实施例的方法流程图。具体实施例方式参考图1，该图是本专利技术提供的一个实施例的方法流程如图所示，本实施例对光罩表面的针孔空洞进行一次修补处理的具体流程如 下在步骤SOl中，采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热，加热时间为20-30秒。在步骤S02中，采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注 入针孔空洞。在步骤S03中，采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二 次加热，加热时间30-60秒，使其干燥成形。在步骤S04中，采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第三 次加热，加热时间30-60秒，达到固化修补液的效果。具体实现时，对针孔空洞进行第一次加热、第二次加热和第三次加热， 均可采用热风干燥用热风机(加热枪)的热风烧制方式，以450-50(TC的加热 温度，距离针孔空洞表面2-5cm高度进行。作为一个较佳的实施，上述第一次加热的时间可为20秒、第二次加热的 时间可为60秒、第三次加热的时间可为30秒；加热温度可为475°C;加热 枪距离针孔空洞表面的高度可为2cm。本专利技术的实施例通过在涂抹修补液之前，对光罩针孔缺陷处表面进行预 加热处理，克服了现有技术的存在不便与缺陷。由于经过了预 加热处理，光罩的空洞表面产生了热量，此时石英导管接触光罩表面，由于 石英导管为硬质，导管口受到空洞表面高温影响，热气进入石英导管，导致 修补液很容易地顺着细导管流出，沉积在光罩缺陷表面，达到了不需要折断 导管、 一次吐出修补液的效果，从而避免了石英导管的报废，增加了石英导 管的使用寿命；进一步地，由于修补液从0.5um口径流出，从而在修补小针 孔时，也减少了修补液的浪费，并且使修补精度从5um提升到了0.5"m，从 而更加适用。本专利技术与现有技术相比，大大地避免了石英导管和修补液的浪费，经过 统计表明，采用传统的修补方法，以一天平均耗费3支石英导管计算， 一个月 需耗费90支石英导管；而实施本专利技术后，在相同环境下， 一支石英导管可以 使用15天， 一个月只需耗费2支石英导管，大大地节省了石英导管、以及导管 内的修补液；另一方面，采用传统的修补方法，进行一次修补作业所耗费的时间约为15分钟，而实施本专利技术后，进行一次修补作业所耗费的时间约为5 分钟，仅为原时间的三分之一左右，大大降低了修补所花的时间，提高了作 业效率和作业精度。以上所述是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通 技术人员来说，在不脱离本专利技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰， 这些改进和润饰也视为本专利技术的保护范围。权利要求1、一种，其特征在于，该方法包括以下步骤采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。2、 如权利要求1所述的，其特征在于，对所述针孔空洞进 行第二次加热后，还包括以下步骤采用加热装置对所述针孔空洞进行第三次加热。3、 如权利要求2所述的，其特征在于，所述第一次加热、 第二次加热、第三次加热时间分别为20-30秒、30-60秒、30-60秒。4、 如权利要求1-3中任一项所述的，其特征在于，所述加 热装置为热风机、加热温度为450-500℃、加热装置与针孔空洞之间的距离为 2-5厘米。5、 如权利要求3所述的，其特征在于，所述第一次加热、 第二次加热、第三次加热时间分别为20秒、60秒、30秒。6、 如权利要求4所述的，其特征在于，所述加热温度为 475°C、加热装置与针孔空洞之间的距离为2厘米。全文摘要本专利技术公开一种，该方法包括以下步骤采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。本专利技术避免了导管和修补液的浪费，并且可以准确地控制修补精度与厚度，大大缩短了修补时间。文档编号G03F1/72GK101344718SQ20081014192公开日2009年1月14日 申请日期2008年8月15日 优先权日2008年8月15日专利技术者杜武兵, 瞿照地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光罩修补方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：　采用加热装置对光罩上待修补的针孔空洞表面进行第一次加热；　采用纳米级的石英导管注射，将石英导管内的修补液注入针孔空洞；　采用加热装置对所述注入修补液后的针孔空洞进行第二次加热。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杜武兵，瞿照地，
申请(专利权)人：深圳市路维电子有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]