【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种为使光罩保持洁净的系统，其特征在于其包含： 至少一移转容器，其具有一可选择性启闭的容置空间，该容置空间可供设置一光罩，且移转容器上设有至少一连通容置空间与外部的进气单元，移转容器上另设有至少一连通容置空间与外部的出气单元，其中进气单元与出气单元具有可防止移转容器闭合时容置空间内气体溢出的选择性气密功能； 至少一装置，其具有至少一可承载前述移转容器的容置结构，容置结构具有至少一对应移转容器进气单元的充气单元，且容置结构并具有至少一对应移转容器出气单元的排气单元； 使得移转容器与光罩相邻容置空间环境内的气体形成一种循环流动，让干净气体可不断的注入该与光罩相邻的容置空间、并且不断的排出，令该与光罩相邻的容置空间形成正压，可防止外部有害物质进入前述的容置空间内，同时带走前述容置空间内的有害物质，进一步得控制该容置空间的环境条件。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。