本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其技术方案要点是包括真空镀膜机架、旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于真空镀膜机架上的固定板，主动轴与从动轴均转动连接于固定板上，主动轴与从动轴上均设置有配合齿轮，两个配合齿轮相互啮合，旋转运动输出件用于带动主动轴旋转，挡板设置有两个，挡板的横截面呈半圆形设置，主动轴与从动轴上分别固定连接有一个挡板。基片架位于挡板下方，基片架的两个侧壁上设置有涂料腔，涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，基片架侧壁上还设置有刷毛层。该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。并且能够提高挡板的使用寿命。并且能够提高挡板的使用寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的双开型挡板结构
[0001]本技术涉及真空镀膜领域，更具体的说是涉及一种用于真空镀膜的双开型挡板结构。
技术介绍
[0002]众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜就是用于给材料表面镀膜的技术。
[0003]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜有三种形式，分别是蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0004]真空镀膜设备中，放置被镀基片的基片架根据需要可采用挡板进行遮挡。挡板的作用是阻挡溅射物。目前挡板的启闭主要采用通过铰链向挡板一侧开启的方式，这种单向开启的模式，导致挡板一侧需要预留比较大的空间来供挡板开启，导致真空镀膜设备在使用当中所占空间大。并且挡板面向基片架的一侧长期受到溅射物的溅射，容易被腐蚀，导致挡板的使用寿命低。
技术实现思路
[0005]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，还包括有旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板；
[0007]所述主动轴与所述从动轴相互平行设置，所述主动轴与所述从动轴均转动连接于所述固定板上，所述主动轴与所述从动轴上均设置有所述配合齿轮，两个所述配合齿轮相互啮合；
[0008]所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴旋转；
[0009]所述挡板设置有两个，所述挡板的横截面呈半圆形设置，所述挡板侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，所述主动轴与所述从动轴上分别固定连接有一个所述挡板；
[0010]所述主动轴带动所述从动轴转动时，两个所述挡板逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开；
[0011]所述真空镀膜机架包括基片架，所述基片架位于所述挡板下方，所述基片架的两
个侧壁上设置有涂料腔，所述涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，所述基片架侧壁上还设置有刷毛层，所述刷毛层上的刷毛一端伸入到所述涂料腔内，另一端伸出所述涂料腔内并向所述挡板相互靠近的方向弯曲，所述挡板相互靠近时，刷毛层将防腐蚀涂料涂覆于挡板上；所述挡板相互分开时，所述刷毛层将挡板上的防腐蚀液刮回到所述刷毛层上。
[0012]作为本技术的进一步改进，所述固定板上设置有传动板和第一传动轮，所述传动板上设置有腰型孔，所述腰型孔的两侧壁上均设置有传动齿，所述传动板上固定有齿条，所述传动板滑动连接于所述固定板上，所述传动板的滑动方向与所述腰型孔的长度方向以及所述齿条的长度方向保持一致；
[0013]所述第一传动轮与所述旋转运动输出件的输出轴同轴固定连接，所述第一传动轮位于所述腰型孔内，所述第一传动轮的轮齿绕所述第一传动轮的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，所述第一传动轮转动时，依次与所述腰型孔的两侧传动齿啮合；
[0014]所述主动轴上还设置有第二传动轮，所述第二传动轮与所述齿条啮合。
[0015]通过这样设置，旋转运动输出件带动第一传动轮旋转，第一传动轮旋转并且其轮齿与腰型孔一侧的传动齿啮合时，带动传动板于固定板上滑动，使得齿条带动主动轴旋转，实现了旋转运动输出件带动旋转轴旋转。并且，由于第一传动轮的轮齿绕所述第一传动轮的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，因此第一传动轮只会与腰型孔一侧的传动齿啮合，第一传动轮不断同向运动时，将带动传动板往复运动，因此旋转运动输出件不需要通过正反转来带动主动轴正反转。并且由于传动板的往复运动行程保持不变，因此通过齿条带动主动轴旋转的角度不变，从而能够使得两个挡板的旋转角度始终不变。相对于旋转运动输出件正反转带动主动轴旋转来说，本技术创造所提供的结构能够避免旋转运动输出件反复正反转产生的误差导致两个挡板靠近后留有大间隙或者两个挡板靠近后相互碰撞。
[0016]作为本技术的进一步改进，所述挡板的上下两侧壁上均固定有导向杆，所述导向杆包括有水平段和弯折段，所述水平段与所述挡板固定连接，所述水平段连接所述弯折段的一端向另一个挡板方向延伸，位于所述挡板上方的所述弯折段向上弯折，位于所述挡板下方的所述弯折段向下弯折。
[0017]通过这样设置，当两个挡板相互靠近时，一个挡板首先进入到另一挡板上设置的两个导向杆之间，并且导向杆的弯折段对挡板具有导向作用，由于挡板仅有一端与主动轴或者从动轴固定，因此挡板另一自由端上通常会存在竖直方向上的错位，该错位过大时会导致两个挡板靠近贴合后于高度方向产生间隙，挡板贴合不紧密。而导向杆的设置使得两个挡板靠近过程中逐渐消除竖直方向上的错位，从而使得挡板贴合后更紧密。
[0018]作为本技术的进一步改进，所述水平段与弯折段所形成的夹角为135
°ꢀ-
160
°
。
[0019]通过这样设置，夹角超过160
°
，则夹角过大，会限制弯折段的导向范围。夹角小于135
°
，则夹角过小，容易造成挡板导向过程中卡住。
[0020]作为本技术的进一步改进，两个所述挡板上均设置有所述导向杆。
[0021]通过这样设置，使得两个挡板上的导向杆均能够对另一个挡板起到导向作用，相互作用使得消除两个挡板的竖直间隙更加轻松。
[0022]作为本技术的进一步改进，所述挡板包括有相互连接的上层板和下层板，所述上层板与下层板之间形成容纳腔。
[0023]通过这样设置，挡板内部中空设置，有利于减小挡板的重量，减少挡板移动产生的惯性力，使得主动轴和从动轴能够带动挡板运动或停止更加轻松。
[0024]作为本技术的进一步改进，所述容纳腔内设置有挡块、卡柱、弹性件以及滑动板，所述挡块固定于所述容纳腔的侧壁上，所述挡块上设置有滑动槽，所述挡块设置有两个，两个所述挡块的滑动槽正对设置；
[0025]所述滑动板滑动连接于所述容纳腔内，所述容纳腔侧壁上设置有供所述滑动板滑出的开口，所述开口朝向另一挡板，所述滑动板由磁性材料制成，所述滑动板的两侧壁上固定有滑动杆，所述滑动杆分别伸入到两个所述滑动槽内并于所述滑动槽内滑动；
[0026]所述卡柱固定于所述容纳腔侧壁上，所述弹性件的两端分别与所述卡柱以及所述滑动板连接，所述弹性件用于带动所述滑动板向所述容纳腔内滑动；两个所述挡板相互靠近时，两个所述滑动板于磁性吸力作用本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，其特征在于：还包括有旋转运动输出件、主动轴(1)、从动轴(2)、配合齿轮(3)、挡板(4)以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板(5)；所述主动轴(1)与所述从动轴(2)相互平行设置，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)均转动连接于所述固定板(5)上，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)上均设置有所述配合齿轮(3)，两个所述配合齿轮(3)相互啮合；所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴(1)旋转；所述挡板(4)设置有两个，所述挡板(4)的横截面呈半圆形设置，所述挡板(4)侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，所述主动轴(1)与所述从动轴(2)上分别固定连接有一个所述挡板(4)，所述主动轴(1)带动所述从动轴(2)转动时，两个所述挡板(4)逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开；所述真空镀膜机架包括基片架(9)，所述基片架(9)位于所述挡板(4)下方，所述基片架(9)的两个侧壁上设置有涂料腔(91)，所述涂料腔(91)内容纳有防腐蚀涂料，所述基片架(9)侧壁上还设置有刷毛层(92)，所述刷毛层(92)上的刷毛一端伸入到所述涂料腔(91)内，另一端伸出所述涂料腔(91)并向所述挡板(4)相互靠近的方向弯曲，所述挡板(4)相互靠近时，所述刷毛层(92)将防腐蚀涂料涂覆于挡板(4)上；所述挡板(4)相互分开时，所述刷毛层(92)将挡板(4)上的防腐蚀液刮回到所述刷毛层(92)上。2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其特征在于：所述固定板(5)上设置有传动板(6)和第一传动轮(7)，所述传动板(6)上设置有腰型孔(61)，所述腰型孔(61)的两侧壁上均设置有传动齿(62)，所述传动板(6)上固定有齿条(63)，所述传动板(6)滑动连接于所述固定板(5)上，所述传动板(6)的滑动方向与所述腰型孔(61)的长度方向以及所述齿条(63)的长度方向保持一致；所述第一传动轮(7)与所述旋转运动输出件的输出轴同轴固定连接，所述第一传动轮(7)位于所述腰型孔(61)内，所述第一传动轮(7)的轮齿绕所述第一传动轮(7)的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，所述第一传动轮(7)转动时，依次与所述腰型孔(61)的两侧传动齿(62)啮合；所述主动轴(1)上还设置有第二传动轮(11)，所述第二传动轮(11)与所述齿条(63)啮合。3.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，其特征在于：所述挡板(4)的上下两侧壁上均固定有导向杆(41)，所述导向杆(41)包括有水平段(411)和弯折段(412)，所述水平段(411)与所述挡板(4)固定连接，所述水平段(411)连接所述弯折段(41...
【专利技术属性】
技术研发人员：金炯，张金徽，王山，
申请(专利权)人：浙江赛威科光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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