一种PSD用于激光自准仪制造技术

本实用新型专利技术提供一种PSD用于激光自准仪。所述PSD用于激光自准仪包括：激光器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、透镜、PSD；所述激光器发射出一束准直光线通过所述第一反射镜、所述分光镜垂直分光光线垂直入射第二反射镜镜面，光线被镜面反射后原路反射回去经过所述分光镜，通过所述透镜光轴打到所述PSD中心，此状态表示0角度。本实用新型专利技术提供的PSD用于激光自准仪具有高精度的效果，精度可以达到角度范围的0.4％，分辨率高达0.02％；具有高速的效果，采用RS485通讯，速度可以达到1KHz，解决了速度慢、角度范围小、精度差、受外界环境干扰大、后端处理软件复杂等缺点。端处理软件复杂等缺点。端处理软件复杂等缺点。

【技术实现步骤摘要】
一种PSD用于激光自准仪


[0001]本技术涉及传感器技术应用领域，尤其涉及一种PSD用于激光自准仪。

技术介绍

[0002]自准直仪是一种重要的光学精密角度测量仪器，在机械制造、造船、航空航天、计量测试、科学研究等领域具有广泛的应用。将新型光电探测器件应用到自准直仪系统，构成光电自准直仪。
[0003]现有方案采用CCD或者CMOS做为传感器，现有技术主要有速度慢、角度范围小、精度差、受外界环境干扰大、后端处理软件复杂等缺点。
[0004]因此，有必要提供一种PSD用于激光自准仪解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种PSD用于激光自准仪，解决了角度范围小、精度差等的问题。为解决上述技术问题，本技术提供的PSD用于激光自准仪包括：激光器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、透镜、PSD；
[0006]所述激光器发射出一束准直光线通过所述第一反射镜、所述分光镜垂直分光光线垂直入射第二反射镜镜面，光线被镜面反射后原路反射回去经过所述分光镜，通过所述透镜光轴打到所述PSD中心，此状态表示0角度。
[0007]优选的，当所述第二反射镜转动角度β时，所述激光器发射出一束准直光线通过第一反射镜，分光镜，垂直分光光线射入到第二反射镜上，由于所述第二反射镜有角度，因此反射光线将不再原路返回，而是和入射光成角度2β。
[0008]优选的，当所述第二反射镜转动角度β时，反射光线和所述透镜的光轴成夹角2β，通过所述透镜聚焦到PSD上，所述PSD上有
△
X位移变化，关系如下：
△
X/f＝tan(2β)。
[0009]优选的，所述分光镜和所述第一反射镜呈倾斜角度设置，倾斜的角度的一致。
[0010]优选的，还包括底座，所述底座顶部的一侧固定连接有第一支撑杆，所述底座顶部的另一侧固定连接有第二支撑杆，所述第一支撑杆的顶部固定连接有第一安装板，所述第二支撑杆的顶部固定连接有第二安装板，所述底座的顶部固定连接有第一固定块，所述第二反射镜活动连接于所述第一固定块的顶部，所述第二反射镜底部的一侧固定连接有第二固定块，所述底座顶部的一侧固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的一端固定连接有推动块，所述推动块与所述第二固定块相对的一侧之间活动连接有连接杆。
[0011]优选的，所述激光器固定于所述第二安装板的底部，所述第一反射镜通过支撑块固定于所述第二支撑杆上，所述分光镜通过支撑块固定于所述第一支撑杆上，所述透镜通过支撑块固定于所述第一支撑杆上，且位于所述分光镜的顶部。
[0012]优选的，所述第二安装板的底部固定连接有U型架，所述U型架底部的两侧均滑动连接有限位块，两个所述限位块的内部均开设有插孔。
[0013]优选的，所述U型架的内部开设有两个凹槽，所述凹槽内壁的顶部滑动连接有滑动
块，所述滑动块的一侧与所述凹槽内壁的一侧之间设置有卡紧弹簧。
[0014]优选的，所述第一安装板的内部滑动连接有两个限位杆，两个所述限位杆的顶端之间固定连接有拉板，所述拉板的底部固定连接有卡槽，所述第一安装板的顶部活动连接有卡块，所述拉板底部的两侧与所述第一安装板顶部的两侧之间均设置有复位弹簧。
[0015]优选的，所述第一支撑杆的外表面转动连接有转动套，所述转动套的外表面固定连接有垫板。
[0016]与相关技术相比较，本技术提供的PSD用于激光自准仪具有如下有益效果：
[0017]本技术提供一种PSD用于激光自准仪，具有高精度的效果，精度可以达到角度范围的0.4％，分辨率高达0.02％；具有高速的效果，采用RS485通讯，速度可以达到1KHz，解决了速度慢、角度范围小、精度差、受外界环境干扰大、后端处理软件复杂等缺点。
附图说明
[0018]图1为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第一实施例的结构示意图；
[0019]图2为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第二反射镜倾斜一定角度的原理框图；
[0020]图3为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第二反射镜倾斜一定角度的原理框图；
[0021]图4为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第二实施例的结构示意图；
[0022]图5为图4所示的U型架的结构示意图；
[0023]图6为图5所示的A部放大示意图。
[0024]图中标号：1、激光器，2、第一反射镜，3、分光镜，4、第二反射镜，5、透镜，6、PSD，7、底座，8、第一支撑杆，9、第二支撑杆，10、第一安装板，11、第二安装板，12、第一固定块，13、第二固定块，14、电动伸缩杆，15、推动块，16、连接杆，17、U型架，18、限位块，19、插孔，20、凹槽，21、滑动块，22、卡紧弹簧，23、限位杆，24、拉板，25、卡槽，26、卡块，27、复位弹簧，28、转动套，29、垫板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0026]第一实施例
[0027]请结合参阅图1、图2、图3，其中，图1为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第一实施例的结构示意图；图2为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第二反射镜倾斜一定角度的原理框图；图3为本技术提供的PSD用于激光自准仪的第二反射镜倾斜一定角度的原理框图。PSD用于激光自准仪包括：激光器1、第一反射镜2、分光镜3、第二反射镜4、透镜5、PSD6；
[0028]所述激光器1发射出一束准直光线通过所述第一反射镜2、所述分光镜3垂直分光光线垂直入射第二反射镜4镜面，光线被镜面反射后原路反射回去经过所述分光镜3，通过所述透镜5光轴打到所述PSD6中心，此状态表示0角度。
[0029]PSD由P衬底、PIN光电二极管及表面电阻组成，与CCD探测器相比，PSD有诸多优点，如位置分辨率高，响应速度快和处理电路简单等。
[0030]当所述第二反射镜4转动角度β时，所述激光器1发射出一束准直光线通过第一反射镜2，分光镜3，垂直分光光线射入到第二反射镜4上，由于所述第二反射镜4有角度，因此反射光线将不再原路返回，而是和入射光成角度2β。
[0031]当所述第二反射镜4转动角度β时，反射光线和所述透镜5的光轴成夹角2β，通过所述透镜5聚焦到PSD6上，所述PSD6上有
△
X位移变化，关系如下：
△
X/f＝tan(2β)。
[0032]如图3所示，f为透镜焦距，通过上面公式可以看出
△
X PSD可以得到，f是固定值，因此可以得到我们要的β值；PSD面积一定的情况下，f值的大小决定测量角度范围及精度。
[0033]所述分光镜3和所述第一反射镜2呈倾斜角度设置，倾斜的角度的一致。
[0034]本技术提供的PSD用于激光自准仪的工作原理如下：
[0035]通过激光器1发射出一束准直光线经过第一反射镜2、分光镜3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PSD用于激光自准仪，其特征在于，包括：激光器、第一反射镜、分光镜、第二反射镜、透镜、PSD；所述激光器发射出一束准直光线通过所述第一反射镜、所述分光镜垂直分光光线垂直入射第二反射镜镜面，光线被镜面反射后原路反射回去经过所述分光镜，通过所述透镜光轴打到所述PSD中心，此状态表示0角度。2.根据权利要求1所述的PSD用于激光自准仪，其特征在于，当所述第二反射镜转动角度β时，所述激光器发射出一束准直光线通过第一反射镜，分光镜，垂直分光光线射入到第二反射镜上。3.根据权利要求2所述的PSD用于激光自准仪，其特征在于，当所述第二反射镜转动角度β时，反射光线和所述透镜的光轴成夹角2β，通过所述透镜聚焦到PSD上，所述PSD上有
△
X位移变化，关系如下：
△
X/f＝tan(2β)。4.根据权利要求1所述的PSD用于激光自准仪，其特征在于，所述分光镜和所述第一反射镜呈倾斜角度设置，倾斜的角度的一致。5.根据权利要求1所述的PSD用于激光自准仪，其特征在于，还包括底座，所述底座顶部的一侧固定连接有第一支撑杆，所述底座顶部的另一侧固定连接有第二支撑杆，所述第一支撑杆的顶部固定连接有第一安装板，所述第二支撑杆的顶部固定连接有第二安装板，所述底座的顶部固定连接有第一固定块，所述第二反射镜活动连接于所述第一固定块的顶部，所述第二反射镜底...

【专利技术属性】
技术研发人员：温永达，
申请(专利权)人：深圳达瑞鑫光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：