本发明专利技术公开了一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口，所述熔炉口外圈套接固定圈，所述固定圈外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构底端，所述夹持结构包括定位柄,所述定定位柄底端内侧螺栓连接固定圈，所述定位柄顶端固接斜块，所述斜块顶部开有槽腔，所述槽腔顶部螺栓连接限位梁，所述槽腔外侧腔口边缘螺栓连接调距结构。与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果是：本发明专利技术利用楔形滑落的原理，对晶棒进行物理制动，根据受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力与晶棒自身重力对夹持器所产生的正压力达到平衡状态，保证晶棒不会倾斜掉落；克服了人工干预制晶形状的缺点，制晶过程的稳定性，提高了效率，提高了产能。提高了产能。提高了产能。
【技术实现步骤摘要】
一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置
[0001]本专利技术涉及晶棒制备
，具体为一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置。
技术介绍
[0002]现有的晶棒夹持装置是通过两个圆形钼片，通过人为控制与晶棒接触的时间，来控制夹持效果。该方式的夹持装置，其与晶棒的接触位置，经常容易滑落，导致拉晶失败，根据分析，是由于现有结构的受力方向与晶棒生长所产生的重力方向不能很好地结合，在晶棒生长中后期，质量较大时，容易发生偏移，导致拉晶失败。为此我们提出一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置用于解决上述问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口，所述熔炉口外圈套接固定圈，所述固定圈外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构底端，所述夹持结构包括定位柄,所述定定位柄底端内侧螺栓连接固定圈，所述定位柄顶端固接斜块，所述斜块顶部开有槽腔，所述槽腔顶部螺栓连接限位梁，所述槽腔外侧腔口边缘螺栓连接调距结构；
[0005]所述调距结构包括底块，所述底块螺栓连接斜块外侧底部，所述底块中部竖直对称贯穿并螺纹连接两个顶杆，所述顶杆顶部活动顶托两个对称安装的升降块竖直端底部，两个所述升降块对称安装于槽腔外侧腔口边缘，所述升降块水平端螺栓连接限位栓中部，所述限位栓末端螺纹连接斜块，所述升降块竖直端中部活动插接连接销两端；
[0006]所述连接销中部活动连接销杆中部，所述销杆中部贯穿槽腔内腔，所述销杆末端固接循迹块一端中部，所述循迹块两侧滑动连接槽腔内腔壁，所述循迹块另一端底面螺栓滑块，所述滑块侧面滑动接触槽腔内侧腔口，所述滑块凸台面螺栓连接钼片。
[0007]优选的，所述熔炉口外侧壁开有若干定位孔,所述定位孔螺纹定位销末端，所述定位销中部螺纹连接对位孔，所述对位孔开于固定圈侧壁。
[0008]优选的，所述定位柄底端开有螺孔，所述螺孔孔腔螺纹连接螺栓，所述螺栓末端螺纹连接固定圈侧壁。
[0009]优选的，所述升降块水平端中部开有升降槽，所述升降槽活动卡接限位栓中部；所述连接销两端槽口处卡接卡环，所述卡环侧壁活动接触升降块侧壁。
[0010]优选的，所述销杆外端螺纹连接限位头，所述限位头活动接触底块顶面；所述销杆内端固接连接杆，所述连接杆贯穿槽腔内腔，所述连接杆末端固接循迹块。
[0011]优选的，所述钼片为圆弧状。
[0012]优选的，所述循迹块两侧活动连接滑轮，所述滑轮滚动连接滑道，所述滑道开于槽腔腔壁。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术利用楔形滑落的原理，对晶棒进行物理制动，根据受力分析，使得晶棒滑出所受摩擦力与晶棒自身重力对夹持器所产生的正压力达到平衡状态，保证晶棒不会倾斜掉落；克服了人工干预制晶形状的缺点，制晶过程的稳定性，提高了效率，提高了产能。
附图说明
[0014]图1为本专利技术结构示意图；
[0015]图2为本专利技术中旋转上料座结构结构示意图；
[0016]图3为本专利技术图2中A处结构放大结构示意图。
[0017]图中：1熔炉口、10定位孔、2固定圈、20对位孔、21定位销；3夹持装置：30定位柄、300螺孔、301螺栓、31斜块、32槽腔、320滑道、33限位梁、34调距结构：340底块、341顶杆、342升降块、343升降槽、344限位栓、345卡环、346连接销；35销杆、350限位头、351连接杆、36循迹台、360滑轮、37钼片、38滑块。
具体实施方式
[0018]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-3，本专利技术提供一种技术方案：一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口1，熔炉口1外圈套接固定圈2，固定圈2外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构3底端，夹持结构3包括定位柄30,定定位柄30底端内侧螺栓连接固定圈30，定位柄30顶端固接斜块31，斜块31顶部开有槽腔32，槽腔32顶部螺栓连接限位梁33，槽腔32外侧腔口边缘螺栓连接调距结构34；
[0020]调距结构34包括底块340，底块340螺栓连接斜块31外侧底部，底块340中部竖直对称贯穿并螺纹连接两个顶杆341，顶杆341顶部活动顶托两个对称安装的升降块342竖直端底部，两个升降块342对称安装于槽腔32外侧腔口边缘，升降块342水平端螺栓连接限位栓344中部，限位栓344末端螺纹连接斜块31，升降块342竖直端中部活动插接连接销346两端；通过调节升降块342的高度来调节连接销346的高度，进而调节销杆35的高度。
[0021]连接销346中部活动连接销杆35中部，销杆35中部贯穿槽腔32内腔，销杆35末端固接循迹块36一端中部，循迹块36两侧滑动连接槽腔32内腔壁，循迹块36另一端底面螺栓滑块38，滑块38侧面滑动接触槽腔32内侧腔口，滑块38凸台面螺栓连接钼片37。
[0022]熔炉口1外侧壁开有若干定位孔10,定位孔10螺纹定位销21末端，定位销21中部螺纹连接对位孔20，对位孔20开于固定圈2侧壁。有利于保对固定圈2进行快速定位装配。
[0023]定位柄30底端开有螺孔300，螺孔300孔腔螺纹连接螺栓301，螺栓301末端螺纹连接固定圈2侧壁。
[0024]升降块342水平端中部开有升降槽343，升降槽343活动卡接限位栓344中部；连接销346两端槽口处卡接卡环345，卡环345侧壁活动接触升降块342侧壁。通过调节升降块342的高度来调节销杆35的高度，进而调节滑块38和钼片37的初始高度。
[0025]销杆35外端螺纹连接限位头350，限位头350活动接触底块340顶面；销杆35内端固接连接杆351，连接杆351贯穿槽腔32内腔，连接杆351末端固接循迹块36。有利于控制滑块38和钼片37滑动范围，并对晶棒接触的位置进行形状改变，使其符合新型设计结构。
[0026]钼片37为圆弧状，有利于钼片37对晶棒接触的位置进行形状改变，使其符合新型设计结构。
[0027]循迹块36两侧活动连接滑轮360，滑轮360滚动连接滑道320，滑道320开于槽腔32腔壁。有利于滑轮360带动循迹块36和滑块38沿着滑道320滑动。
[0028]工作原理：本专利技术在使用时根据炉内环境，利用楔形滑落的原理，使得斜块31、槽腔32和滑块38互相配合，设计滑道320、循迹块36、滑轮360和滑块38，滑块38上又钼片37接触晶棒，晶棒在生长到一定阶段时，会与钼片37接触，随着晶棒生长，钼片37所受到的正压力随之增大，进而滑轮360与滑道320之间的摩擦力同步增大本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，包括熔炉口(1)，所述熔炉口(1)外圈套接固定圈(2)，其特征在于：所述固定圈(2)外侧壁三等分处螺栓连接夹持结构(3)底端，所述夹持结构(3)包括定位柄(30),所述定定位柄(30)底端内侧螺栓连接固定圈(30)，所述定位柄(30)顶端固接斜块(31)，所述斜块(31)顶部开有槽腔(32)，所述槽腔(32)顶部螺栓连接限位梁(33)，所述槽腔(32)外侧腔口边缘螺栓连接调距结构(34)；所述调距结构(34)包括底块(340)，所述底块(340)螺栓连接斜块(31)外侧底部，所述底块(340)中部竖直对称贯穿并螺纹连接两个顶杆(341)，所述顶杆(341)顶部活动顶托两个对称安装的升降块(342)竖直端底部，两个所述升降块(342)对称安装于槽腔(32)外侧腔口边缘，所述升降块(342)水平端螺栓连接限位栓(344)中部，所述限位栓(344)末端螺纹连接斜块(31)，所述升降块(342)竖直端中部活动插接连接销(346)两端；所述连接销(346)中部活动连接销杆(35)中部，所述销杆(35)中部贯穿槽腔(32)内腔，所述销杆(35)末端固接循迹块(36)一端中部，所述循迹块(36)两侧滑动连接槽腔(32)内腔壁，所述循迹块(36)另一端底面螺栓滑块(38)，所述滑块(38)侧面滑动接触槽腔(32)内侧腔口，所述滑块(38)凸台面螺栓连接钼片(37)。2.根据权利要求1所述的一种基于Fz法的楔形滑落晶棒夹持装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：李健乐，张淳，邢子淳，张丰，李伦，戴超，王彦君，孙晨光，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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