一种软着陆装置制造方法及图纸

一种软着陆装置，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆，升降装置和升降导向装置平行设置；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置；本实用新型专利技术通过设置升降装置配合推舟装置实现对桨的进舟和退舟操作，同时在操作过程中实现取舟和放舟的软着陆。实现取舟和放舟的软着陆。实现取舟和放舟的软着陆。

【技术实现步骤摘要】
一种软着陆装置


[0001]本技术涉及半导体以及光伏电池制造领域，特别是涉及一种软着陆装置。

技术介绍

[0002]在半导体和太阳能电池的制造设备，比如扩散炉、氧化炉、退化炉、化学气相沉积炉等等，都需要打开炉门让负载硅片的舟进入炉管，再关上炉门，能够进行抽真空处。部分工艺的过程中还需要带桨操作，一般将舟设置于桨上或者两副桨之间，然后将工艺舟送入炉管内部，然后将桨撤出，关闭炉门进行工艺。由于上述过程需要对舟进行取放操作，为了保证舟和炉管的安全，需要在取放过程中采用软着陆。目前常规的软着陆方式有两种，一种是控制桨固定座的升降速度，但是由于升降的机构在桨固定座上，桨固定座需要设置电路，需要拖电线，存在安全隐患；另一种是通过运用杠杆原理，实现桨的另一端的升降，但是这种方法桨头部和尾部的升降高度差较大，当产能较大时，要求桨的长度更长，会进一步桨扩大头部和尾部的升降高度差，需要的炉管的内部空间也越大，而且这种方法也需要设置电路，需要拖电线，存在安全隐患。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是解决现有技术的不足，提供一种软着陆装置，结构简单，使用方便。
[0004]一种软着陆装置，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置。
[0005]进一步的，所述推舟装置包括桨座固定块、驱动装置、模组以及推舟导向装置；所述推舟导向装置设置于模组；所述桨座固定块设置于推舟导向装置；所述驱动装置也设置于推舟导向装置。
[0006]进一步的，所述推舟导向装置包括直线光轴一与直线轴承一；所述驱动装置包括同步带、同步轮以及驱动电机；所述驱动电机设置于直线光轴一的一端；所述同步轮共两个，两个同步轮设置于直线光轴一的两端，其中靠近驱动电机的同步轮与驱动电机的输出端连接；所述同步带与直线轴承一固定连接。
[0007]进一步的，所述支撑杆竖直设置，所述支撑杆上设置有升降装置以及升降导向装置。
[0008]进一步的，所述升降装置共两个，两个升降装置分别设置于两根支撑杆上；两个升降装置中的一个设置有升降动力装置，两个升降装置之间设置传动轴。
[0009]进一步的，所述设置有升降动力装置的升降装置包括升降机固定块、升降动力装置、丝杆升降机、万向座以及万向座固定块；所述升降机固定块的一个面与推舟装置的模组固定连接；所述升降动力装置为伺服电机，所述伺服电机水平设置于升降机固定块的外侧面，该侧面垂直于地面，伺服电机与模组设置于升降机固定块相邻的两个面上；伺服电机的
输出端设置丝杆升降机，丝杆升降机包括丝杆，丝杆的另一端设置万向座；所述万向座设置于万向座固定块，所述万向座固定块设置于支撑柱。
[0010]进一步的，所述万向座固定块与支撑座之间设置有支撑板；所述支撑板呈三角形，三角形的两条边分别与万向座固定块的下表面以及支撑柱的侧面贴合。
[0011]进一步的，所述升降导向装置包括直线轴承二、直线轴承底座、直线光轴二、限位块以及轨道固定座；所述直线轴承二设置于直线光轴二；所述直线轴承底座设置于直线光轴二；所述轨道固定块设置于直线光轴二的上下两端；轨道固定块与直线轴承二之间设置有限位块；轨道固定座设置于支撑杆。
[0012]进一步的，所述直线轴承二共两个，两个直线轴承二设置于一根直线光轴二上；所述直线光轴二竖直设置；所述轨道固定座包括上轨道固定座以及下轨道固定座，所述上轨道固定座与支撑柱之间设置上固定座，所述下轨道固定座与支撑柱之间设置下固定座；上轨道固定座与上固定座之间设置有轴承，轴承设置于上轨道固定座朝向上固定座一面的圆柱形镂空内，其中在轴承与上轨道固定座之间设置有卡簧；所述轴承的中间设置有轴，轴的一端穿过轴承和卡簧与上轨道固定座连接，轴的另一端与上固定座连接；所述下轨道固定座的侧面设置有下轨道固定座调整块，下轨道固定座调整块与下固定座之间设置螺丝；所述两个直线轴承二之间设置有直线轴承底座所述上轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有上限位块，下轨道固定座与相邻的直线轴承二之间设置有下限位块。
[0013]进一步的，所述模组整体呈直长条形；所述桨座设置于桨座固定块，桨座与桨可拆式连接；所述桨座固定块包括侧板和底板；所述侧板共两块，两块侧板相互平行；所述底板设置于两块侧板之间，底板与侧板垂直设置；所述直线光轴一固定设置于模组的上下两侧，直线轴承一固定设置于桨座固定块侧块的内侧，直线轴承一套接于直线光轴一，直线轴承一能够在直线光轴一上滑动；所述同步带在直线光轴一的走向上围绕直线光轴一以及直线光轴一两端的同步轮一周。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]本技术通过设置升降装置配合推舟装置实现对桨的进舟和退舟操作，同时在操作过程中实现取舟和放舟的软着陆；
[0016]本技术通过设置万向座，容许升降装置的丝杆能够与升降机固定块之间的细小偏差，保证丝杆升降机的正常工作；
[0017]通过设置升降导向装置，保证推舟装置在垂直方向上平稳的动作，同时还能够通过调节下轨道固定座调整块调节推舟装置的升降方向。
附图说明
[0018]图1为本技术的后视图；
[0019]图2为本技术的侧视图；
[0020]图3为本技术推舟装置的结构示意图；
[0021]图4为本技术升降装置的结构示意图；
[0022]图5为本技术升降装置与升降导向装置配合示意图；
[0023]图6为本技术升降导向装置的结构图；
[0024]图7为本技术升降导向装置上、下轨道固定座连接关系图。
[0025]附图标识说明：支撑杆1、升降装置2、升降机固定块21、升降动力装置22、丝杆升降机23、丝杆231、万向座24、万向座固定块25、支撑板251、传动轴26、推舟装置3、桨座固定块31、侧板311、底板312、同步带321、同步轮322、驱动电机323、模组33、推舟导向装置34、直线光轴一341、直线轴承一342、升降导向装置4、直线轴承二41、直线轴承底座42、直线光轴二43、限位块44、上轨道固定座45、卡簧451、轴承452、轴453、上固定座46、下轨道固定座47、下轨道固定座调整块471、下固定座48、桨座5。
具体实施方式
[0026]以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0027]需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种软着陆装置，其特征在于，包括支撑杆、升降装置、推舟装置、升降导向装置以及桨座；所述升降装置以及升降导向装置设置于支撑杆，升降装置和升降导向装置平行设置；所述推舟装置设置于升降装置以及升降导向装置；所述桨座设置于推舟装置。2.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述推舟装置包括桨座固定块、驱动装置、模组以及推舟导向装置；所述推舟导向装置设置于模组；所述桨座固定块设置于推舟导向装置；所述驱动装置也设置于推舟导向装置。3.根据权利要求2所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述推舟导向装置包括直线光轴一与直线轴承一；所述驱动装置包括同步带、同步轮以及驱动电机；所述驱动电机设置于直线光轴一的一端；所述同步轮共两个，两个同步轮设置于直线光轴一的两端，其中靠近驱动电机的同步轮与驱动电机的输出端连接；所述同步带与直线轴承一固定连接。4.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述支撑杆竖直设置，所述支撑杆上设置有升降装置以及升降导向装置。5.根据权利要求1所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述升降装置共两个，两个升降装置分别设置于两根支撑杆上；两个升降装置中的一个设置有升降动力装置，两个升降装置之间设置传动轴。6.根据权利要求5所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述设置有升降动力装置的升降装置包括升降机固定块、升降动力装置、丝杆升降机、万向座以及万向座固定块；所述升降机固定块的一个面与推舟装置的模组固定连接；所述升降动力装置为伺服电机，所述伺服电机水平设置于升降机固定块的外侧面，该侧面垂直于地面，伺服电机与模组设置于升降机固定块相邻的两个面上；伺服电机的输出端设置丝杆升降机，丝杆升降机包括丝杆，丝杆的另一端设置万向座；所述万向座设置于万向座固定块，所述万向座固定块设置于支撑柱。7.根据权利要求6所述的一种软着陆装置，其特征在于，所述万向座固定块与支撑座之间设置有支...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，庞爱锁，刘群，张武，朱太荣，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：新型
国别省市：