单晶硅粉料烘干装置制造方法及图纸

单晶硅粉料烘干装置，包括烘干筒、设于烘干筒顶部的进料管、设于烘干筒底部的出料管、安装在出料管上的出料阀，在烘干筒一侧安装螺旋给料机，螺旋给料机的进料口与烘干筒的出料管连通，螺旋给料机的出料口与烘干筒的进料管连通，在烘干筒内顶部对应烘干筒的进料管下方固定安装圆锥形布料盘，在烘干筒侧壁固定安装热风机，热风机的出风口经烘干筒侧壁通入烘干筒内。其可增加单晶硅粉料有效受热面积，提高单晶硅粉料受热速度，提高单晶硅粉料烘干速度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
单晶硅粉料烘干装置


[0001]本技术涉及用于生产单晶硅棒的单晶硅粉料，尤其涉及一种单晶硅粉料烘干装置。

技术介绍

[0002]单晶硅是一种非常重要的半导体材料，其广泛应用于电子行业。作为生产单晶硅棒的单晶硅粉料，在存放过程中，单晶硅粉料受空气中水分影响受潮，为了提高单晶硅棒质量，需要对单晶硅粉料烘干处理。现有的单晶硅粉料烘干设备主要由烘干筒、安装在烘干筒内的搅拌器、安装在烘干筒内壁的加热器构成。这种单晶硅粉料烘干装置中搅拌器搅拌单晶硅粉料浮动作用小，且加热器位于烘干筒内壁，导致单晶硅粉料与加热器有效接触面积小，受热速度慢，烘干效率低。

技术实现思路

[0003]本技术是为了解决上述技术问题，提供一种单晶硅粉料烘干装置，其可增加单晶硅粉料有效受热面积，提高单晶硅粉料受热速度，提高单晶硅粉料烘干速度。
[0004]本技术的技术解决方案是：
[0005]单晶硅粉料烘干装置，包括烘干筒、设于烘干筒顶部的进料管、设于烘干筒底部的出料管、安装在出料管上的出料阀，其特殊之处在于：在烘干筒一侧安装螺旋给料机，螺旋给料机的进料口与烘干筒的出料管连通，螺旋给料机的出料口与烘干筒的进料管连通，在烘干筒内顶部对应烘干筒的进料管下方固定安装圆锥形布料盘，在烘干筒侧壁固定安装热风机，热风机的出风口经烘干筒侧壁通入烘干筒内。
[0006]进一步优选，所述热风机的出风口与烘干筒筒壁相切，吹入烘干筒内的热风形成螺旋上升气流，延长烘干作用时间，加快水分排出烘干筒速度。
[0007]进一步优选，所述螺旋给料机的进料口向下倾斜，便于螺旋给料机排出的单晶硅粉料快速进入烘干筒。
[0008]进一步优选，所述螺旋给料机的出料口向上倾斜，便于烘干筒内的单晶硅粉料快速进入螺旋给料机。
[0009]进一步优选，在烘干筒顶部设有排气口，便于排出烘干筒内的水分。
[0010]进一步优选，在排气口罩有过滤布袋，防止单晶硅粉料排放到烘干筒外。
[0011]进一步优选，在圆锥形布料盘顶面与烘干筒顶面之间连接连接杆。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]1、由于安装在烘干筒内顶部对应烘干筒的进料管下方的圆锥形布料盘，安装在烘干筒侧壁且通入烘干筒的热风机，单晶硅粉料下落到圆锥形布料盘后分散下落到烘干罐底部，并在热风机的热风作用下，将分散下落的单晶硅粉料烘干，增加了单晶硅粉料有效受热面积，提高了单晶硅粉料受热速度，提高了单晶硅粉料烘干速度。
[0014]2、由于安装在烘干筒一侧的螺旋给料机，其将烘干筒内的单晶硅料粉反复提升到
烘干筒顶部进行烘干，单晶硅粉料烘干作用更加彻底，提高了单晶硅粉料的干燥度。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是图1中烘干筒与热风机的位置关系图；
[0017]图中：1-烘干筒，2-进料管，3-出料管，4-排气口，5-过滤布袋，6-螺旋给料机，7-圆锥形布料盘，8-连接杆，9-热风机，10-出料阀。
具体实施方式
[0018]如图1、图2所示，单晶硅粉料烘干装置，包括烘干筒1、设于烘干筒1顶部的进料管2、设于烘干筒1底部的出料管3、安装在出料管3上的出料阀10，设于烘干筒1顶部的排气口4，套在排气口4的过滤布袋5，在烘干筒1一侧安装螺旋给料机6，螺旋给料机6的进料口与烘干筒1的出料管3连通，所述螺旋给料机6的出料口向上倾斜，螺旋给料机6的出料口与烘干筒1的进料管2连通，所述螺旋给料机6的进料口向下倾斜，在烘干筒1内顶部对应烘干筒1的进料管2下方固定安装圆锥形布料盘7，在圆锥形布料盘7顶面与烘干筒1顶面之间连接连接杆8，在烘干筒1侧壁固定安装热风机9，热风机9的出风口经烘干筒1侧壁通入烘干筒1内，所述热风机9的出风口与烘干筒1筒壁相切。
[0019]本技术的工作原理是：
[0020]螺旋给料机6将烘干炉内底部的单晶硅粉料提升至烘干筒1顶部，提升至烘干筒1顶部的单晶硅粉料下落到圆锥形布料盘7，在圆锥形布料盘7作用下，使单晶硅粉料分散下落到烘干罐底部，并在热风机9的热风作用下，将分散下落的单晶硅粉料烘干，烘干出的水分经排气口4排出烘干筒1，烘干有效作用面积大，烘干效率高。
[0021]以上仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.单晶硅粉料烘干装置，包括烘干筒、设于烘干筒顶部的进料管、设于烘干筒底部的出料管、安装在出料管上的出料阀，其特征在于：在烘干筒一侧安装螺旋给料机，螺旋给料机的进料口与烘干筒的出料管连通，螺旋给料机的出料口与烘干筒的进料管连通，在烘干筒内顶部对应烘干筒的进料管下方固定安装圆锥形布料盘，在烘干筒侧壁固定安装热风机，热风机的出风口经烘干筒侧壁通入烘干筒内。2.根据权利要求1所述的单晶硅粉料烘干装置，其特征在于：所述热风机的出风口与烘干筒筒壁相切。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：金刚，徐建，
申请(专利权)人：辽宁中电科半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：