一种皮秒激光切割平台及皮秒激光切割机制造技术

本实用新型专利技术提供一种皮秒激光切割平台及皮秒激光切割机，属于切割机结构领域。本实用新型专利技术皮秒激光切割平台包括工作台、设置在工作台上的龙门架、设置在龙门架横梁上的X轴运动模组，还包括设置在工作台上、X轴运动模组下方的Y轴运动模组，所述X轴运动模组上设有用于固定激光切割组件的第一滑块，所述Y轴运动模组上设有用于固定产品加工台的第二滑块，所述X轴运动模组和Y轴运动模组均为直线电机。本实用新型专利技术的有益效果为：动子低速运动时不会出现速度跳跃使速度不均匀的情况，因此可以用来做超慢，超精细加工；运行时不存在反向间隙误差。运行时不存在反向间隙误差。运行时不存在反向间隙误差。

【技术实现步骤摘要】
一种皮秒激光切割平台及皮秒激光切割机


[0001]本技术涉及一种切割机结构，尤其涉及一种皮秒激光切割平台及包括所述皮秒激光切割平台的皮秒激光切割机。

技术介绍

[0002]皮秒激光切割机作为微精密加工领域中的新兴高新设备，具有广泛的使用范围，运动机构配合皮秒激光器加振镜实现宝石、玻璃、陶瓷、LED产品、半导体封装芯片、晶体、高分子材料等产品上切割、打孔。比如：手机改版精准切割、光学镜片切割和打磨、液晶面板切割、指纹识别等芯片切割、有机和无机材料切割、微细电子电路切割、芯片电路标记、PCB板标记、微细电子电路标记等等。现有的设备普遍是通过丝杆导轨带动激光聚焦系统实行切割，传统丝杆导轨是滚珠在滚珠槽里运动，当丝杆反向运动时，滚珠和滚珠槽之间的接触也反向，而滚珠与滚珠槽之间存在间隙，所以会存在反向间隙误差。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术中的问题，本技术提供一种皮秒激光切割平台，还提供一种包括所述皮秒激光切割平台的皮秒激光切割机。
[0004]本技术皮秒激光切割平台包括工作台、设置在工作台上的龙门架、设置在龙门架横梁上的X轴运动模组，还包括设置在工作台上、X轴运动模组下方的Y轴运动模组，所述X轴运动模组上设有用于固定激光切割组件的第一滑块，所述Y轴运动模组上设有用于固定产品加工台的第二滑块，所述X轴运动模组和Y轴运动模组均为直线电机。
[0005]本技术作进一步改进，所述Y轴运动模组的数量为两个，两个Y轴运动模组并排设置在所述X轴运动模组下方。
[0006]本技术作进一步改进，所述直线电机为无铁芯直线电机，包括导轨、设置在导轨上的滑块、设置在导轨上的定子和设置在滑块上与定子位置对应的动子，所述定子和动子之间设有间隙。
[0007]本技术作进一步改进，所述定子为永磁体，分别设置在所述导轨的两端，所述定子设置在两个永磁体的连接线上。
[0008]本技术作进一步改进，所述导轨沿长度方向还设有光栅尺，所述滑块底面设有与光栅尺位置对应的用于读取移动位置的读取头。
[0009]本技术作进一步改进，所述工作台上设有大理石基板，所述龙门架的材质为大理石。
[0010]本技术作进一步改进，所述激光切割组件包括第一反射镜和振镜，所述第一滑块上设有反射镜定位孔和设置在所述反射镜定位块下方的振镜固定孔。
[0011]本技术还提供一种包括所述皮秒激光切割平台的皮秒激光切割机，包括皮秒激光器、第一反射镜和振镜，其中，所述皮秒激光器设置在所述龙门架顶部，所述第一反射镜和振镜设置在第一滑块上，其中，所述皮秒激光器的出光口与第一反射镜的入光口相对
应设置，所述第一反射镜的出光口与振镜的入光口相对应设置。
[0012]本技术作进一步改进，所述皮秒激光器与第一反射镜之间还设有反射装置，所述反射装置设置在所述龙门架上，入光口与皮秒激光器的出光口相对应设置。
[0013]本技术作进一步改进，所述第一固定板上还设有Z轴运动模组，所述振镜通过转接板固定在所述Z轴运动模组上，并能够在Z轴运动模组驱动下垂直运动。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：动子低速运动时不会出现速度跳跃使速度不均匀的情况，因此可以用来做超慢，超精细加工；运行时不存在反向间隙误差。
附图说明
[0015]图1为本技术皮秒激光切割机结构示意图；
[0016]图2为工作台结构示意图；
[0017]图3为本技术皮秒激光切割平台结构示意图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例对本技术做进一步详细说明。
[0019]如图2和3所示，本技术皮秒激光切割平台包括工作台10、设置在工作台10上的龙门架11、设置在龙门架11横梁上的X轴运动模组14，还包括设置在工作台10上、X轴运动模组14下方的Y轴运动模组17，所述X轴运动模组14包括X轴导轨141和设置在X导轨141上用于固定激光切割组件的第一滑块142，所述Y轴运动模组17包括Y轴导轨171及设置在Y轴导轨171上用于固定产品加工台的第二滑块172，所述X轴运动模组和Y轴运动模组均为无铁芯直线电机。
[0020]为了实现双工位加工，提高加工效率，本例的Y轴运动模组17的数量为两个，两个Y轴运动模组17并排设置在所述X轴运动模组下方。本例两个Y轴运动模组17之间能够做到7微米以内的间隙设置。从而尽可能的节约布局空间。激光加工组件实现连续加工，从而提高加工效率。
[0021]本例无铁芯直线电机包括导轨、设置在导轨上的滑块、设置在导轨上的定子和设置在滑块上与定子位置对应的动子，所述定子和动子之间设有间隙。所述导轨沿长度方向还设有光栅尺，所述滑块底面设有与光栅尺位置对应的用于读取移动位置的读取头。由于无铁芯直线电机的特性，左右两侧放置了永磁体作为定子包裹动子，没有了齿槽力。没有了齿槽力的影响，动子低速运动时不会出现速度跳跃使速度不均匀的情况，因此本例可以用来做超慢，超精细加工，配合0.1um的光栅尺反馈系统可以用1S的时间匀速移动1um。
[0022]由于直线电机是直接将磁场转化为动子的直线运动，磁场变化通过电信号控制，不存在间隙。而传统丝杆导轨是滚珠在滚珠槽里运动，当丝杆反向运动时，滚珠和滚珠槽之间的接触也反向，而滚珠与滚珠槽之间存在间隙，所以会存在反向间隙误差。
[0023]优选的，本例的工作台1和龙门架11的材质为大理石基板。大理石的平面度能够达到0.000级，本例优选采用P级导轨，从而很好的保证了产品的稳定性及产品精度，实现超精密加工。
[0024]如图1所示，本例的皮秒激光切割机包括机架1，设置在机架1下方的控制仓8，控制仓8内设有控制器，所述工作台10设置在机架1顶面，还包括设置在机架1顶面外周的保护罩
2、设置在保护罩2上的门5，门5上设有观察窗口、还包括设置在保护罩2前面板上的显示器3、设置在显示器3下方的操作按钮4及操作键盘9，控制器分别与显示器3、操作按钮4及操作键盘9相连，本例的操作键盘9端部设有与保护罩2铰接的铰接件，所述操作键盘9可收纳与所述保护罩前面板与键盘对应的收纳槽中，所述保护罩2顶面还设有三色指示灯6，用于指示本切割机的工作状态，并在遇到故障后报警。所述工作台1下方设有若干个可调节的载重支脚7，当然，本例的载重支脚7也可以用载重滚轮替代，便于移动。
[0025]如图2和图3所示，本例的工作台10上还设有皮秒激光器12、反射装置13、第一反射镜15和振镜16，其中，本例龙门设有支架111及设置在支架顶端的横梁平台112，本例的皮秒激光器12和反射装置13设置在所述横梁平台112上，所述第一反射镜15和振镜16设置在第一滑块142上，其中，所述皮秒激光器12的出光口与反射装置13的入光口相对应设置，所述反射装置13的出光口与第一反射镜15的入光口相对应设置，所述第一反射镜15的出光口与振镜16的入光口相对应设置。
[0026]当然，本例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种皮秒激光切割平台，其特征在于：包括工作台、设置在工作台上的龙门架、设置在龙门架横梁上的X轴运动模组，还包括设置在工作台上、X轴运动模组下方的Y轴运动模组，所述X轴运动模组上设有用于固定激光切割组件的第一滑块，所述Y轴运动模组上设有用于固定产品加工台的第二滑块，所述X轴运动模组和Y轴运动模组均为直线电机。2.根据权利要求1所述的皮秒激光切割平台，其特征在于：所述Y轴运动模组的数量为两个，两个Y轴运动模组并排设置在所述X轴运动模组下方。3.根据权利要求2所述的皮秒激光切割平台，其特征在于：所述直线电机为无铁芯直线电机，包括导轨、设置在导轨上的滑块、设置在导轨上的定子和设置在滑块上与定子位置对应的动子，所述定子和动子之间设有间隙。4.根据权利要求3所述的皮秒激光切割平台，其特征在于：所述定子为永磁体，分别设置在所述导轨的两端，所述定子设置在两个永磁体的连接线上。5.根据权利要求4所述的皮秒激光切割平台，其特征在于：所述导轨沿长度方向还设有光栅尺，所述滑块底面设有与光栅尺位置对应的用于读取移动位置的读取头。6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪金文，
申请(专利权)人：深圳市巨匠激光器械有限公司，
类型：新型
国别省市：