光罩洗剂供应装置及光罩清洗机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，属于物料供应装置技术领域，其旨在解决光罩洗剂供应装置，需人工对洗剂桶的库存剩余量进行清点而导致作业效率低以及人力成本增加的问题；所述光罩洗剂供应装置包括数据分析系统、阅读器以及与阅读器信号连接的信号收发天线；洗剂桶分别设置有芯片，芯片与信号收发天线连接；信号收发天线形成的磁场覆盖洗剂柜，阅读器的信号接收端与信号收发天线信号连接，阅读器的数据输出端与数据分析系统信号连接；当洗剂桶装入及移出洗剂柜时，数据分析系统分别进行记录。本实用新型专利技术提供的光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，其能够监控洗剂桶的使用量，提升了作业效率及降低了人力成本。提升了作业效率及降低了人力成本。提升了作业效率及降低了人力成本。

【技术实现步骤摘要】
光罩洗剂供应装置及光罩清洗机


[0001]本技术涉及物料供应装置
，尤其涉及一种光罩洗剂供应装置及光罩清洗机。

技术介绍

[0002]在彩色过滤片产生制造过程中，曝光机需利用光罩将设计图形转印至负型光阻上，当光罩使用一段时间后，其表面附着有颗粒物，因此光罩需要及时清洗。
[0003]目前常利用光罩清洗机对光罩进行清洗，光罩清洗机包括光罩洗剂供应装置及与其连接的喷淋装置，其中，洗剂供应装置包括洗剂柜，洗剂柜用于存放盛有清洗剂的洗剂桶，当光罩清洗机内的洗剂桶中的清洗剂使用完毕后，需从仓储柜或者暂存柜中取出一个未使用洗剂桶放入光罩清洗机内。
[0004]然而，目前光罩洗剂供应装置无法对洗剂桶的使用量进行记录，需要人工对仓储柜中的洗剂桶剩余数量进行清点，导致作业效率低以及提高了人力成本。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供了一种光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，其能够监控洗剂桶的使用量，便于获得物料库存情况，无需人工对仓储柜中的洗剂桶剩余数量进行清点，提高了作业效率及降低了人力成本。
[0006]为了实现上述目的，本技术实施例采用如下技术方案：
[0007]第一方面，本技术实施例提供了一种光罩洗剂供应装置，包括用于盛放洗剂桶的至少一个洗剂柜、数据分析系统以及设置在所述洗剂柜上的RFID设备；所述RFID设备包括RFID阅读器以及与所述RFID阅读器信号连接的至少一个RFID信号收发天线；每个所述洗剂桶分别设置有RFID芯片，所述RFID芯片分别与所述RFID信号收发天线连接；所述RFID信号收发天线形成的磁场覆盖所述洗剂柜，所述RFID阅读器的信号接收端与所述RFID信号收发天线信号连接，所述RFID阅读器的数据输出端与所述数据分析系统信号连接；当所述洗剂桶装入及移出所述洗剂柜时，所述数据分析系统分别进行记录。
[0008]在一种可选实施例中，所述RFID设备包括两个所述RFID信号收发天线；两个所述RFID信号收发天线分别对称设置在所述洗剂柜的两侧，所述RFID阅读器与其中一个所述RFID信号收发天线位于所述洗剂柜的同一侧。
[0009]在一种可选实施例中，所述光罩清洗剂供应装置包括多个所述洗剂柜；所述数据分析系统分别与设置在每个所述洗剂柜上的RFID阅读器信号连接。
[0010]在一种可选实施例中，所述RFID阅读器和所述RFID信号收发天线通过导线连接，并位于同一驱动电路中。
[0011]在一种可选实施例中，所述RFID芯片为无源RFID芯片。
[0012]在一种可选实施例中，所述RFID设备还包括用于控制工作频率的频率产生器；所述频率产生器与所述RFID信号收发天线连接，并控制所述磁场覆盖范围。
[0013]在一种可选实施例中，还包括用于存储所述洗剂桶的存储柜；所述存储柜位于所述RFID信号收发天线形成的磁场外。
[0014]在一种可选实施例中，所述数据分析系统预设有所述存储柜内的洗剂桶的总数量以及所述存储柜内需存储的洗剂桶的数量下限值；
[0015]当所述数据分析系统中监测所述存储柜内的洗剂桶的数量小于所述洗剂桶的数量下限值时，所述数据分析系统发出告警信息。
[0016]在一种可选实施例中，还包括报警装置，所述报警装置与所述数据分析系统信号连接；所述报警装置接收所述数据分析系统发出的告警信息，并发出告警声音和/或光线。
[0017]第二方面，本技术实施例提供了一种光罩清洗机，包括上述第一方面所述的光罩洗剂供应装置。
[0018]与相关技术相比，本技术实施例提供的光罩洗剂供应装置及光罩清洗机具有以下优点；
[0019]本技术实施例提供的光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，光罩洗剂供应装置在洗剂柜上设置有RFID阅读器以及与其信号连接的RFID信号收发天线，RFID信号收发天线在洗剂柜中形成磁场，且每个洗剂桶设置有RFID芯片，RFID芯片在磁场作用下将其RFID芯片记载的信息发射至RFID信号收发天线，并经RFID阅读器读取此信息。
[0020]当洗剂桶安装至洗剂柜中，洗剂桶进入RFID信号收发天线的磁场覆盖区，RFID阅读器可读取该洗剂桶RFID芯片上的记载信息，并将此信息产生的时间上传至数据分析系统；当洗剂桶从洗剂柜移出后，洗剂桶离开RFID信号收发天线的磁场覆盖区，RFID阅读器上读取的与该洗剂桶RFID芯片上相对应的数据就会缺失，并将此信息缺失时间记录在数据分析系统。
[0021]因此，数据分析系统根据该洗剂桶的上机时间及下机时间判断此洗剂桶已使用完毕，可在数据分析系统中进行统计记录；与相关技术中通过人工对仓储柜中的洗剂桶剩余库存进行清点相比，本技术实施例可利用设置在洗剂柜上的RFID设备以及数据分析系统，可对每个洗剂柜中的洗剂桶的损耗量进行统计，可便于获得洗剂桶库存剩余情况，提升作业效率及节约人力成本。
[0022]除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本技术提供的光罩洗剂供应装置及光罩清洗机所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本技术实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0024]图1为本技术实施例提供的光罩洗剂供应装置的结构示意图；
[0025]图2为本技术实施例提供的RFID设备、RFID芯片以及数据分析系统的连接示意图。
[0026]附图标记说明：
[0027]10-洗剂柜；
[0028]11-RFID阅读器；
[0029]12-RFID信号收发天线；
[0030]20-洗剂桶；
[0031]21-RFID芯片；
[0032]30-存储柜；
[0033]40-数据分析系统。
具体实施方式
[0034]光罩洗剂供应装置包括洗剂柜，洗涤剂柜用于存放盛有清洗剂的洗剂桶，当光罩清洗机内的洗剂桶中的清洗剂使用完毕后，需从仓储柜或者暂存柜中取出一个未使用洗剂桶放入光罩清洗机内。然而，目前光罩洗剂供应装置无法对洗剂桶的使用量进行记录，需要人工对仓储柜中的洗剂桶剩余数量进行清点，导致作业效率下降以及提高了人力成本。
[0035]为解决上述问题，本技术实施例提供了一种光罩洗剂供应装置及光罩清洗机，光罩洗剂供应装置包括数据分析系统以及设置在洗剂柜上的RFID信号收发天线、RFID阅读器，每个洗剂桶设置有RFID芯片；其中，RFID信号收发天线产生的磁场覆盖洗剂柜。
[0036]当洗剂桶进入洗剂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩洗剂供应装置，包括用于盛放洗剂桶的至少一个洗剂柜，其特征在于，包括数据分析系统以及设置在所述洗剂柜上的RFID设备；所述RFID设备包括RFID阅读器以及与所述RFID阅读器信号连接的至少一个RFID信号收发天线；每个所述洗剂桶分别设置有RFID芯片，所述RFID芯片分别与所述RFID信号收发天线连接；所述RFID信号收发天线形成的磁场覆盖所述洗剂柜，所述RFID阅读器的信号接收端与所述RFID信号收发天线信号连接，所述RFID阅读器的数据输出端与所述数据分析系统信号连接；当所述洗剂桶装入及移出所述洗剂柜时，所述数据分析系统分别进行记录。2.根据权利要求1所述的光罩洗剂供应装置，其特征在于，所述RFID设备包括两个所述RFID信号收发天线；两个所述RFID信号收发天线分别对称设置在所述洗剂柜的两侧，所述RFID阅读器与其中一个所述RFID信号收发天线位于所述洗剂柜的同一侧。3.根据权利要求1所述的光罩洗剂供应装置，其特征在于，所述光罩洗剂供应装置包括多个所述洗剂柜；所述数据分析系统分别与设置在每个所述洗剂柜上的RFID阅读器信号连接。4.根据权利要求1所述的光罩洗剂供应装置，其特征在于，所述RFID阅读器和...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄聪，戴明鑫，史海洋，李良，赵鹏，刘康，丁阳春，沈晓苑，
申请(专利权)人：成都中电熊猫显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：