光控制器件及其控制方法、空间光调制装置及投影机制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供一种可以采用结构简单成本低廉的光控制器件的光控制器件的控制方法；是一种具有透明电极；导电率可变部；驱动用电极；可动部的光控制器件的控制方法；包含使一定强度的控制光入射到透明电极的控制光供给过程；在透明电极和可动部之间施加根据输入信号调制的电压的调制电压供给过程；使控制光入射到透明电极，通过导电率可变部的导电率的变化，使得在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力而使可动部移动到预定位置的移动过程。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光控制器件的控制方法、在此光控制器件的控制方法中使用的光控制器件、使用此光控制器件的空间光调制装置以及使用此空间光调制装置的投影机的技术。
技术介绍
作为投影机的空间光调制装置，采用倾斜镜器件。倾斜镜器件是借助微机电系统(以下称其为“MEMS”)技术在集成电路基板上形成多个可动镜。可动镜根据图像信号移动反射位置而反射照明光。倾斜镜器件，通过控制可动镜，根据图像信号反射照明光进行调制。作为倾斜镜器件技术，比如，是在美国专利第5867202号专利说明书中公开的。可是，现有的倾斜镜器件，设置用来驱动各可动镜的布线，必须进行电气接入。另外，现有的倾斜镜器件是在采用CMOS(互补金属氧化物半导体)等的集成电路基板上形成可动镜等。因此，现有的倾斜镜器件，除了结构复杂外，由于一体形成集成电路和MEMS结构成为使成品率降低的原因，存在制造成本高昂的问题。另外，可以考虑采用通过使光入射到倾斜镜器件进行驱动的光控制器件。在使用光控制器件时，可以通过使与图像信号相对应的光(以下可称其为“控制光”)扫描各光控制器件而控制倾斜镜器件(光寻址)。在倾斜镜器件中使用光控制器件时，在各可动镜中不需要电气接入用的布线等。因此，也不需要一体形成集成电路和MEMS结构，可以提高成品率。另外，由于可动镜可以很容易作成大型的，也容易实现高图像分辨率。由于不需要集成电路，除了可以使倾斜镜器件价格低廉以外，也可以在不存在对集成电路的耐压进行限制的情况下驱动倾斜镜器件。此外，由于不需要集成电路，可以使用玻璃部件作为基板，倾斜镜器件可以做到大型化和低成本。可是，考虑对倾斜镜器件使用的光控制器件，一边为数十μm。这样，由于光控制器件微小，为了根据图像信号对倾斜镜器件进行控制，必须以高精度对各光控制器件进行控制光的照射。另外，为了使控制光入射到光控制器件的电极，必须使控制光的光点直径为10μm左右。与此相对，为显示图像，也必须使控制光进行高速扫描。在使控制光高速扫描时，要使控制光正确入射到各光控制器件是很困难的。另外，即使是可以以高精度使控制光进行扫描，在控制光的扫描速度变慢时，也难于进行高品质的图像显示。因此，就难于正确控制光控制器件。这样，当对倾斜镜器件使用光控制器件时，尽管存在低成本等优点，但存在难以正确控制光控制器件的问题。另外，光控制器件，是通过对驱动用电极和作为可动部的可动镜之间的电位差产生的静电力进行控制而驱动可动镜。此处，在驱动用电极和可动部之间的电位差很小时，产生的静电力很微小。在驱动用电极和可动部之间产生的静电力很微小时，有时不能驱动可动镜。另外，在驱动用电极和可动部之间的电位差的可变范围很小时，只要使很小光量的控制光入射，就会使在驱动用电极和可动部之间的电位差在可变范围内发生很大的变化。因此，通过使控制光的光量改变，很难使可动镜移动到正确的位置。这样，光控制器件，在驱动用电极和可动部之间的电位差很小时，有时很难根据图像信号对可动镜进行正确的控制就成为问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于至少解决上述的问题。根据本专利技术，其目的在于提供一种可以采用结构简单成本低廉的光控制器件的光控制器件的控制方法；可以很容易进行正确控制的、在光控制器件的控制方法中使用的光控制器件；使用该光控制器件的空间光调制装置以及使用该空间光调制装置的投影机。因此，根据本专利技术，可提供一种光控制器件的控制方法，此方法是一种具有光学透明的透明电极；设置于透明电极上、根据透射透明电极的控制光的光量导电率变化的导电率可变部；设置于导电率可变部之上的驱动用电极；可以移动到预定位置的可动部以及以可移动方式支持可动部的支持部的光控制器件的控制方法；其特征在于包括使一定强度的控制光入射到透明电极的控制光供给过程；在透明电极和可动部之间施加根据输入信号调制的电压的调制电压供给过程；使控制光入射到透明电极，通过导电率可变部的导电率的变化，使得在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力而使可动部移动到预定位置的移动过程。下面考虑对倾斜镜器件使用通过光入射进行驱动的光控制器件。在使用光控制器件时，可以通过使与图像信号相应的光(以下可称其为“控制光”)在各光控制器件上实施扫描对倾斜镜器件进行控制(光寻址)。本专利技术的光控制器件的控制方法，在调制电压供给过程中，对在透明电极和可动部之间施加的电压根据输入信号进行调制。于是，在控制光供给过程中，在使一定强度的控制光入射到透明电极上时，导电率可变部的导电率与透射透明电极的控制光的光量相应地增大。由于导电率可变部的导电率增大，施加电压的电源的一方的电极，经过透明电极和导电率可变部与驱动用电极电连接。由于控制光的强度是一定的，驱动用电极施加根据输入信号来进行调制的电压。电源的另一方的电极，与可动部电连接。所以，由于控制光入射到透明电极，在可动部和驱动用电极之间，产生与根据输入信号进行调制的电压相应的电位差。在移动过程中，可动部，受到由于和驱动用电极之间的电位差而产生的静电力的作用而移动到预定位置。可动部，比如，可以由具有导电性的挠性部件组成的支持部进行支持。在支持部是挠性部件时，可动部，由于挠性支持部的作用，可通过静电力的作用，向着与移动方向相反的方向移动。这样一来，就可驱动光控制器件。本专利技术的光控制器件的控制方法，由于是通过光寻址对可动部进行驱动，不需要用来对各可动部进行电访问的布线等，也不需要将集成电路和MEMS结构一体形成。因此，可以采用结构简易成本低廉的光控制器件。另外，作为本专利技术的优选方式，优选为在移动过程中，由于可动部是比驱动用电极低的基准电位，使得在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力。在移动过程中，可动部，受到由于和驱动用电极之间的电位差而产生的静电力的作用而移动到预定位置。此时，由于可动部是比驱动用电极低的基准电位，使得在可动部和驱动用电极之间产生电位差。驱动用电极，由于施加有在调制电极供给过程中根据输入信号调制的电压，可在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力。由于与调制电压相应的力的作用，可动部可移动到预定的位置。因此，可以控制光控制器件。另外，作为本专利技术的优选方式，优选为在移动过程中，由于可动部是比驱动用电极高的基准电位，使得在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力。在移动过程中，可动部，受到由于和驱动用电极之间的电位差而产生的静电力的作用而移动到预定位置。此时，由于可动部是比驱动用电极高的基准电位，使得在可动部和驱动用电极之间产生电位差。驱动用电极，由于施加有在调制电极供给过程中根据输入信号调制的电压，可在驱动用电极和可动部之间产生与调制电压相应的力。由于与调制电压相应的力的作用，可动部可移动到预定的位置。因此，可以控制光控制器件。另外，作为本专利技术的优选方式，优选的是还具有在控制光入射到透明电极的时间内使驱动用电极和可动部电位变为基本相同的复位过程。在调制电压供给过程中，通过在透明电极上连续施加根据输入信号调制的电压，可以使可动部连续地移动到不同的位置。此处，通过在透明电极上连续地施加调制电压，有时在驱动用电极上残留、蓄积有电荷。在驱动用电极上残留、蓄积有电荷时，就很难在驱动用电极上施加根据图像信号调制的电压。在不能施加与图像信号相应的电压的场合，很难产生与输入信号相应的力并在输入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光控制器件的控制方法，此方法是一种具有：光学透明的透明电极；设置于上述透明电极上、根据透射上述透明电极的控制光的光量导电率变化的导电率可变部；设置于上述导电率可变部之上的驱动用电极；可以移动到预定位置的可 动部以及以可移动方式支持上述可动部的支持部的光控制器件的控制方法，其特征在于包括：使一定强度的上述控制光入射于上述透明电极的控制光供给过程；在上述透明电极和上述可动部之间施加根据输入信号调制的电压的调制电压供 给过程；通过使上述控制光入射于上述透明电极，上述导电率可变部的导电率变化，使得在上述驱动用电极和上述可动部之间产生与上述调制的电压相应的力而使上述可动部移动到上述预定位置的移动过程。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山崎哲朗，米窪政敏，武田高司，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]