气体弹簧式隔振装置制造方法及图纸

隔振器(2)包括沿上下方向支撑承载盘(3)的上下方向空气弹簧(S1)和沿水平方向支撑承载盘(3)的水平方向空气弹簧(S2、S2、

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】气体弹簧式隔振装置


[0001]本公开涉及一种气体弹簧式隔振装置。

技术介绍

[0002]例如专利文献1中已公开有这种气体弹簧式隔振装置，在气体弹簧式隔振装置中，沿上下方向支撑被支撑体的上下方向气体弹簧、和沿水平方向支撑被支撑体的水平方向气体弹簧设置在由钢制成的固定基座上。
[0003]在该隔振装置中，水平方向气体弹簧夹着固定基座彼此相对地设置在水平方向的两侧部位，中心轴彼此大致重合。而且，上下方向气体弹簧和水平方向气体弹簧分别包括凹部、活塞以及隔膜。其中，在固定基座凹部朝向外开着口；活塞设置在凹部的开口附近；隔膜将活塞和凹部的开口周缘之间的缝隙堵起来而划分出气体室。
[0004]专利文献1：日本专利第3799244号公报

技术实现思路

[0005]－专利技术要解决的技术问题－
[0006]为了降低上下方向的固有振动频率，便要求增大气体弹簧式隔振装置中上下方向气体弹簧的气体室的容积。
[0007]但是，如图6所示，专利文献1中所公开的气体弹簧式隔振装置存在以下问题：因为水平方向气体弹簧的凹部设置在固定基座的侧壁部件上，所以无法增大上下方向气体弹簧的气体室的容积。
[0008]为了解决上述问题，能够想到在固定基座的侧壁部件上形成环状突起部来取代凹部，该环状突起部向外突出而划分出水平方向气体弹簧的气体室。
[0009]形成有这样的突起部的固定基座，一般是通过切削钢块而加工出来的。但如果进行切削加工，则会存在材料利用率不良的问题。
[0010]本公开正是为解决上述问题而研究出来的。其目的在于：既抑制加工时材料利用率不良，又增大上下方向气体弹簧的气体室的容积。
[0011]－用于解决技术问题的技术方案－
[0012]这里所公开的气体弹簧式隔振装置包括沿上下方向支撑被支撑体的上下方向气体弹簧、和沿水平方向支撑该被支撑体的水平方向气体弹簧。
[0013]所述上下方向气体弹簧和所述水平方向气体弹簧分别具有：凹部形成部件，在该凹部形成部件上形成有朝外开着口的凹部；活塞，其设置在所述凹部的开口附近；以及隔膜，其将所述活塞与所述凹部的开口周缘之间的缝隙堵起来而划分出气体室。
[0014]所述水平方向气体弹簧安装在所述上下方向气体弹簧的所述凹部形成部件的外周面部，且能够拆卸下来。
[0015]根据上述构成方式，水平方向气体弹簧的凹部形成部件(以下亦称为水平凹部形成部件)并非凹设在上下方向气体弹簧的凹部形成部件(以下亦称为上下凹部形成部件)
上，而是安装在上下凹部形成部件的外周面部，故能够增大上下方向气体弹簧的由上下凹部形成部件划分出的气体室的容积。而且，水平凹部形成部件并非作为相对于上下凹部形成部件向外突出的突起部而与上下凹部形成部件形成为一体，而是安装在上下凹部形成部件的外周面部且能够拆卸下来，故能够抑制加工时材料利用率不良。如上所述，既能够抑制加工时材料利用率不良，又能够增大上下方向气体弹簧的气体室的容积。
[0016]可以是这样的，在所述上下方向气体弹簧的所述凹部形成部件的外周面形成有嵌合部，所述水平方向气体弹簧能够嵌合在所述嵌合部中。
[0017]根据上述构成方式，嵌合部形成在上下凹部形成部件的外周面上，水平方向气体弹簧通过嵌合的方式安装在该嵌合部上，故水平方向气体弹簧的安装强度提高。
[0018]可以是这样的，所述水平方向气体弹簧已被模块化。
[0019]根据上述构成方式，水平方向气体弹簧的装卸更加简单且更加可靠。而且，水平方向气体弹簧本身为集功能于一身的一个部分，故能够将水平方向气体弹簧单独作为产品使用。
[0020]可以是这样的，所述水平方向气体弹簧的所述活塞具有：载荷承受部件，其设置在所述活塞的中心轴方向上相对地远离所述凹部的一侧，及筒状活塞本体部件，其沿轴向另一侧与所述载荷承受部件之间留有间隙，且由所述隔膜弹性地支撑而能够绕与所述中心轴正交方向的任意轴摆动；该气体弹簧式隔振装置中设置有支撑柱，所述支撑柱从所述载荷承受部件穿过所述活塞本体部件的中心孔地朝着轴向另一侧延伸；在所述活塞本体部件上设置有有底筒状的延伸突出部，所述延伸突出部包围所述支撑柱地朝着轴向另一侧延伸；所述支撑柱的一端部与所述延伸突出部的底部抵接，由所述延伸突出部的底部支撑着能够转动。
[0021]根据上述构成方式，就水平方向气体弹簧而言，活塞本体部件绕铅直面内的任意轴摆动，因此经由支撑柱而由活塞本体部件的延伸突出部的底部支撑的载荷承受部件会沿上下方向发生位移。这样便能够吸收与轴正交的方向即上下方向上的振动。此时，支撑柱的由活塞本体部件支撑的支撑点比活塞本体部件的由隔膜支撑的支撑位置更靠近轴向内侧，故隔膜相对于载荷承受部件的上下方向位移的弹簧特性更加良好。结果能够充分地降低上下方向的固有振动频率。
[0022]－专利技术的效果－
[0023]根据本公开，既能够抑制加工时材料利用率不良，又能够增大上下方向空气弹簧的气体室的容积。
附图说明
[0024]图1的立体图示出精密隔振台的整体结构，在该精密隔振台上安装有本公开的第一实施方式所涉及的隔振器(气体弹簧式隔振装置)；
[0025]图2的立体图示出隔振器的整体结构；
[0026]图3是沿隔振器的箭头线III-III剖开的剖视图；
[0027]图4是隔振器的分解立体图；
[0028]图5是隔振器的主动隔振控制系统的结构简图；
[0029]图6示出现有技术中的隔振器，相当于图3。
具体实施方式
[0030]下面，参照附图详细地说明本公开的实施方式。以下优选实施方式仅是从本质上说明本公开的示例而已，并没有限制本公开、其适用物或其用途的意图。
[0031](第一实施方式)
[0032]图1示出使用了本公开所涉及的隔振器2(气体弹簧式隔振装置)的精密隔振台A之一例。该精密隔振台A是为了承载例如图中未示的半导体检查装置或电子显微镜、光学式测量装置等精密设备且是用于在基本隔绝来自于地板的振动的状态下设置上述精密设备的隔振台。也就是说，如图1所示，精密隔振台A大致由下侧构造部1、空气弹簧式隔振器2以及承载盘3(被支撑体)构成。其中，该下侧构造部1设置在地板面上；该隔振器2、2、
……
分别设置在下侧构造部1的上表面的四个角部；该承载盘3安装在四个隔振器2、2、
……
的上部。
[0033]下侧构造部1为组装钢制方管即构造部件而构成的大致呈长方体状的框架，由腿部4、下梁部5以及上梁部6构成。其中，四条腿部4、4、
……
分别沿上下方向延伸；下梁部5、5
……
沿水平方向延伸，在腿部4的下端侧将相邻的两条腿部4、4彼此连结起来；上梁部6、6、
……
被布置成将上述四条腿部4、4、
……
的上端侧外周包围起来，且俯视时上梁部6、6、
……
呈近似矩形框状，上梁部6、6、
……...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种气体弹簧式隔振装置，其包括沿上下方向支撑被支撑体的上下方向气体弹簧、与沿水平方向支撑该被支撑体的水平方向气体弹簧，所述上下方向气体弹簧与所述水平方向气体弹簧分别具有：凹部形成部件，在该凹部形成部件上形成有朝外开着口的凹部，活塞，其设置在所述凹部的开口附近，以及隔膜，其将所述活塞和所述凹部的开口周缘之间的缝隙堵起来而划分出气体室，其特征在于：所述水平方向气体弹簧安装在所述上下方向气体弹簧的所述凹部形成部件的外周面部，且能够拆卸下来。2.根据权利要求1所述的气体弹簧式隔振装置，其特征在于：在所述上下方向气体弹簧的所述凹部形成部件的外周面上形成有嵌合部，所述水平方向气体弹簧能够嵌合在所述嵌合部中。3.根据权利要求1或2所述的气体弹簧式隔振装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈承燮，
申请(专利权)人：仓敷化工株式会社，
类型：发明
国别省市：