一种环保型退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种环保型退火炉，包括退火炉本体、过滤箱和储杂箱，所述退火炉本体顶部通过法兰连接有单向阀，所述退火炉本体一侧通过螺栓固定有过滤箱，所述过滤箱一侧通过螺栓固定有储杂箱，所述过滤箱内部通过卡槽固定有过滤网板，所述过滤箱内底部通过螺栓固定有二号过滤板，且二号过滤板顶部通过螺栓固定有一号过滤板，所述过滤箱底部通过法兰连接有流量计，所述流量计底部通过螺纹槽连接有排气管。本实用新型专利技术结构简单，可以有效对退火炉本体工作产生的烟气进行过滤，并回收再利用，将退火炉本体的能耗，适合被广泛推广和使用。适合被广泛推广和使用。适合被广泛推广和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种环保型退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，特别涉及一种环保型退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，现有的退火炉采用直火加热方式，即空气和煤气直接混合燃烧生成明火，产生的高温烟气直接排出，影响周围环境。
[0003]专利号CN201721105042.7的公布了一种环保型退火炉，退火炉采用天然气加热，利用尾气的余热对预燃空气进行余热，提高尾气的利用率，减少尾气排放，减少污染，过滤箱中三个所述折弯部向下折弯处分别设置有除油装置、除水装置和除氧分子筛净化装置，起到良好的净化效果，尾气内杂质除尽，防止杂质进入退火炉中。
[0004]上述环保型退火炉不足之处在于：1、结构复杂，不能对煤气燃烧产生的烟气进行有效过滤，2、防护性能较差，辅助功能较少，为此，我们提出一种环保型退火炉。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种环保型退火炉，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0007]一种环保型退火炉，包括退火炉本体、过滤箱和储杂箱，所述退火炉本体顶部通过法兰连接有单向阀，所述退火炉本体一侧通过螺栓固定有过滤箱，所述过滤箱一侧通过螺栓固定有储杂箱，所述过滤箱内部通过卡槽固定有过滤网板，所述过滤箱内底部通过螺栓固定有二号过滤板，且二号过滤板顶部通过螺栓固定有一号过滤板，所述过滤箱底部通过法兰连接有流量计，所述流量计底部通过螺纹槽连接有排气管，所述排气管一端通过螺纹槽连接有进气阀，且进气阀一端通过管道连接于退火炉本体的进气端，所述排气管另一端通过螺纹槽连接有排气阀，所述过滤箱和储杂箱外表面均胶合有隔热层。
[0008]进一步地，所述单向阀顶部通过螺纹槽连接有连接管，且连接管另一侧通过螺纹槽固定于过滤箱顶部。
[0009]进一步地，所述储杂箱一侧通过转轴连接有储杂箱门，所述储杂箱顶部一端通过安装槽安装有插板，所述储杂箱和过滤箱相连通，所述过滤网板一端位于储杂箱内部。
[0010]进一步地，所述过滤箱一端通过安装座安装有温度表，且温度表的检测端位于过滤箱内部，所述流量计的检测端位于排气管内部。
[0011]进一步地，所述一号过滤板为陶瓷蜂窝过滤网制成，所述二号过滤板位于活性炭材料制成，所述隔热层为岩棉材料制成。
[0012]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
[0013]1.通过设置过滤箱、储杂箱和单向阀，在退火炉本体工作时，产生的烟气从单向阀经连接管流进过滤箱内部，单向阀可以防止进入过滤箱内的烟气回流至退火炉本体内部，
过滤箱内的过滤网板对烟气进行初步过滤，将烟气中的杂物、固体颗粒物等过滤下来，因过滤网板的倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱内，人员下压插板，可以将储杂箱和过滤箱之间阻隔，打开储杂箱门可以对储杂箱内的杂质进行清理，经过滤网板过滤后的烟气向下流动，被一号过滤板和二号过滤板进行再次过滤，陶瓷蜂窝过滤网制成的一号过滤板，可以过滤掉烟气中的杂质、油污，活性炭材料制成的二号过滤板，可以过滤、吸附掉烟气中的有害物质。
[0014]2.通过设置温度表、流量计和隔热层，温度表可以检测出过滤箱内烟气的温度，并显示出来，流量计可以检测、显示出过滤后烟气的流量，岩棉材料制成的隔热层，可以阻隔储杂箱和过滤箱内部的热量传导出去，降低烟气流动过程中的热量流失。
附图说明
[0015]图1为本技术一种环保型退火炉的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术一种环保型退火炉的过滤箱和储杂箱内部结构示意图。
[0017]图3为本技术一种环保型退火炉的过滤箱和储杂箱外部材料剖面图。
[0018]图中：1、退火炉本体；2、过滤箱；3、储杂箱；4、单向阀； 5、连接管；6、流量计；7、进气阀；8、排气阀；9、温度表；10、过滤网板；11、一号过滤板；12、二号过滤板；13、储杂箱门； 14、插板；15、隔热层；16、排气管。
具体实施方式
[0019]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0020]如图1-3所示，一种环保型退火炉，包括退火炉本体1、过滤箱2和储杂箱3，所述退火炉本体1顶部通过法兰连接有单向阀4，所述退火炉本体1一侧通过螺栓固定有过滤箱2，所述过滤箱2一侧通过螺栓固定有储杂箱3，所述过滤箱2内部通过卡槽固定有过滤网板10，所述过滤箱2内底部通过螺栓固定有二号过滤板12，且二号过滤板12顶部通过螺栓固定有一号过滤板11，所述过滤箱2底部通过法兰连接有流量计6，所述流量计6底部通过螺纹槽连接有排气管16，所述排气管16一端通过螺纹槽连接有进气阀7，且进气阀7一端通过管道连接于退火炉本体1的进气端，所述排气管16另一端通过螺纹槽连接有排气阀8，所述过滤箱2和储杂箱3外表面均胶合有隔热层15。
[0021]其中，所述单向阀4顶部通过螺纹槽连接有连接管5，且连接管5另一侧通过螺纹槽固定于过滤箱2顶部。
[0022]本实施例中如图1所示。
[0023]其中，所述储杂箱3一侧通过转轴连接有储杂箱门13，所述储杂箱3顶部一端通过安装槽安装有插板14，所述储杂箱3和过滤箱2相连通，所述过滤网板10一端位于储杂箱3内部。
[0024]本实施例中如图2所示，过滤网板10一端位于储杂箱3内，因其倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱3内部，人员下移插板14，使其插入储杂箱3和过滤箱2之间，将储杂箱3和过滤箱2之间阻隔，打开储杂箱门13可以对储杂箱3内部进行清理。
[0025]其中，所述过滤箱2一端通过安装座安装有温度表9，且温度表9的检测端位于过滤
箱2内部，所述流量计6的检测端位于排气管16内部。
[0026]本实施例中如图1所示，温度表9可以检测出过滤箱2内烟气的温度，并显示出来，流量计6可以检测、显示出过滤后烟气的流量。
[0027]其中，所述一号过滤板11为陶瓷蜂窝过滤网制成，所述二号过滤板12位于活性炭材料制成，所述隔热层15为岩棉材料制成。
[0028]本实施例中如图2和图3所示，瓷蜂窝过滤网制成的一号过滤板11，可以过滤掉烟气中的杂质、油污，活性炭材料制成的二号过滤板12，可以过滤、吸附掉烟气中的有害物质，岩棉材料制成的隔热层15，可以阻隔储杂箱3和过滤箱2内部的热量传导出去，降低烟气流动过程中的热量流失。
[0029]需要说明的是，本技术为一种环保型退火炉，工作时，在退火炉本体1工作时，产生的烟气从单向阀4经连接管5流进过滤箱2内部，单向阀4可以防止进入过滤箱2内的烟气回流至退火炉本体1内部，过滤箱2内的过滤网板10对烟气进行初步过滤，将烟气中的杂物、固体颗粒物等过滤下来，因过滤网板10 的倾斜角度，过滤下的杂物、固体颗粒物滚落至储杂箱3内，人员下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环保型退火炉，包括退火炉本体(1)、过滤箱(2)和储杂箱(3)，其特征在于：所述退火炉本体(1)顶部通过法兰连接有单向阀(4)，所述退火炉本体(1)一侧通过螺栓固定有过滤箱(2)，所述过滤箱(2)一侧通过螺栓固定有储杂箱(3)，所述过滤箱(2)内部通过卡槽固定有过滤网板(10)，所述过滤箱(2)内底部通过螺栓固定有二号过滤板(12)，且二号过滤板(12)顶部通过螺栓固定有一号过滤板(11)，所述过滤箱(2)底部通过法兰连接有流量计(6)，所述流量计(6)底部通过螺纹槽连接有排气管(16)，所述排气管(16)一端通过螺纹槽连接有进气阀(7)，且进气阀(7)一端通过管道连接于退火炉本体(1)的进气端，所述排气管(16)另一端通过螺纹槽连接有排气阀(8)，所述过滤箱(2)和储杂箱(3)外表面均胶合有隔热层(15)。2.根据权利要求1所述的一种环...

【专利技术属性】
技术研发人员：王一璇，王军，
申请(专利权)人：连云港英杰石英制品有限公司，
类型：新型
国别省市：