一种化学气相沉积设备的精准安装结构制造技术

本实用新型专利技术涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积设备的精准安装结构，解决现有技术中存在安装困难、容易漏气的缺点，包括机壳和气体分配盒，所述机壳上开设有安装孔，机壳的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块和定位销，所述气体分配盒的底部固定设置有与所述安装孔相匹配的安装部，所述安装部的外部包裹有密封垫，通过定位销、连接板、定位孔、定位锥块以及定位锥槽等结构的设置，安装时使用者可直接将连接板上的定位孔套在对应的定位销上，无需反复调节气体分配盒，降低了安装难度，利用定位锥块和定位锥槽配合提升安装精度，可确保气体分配盒的安装位置精准。置精准。置精准。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积设备的精准安装结构


[0001]本技术涉及化学气相沉积设备
，尤其涉及一种化学气相沉积设备的精准安装结构。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(CVD)装置在做维护时，需要将气体分配盒重新安装到腔室本体上，并用至少两颗螺丝将其锁紧在腔室本体上。其中，所述气体分配盒用于使传输至反应腔内的反应气体在反应腔室内的分布更均匀，所述腔室本体用于支撑形成反应腔的零件，所述反应气体在所述反应腔内发生反应。在将气体分配盒安装到腔室本体上的过程中需要来回旋转气体分配盒，以使气体分配盒和腔室本体上用于螺丝安装的孔对准，然后再用螺丝将气体分配盒和腔室本体锁紧。
[0003]现有技术中的气体分配盒由于其质量较大，而在安装时需要人员反复调整将安装孔对齐，安装难度大，耗费人力较多，并且安装后部件松动时气体分配盒与设备之间容易漏气，使外部的杂质或气体混入设备内部，进而影响设备的沉积效果。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在安装困难、容易漏气的缺点，而提出的一种化学气相沉积设备的精准安装结构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种化学气相沉积设备的精准安装结构，包括机壳和气体分配盒，所述机壳上开设有安装孔，机壳的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块和定位销，所述气体分配盒的底部固定设置有与所述安装孔相匹配的安装部，所述安装部的外部包裹有密封垫，气体分配盒的外侧开设有呈环形分布且与所述定位锥块相匹配的定位锥槽，且气体分配盒的外侧固定设置有呈环形分布的连接板，所述连接板的内部开设有与所述定位销相匹配的定位孔。
[0007]优选的，所述机壳、定位锥块以及定位销为一体成型结构。
[0008]优选的，所述气体分配盒、连接板以及安装部为一体成型结构。
[0009]优选的，所述定位锥块与定位锥槽的大小形状相同。
[0010]优选的，所述安装部的外侧焊接有弹簧，弹簧的另一端通过卡扣固定连接有挤压板，所述挤压板呈弧形状，且挤压板的另一侧与所述密封垫贴紧接触。
[0011]本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术中通过定位销、连接板、定位孔、定位锥块以及定位锥槽等结构的设置，安装时使用者可直接将连接板上的定位孔套在对应的定位销上，无需反复调节气体分配盒，降低了安装难度，利用定位锥块和定位锥槽配合提升安装精度，可确保气体分配盒的安装位置精准。
[0013]2、本技术中通过密封垫、挤压板以及弹簧等结构的设置，在安装部外部包裹
了一侧加强密封性能的密封垫，利用安装部外部的挤压板使密封垫进一步形变，持续地保持安装部与设备间无间隙，在部件松动时仍能确保密封效果，进而避免了气体和杂质混入设备内部，确保了工件沉积的质量。
附图说明
[0014]图1为本技术提出的安装前的主视图；
[0015]图2为本技术提出的气体分配盒的俯视图；
[0016]图3为本技术提出的一种化学气相沉积设备的精准安装结构的A处放大图；
[0017]图4为本技术提出的安装后的结构示意图。
[0018]图中：1机壳、2安装孔、3气体分配盒、4连接板、5定位孔、6密封垫、7安装部、8定位锥块、9定位锥槽、10定位销、11挤压板、12弹簧。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]参照图1-4，一种化学气相沉积设备的精准安装结构，包括机壳1和气体分配盒3，所述机壳1上开设有安装孔2，机壳1的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块8和定位销10，气体分配盒3的底部固定设置有与安装孔2相匹配的安装部7，安装部7的外部包裹有密封垫6，气体分配盒3的外侧开设有呈环形分布且与定位锥块8相匹配的定位锥槽9，且气体分配盒3的外侧固定设置有呈环形分布的连接板4，连接板4的内部开设有与定位销10相匹配的定位孔5，通过定位销10、连接板4、定位孔5、定位锥块8以及定位锥槽9等结构的设置，安装时使用者可直接将连接板4上的定位孔5套在对应的定位销10上，无需反复调节气体分配盒3，降低了安装难度，利用定位锥块8和定位锥槽9配合提升安装精度，可确保气体分配盒3的安装位置精准，通过密封垫6、挤压板11以及弹簧12等结构的设置，在安装部7外部包裹了一侧加强密封性能的密封垫6，利用安装部7外部的挤压板12使密封垫6进一步形变，持续地保持安装部7与设备间无间隙，在部件松动时仍能确保密封效果，进而避免了气体和杂质混入设备内部，确保了工件沉积的质量，机壳1、定位锥块8以及定位销10为一体成型结构，气体分配盒3、连接板4以及安装部7为一体成型结构，定位锥块8与定位锥槽9的大小形状相同，安装部7的外侧焊接有弹簧12，弹簧12的另一端通过卡扣固定连接有挤压板11，挤压板11呈弧形状，且挤压板11的另一侧与密封垫6贴紧接触。
[0021]本实施例中，安装时，人员将连接板4上的定位孔5对应地套在各个定位销10外部，对气体分配盒3的位置进行初步定位，同时向下按压气体分配盒3，使安装部7插入到安装孔2内，此时对应的定位锥块8嵌入至定位锥槽9中，调整气体分配盒3至精准的安装位置，随后将气体分配盒3与机壳1通过螺栓等部件固定连接；
[0022]进一步的，在安装完成后，密封垫6夹紧在安装孔与安装部7之间，增强密封效果，在部件松动时，内部的挤压板11借助弹簧12的弹力可推动密封垫6进一步形变，将间隙填充，避免外界的杂质或气体混入设备内部，确保沉积效果。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不
局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积设备的精准安装结构，包括机壳(1)和气体分配盒(3)，其特征在于，所述机壳(1)上开设有安装孔(2)，机壳(1)的顶部依次固定设置有呈环形分布的定位锥块(8)和定位销(10)，所述气体分配盒(3)的底部固定设置有与所述安装孔(2)相匹配的安装部(7)，所述安装部(7)的外部包裹有密封垫(6)，气体分配盒(3)的外侧开设有呈环形分布且与所述定位锥块(8)相匹配的定位锥槽(9)，且气体分配盒(3)的外侧固定设置有呈环形分布的连接板(4)，所述连接板(4)的内部开设有与所述定位销(10)相匹配的定位孔(5)。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积设备的精准安装结构，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱双林，李春敏，马国忠，胡人文，王恩强，黄道平，沈伟，
申请(专利权)人：苏州索科特新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：