一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟制造技术

本发明专利技术公开了一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部与电源正极连接，负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；两组导电安装架上均设有沿石墨舟片长度方向的镂空槽。该石墨舟能够减轻石墨舟的整体重量，并可以通过缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率，也可以在镀膜时通过增强气体的流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟


[0001]本专利技术涉及太阳能电池片生产
，特别涉及一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟。

技术介绍

[0002]当今，由于太阳能光伏行业发展迅速，市场规模持续增长，但同时市场竞争激烈，因此为了尽快实现平价上网，实现在更大范围的普及应用，全行业各环节努力追求和获取高效率、低成本电池。在电池片环节，获得高品质、低成本的电池片非常重要。
[0003]石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。采用等离子体增强化学沉积法对硅片表面进行镀膜，需要500度左右的温度中进行。
[0004]现有的石墨舟包括多片石墨舟片、多个石墨垫块以及多个舟脚，每个石墨舟片上设有多个承载位，承载位与硅片大小配合，用于支撑硅片；多个石墨垫块位于石墨舟的两端，分别设置在两个石墨舟片之间，用来将石墨舟片分隔固定起来。传统的石墨舟具有以下不足：
[0005]1、石墨垫块以及舟脚采用实心的结构设计，结构单一笨重，使得整个石墨舟的重量比较重，操控过程不方便。
[0006]2、实心的石墨垫块以及舟脚不利于温度传递，升温或者降温的过程需要耗费的时间更多，导致对硅片表面镀膜的效率低下，能耗高。
[0007]3、在采用等离子体增强化学沉积法对硅片表面进行镀膜的过程中，实心的石墨块以及舟脚阻碍了气体的流动，降低了镀膜效率以及镀膜效果。
[0008]4、石墨舟片厚度较厚，使得两片石墨舟之间的间距较小，从而影响镀膜气体的流动及电场均匀性。

技术实现思路

[0009]本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，该石墨舟能够减轻石墨舟的整体重量，并可以通过缩短硅片镀膜工艺过程对石墨舟升温或者降温操作的时间，提高镀膜效率，也可以在镀膜时通过增强气体的流动性来提高镀膜效率以及镀膜效果。
[0010]本专利技术解决上述技术问题的技术方案是：
[0011]一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接；所述两组导电安装架上均设有沿
石墨舟片长度方向的镂空槽。
[0012]上述节能高效型石墨舟的工作原理是：
[0013]在安装石墨舟时，先将一片石墨舟片安装在两组导电安装架之间，再将另一片石墨舟片按照与第一片石墨舟片平行的方式安装在两组导电安装架之间，以此类推，直至将多片石墨舟片按照等间距平行的方式安装在导电安装架上；在相邻两片石墨舟片中，其中一片的两端都与导电安装架的正极连接部连接，另一片的两端都与导电安装架的负极连接部连接，这样在相邻的两片石墨舟片之间就可以产生一个定向电场，等离子体在定向电场的作用下做定向移动，完成镀膜；由于在导电安装架上设有沿石墨舟片长度方向的镂空槽，相当于在导电安装架上挖掉一部分，因此导电安装架的重量减小，从而减轻了整个石墨舟的重量；此外，在采用等离子体增强化学沉积法对硅片表面进行镀膜时，在导电安装架上设置沿石墨舟片长度方向的镂空槽，导电安装架的内部通过镂空槽与外界空气连通，热量的传递更加顺畅，在加热升温过程，可以提高对石墨舟的加热速度，使得石墨舟的升温速度更快，消耗的能量更少；另一方面，在导电安装架上设置沿石墨舟片长度方向的镂空槽，增加了导电安装架的表面积，即增大了导电安装架的散热面积，因此在散热时降温速度也更快；升温和降温过程都节省了等离子体增强化学沉积工艺的工时，提高了对硅片的镀膜效率；与此同时，由于在沉积炉中，气体的流动方向与石墨舟的方向平行，因此设置沿石墨舟片长度方向的镂空槽，在镀膜的过程中，在进气端，能够尽可能减少导电安装架对气流的阻挡，气流可以从所述镂空槽均匀地进入各个石墨舟的内部空间，增强了石墨舟内部与外部气体的流动性以及气体流动的均匀性，从而提高镀膜效率与镀膜效果，也更加节能环保，使得各个电池片的沉积效果一致。
[0014]本专利技术的一个优选方案，所述正极连接部以及负极连接部均包括多个石墨块以及垂直于石墨舟片长度方向的石墨杆，所述石墨块上设置有连接通孔，所述石墨块上还设有垂直于所述连接通孔的镂空孔，所述镂空孔构成了所述镂空槽，所述石墨杆穿设在所述连接通孔中将多个石墨块连接成长条状。
[0015]本专利技术的一个优选方案，所述导电安装架包括左端导电安装架以及右端导电安装架，所述正极连接部分别设置在左端导电安装架的下方以及右端导电安装架的上方，所述负极连接部分别设置在所述左端导电安装架的上方以及右端导电安装架的下方。
[0016]优选地，所述石墨块包括石墨垫块、电极块、以及用于支撑石墨舟的石墨舟脚；所述石墨垫块包括设置在导电安装架最外侧的端部石墨垫块以及多个中间石墨垫块，所述中间石墨垫块设有垂直于所述连接通孔方向的镂空槽；所述电极块的前端设有用于与电源线连接的电极孔，所述电极块设置在其中一组导电安装架上，分别设置在正极连接部的中部以及负极连接部的中部；所述石墨舟脚分别设置在石墨舟的两端，且位于所述导电安装架下方的两侧。
[0017]优选地，所述石墨舟脚包括固定部以及支撑部，所述连接通孔设置在所述固定部上，所述支撑部一端与所述固定部连接，另一端向下延伸；所述固定部上设有垂直于所述连接通孔方向的镂空槽。
[0018]优选地，所述中间石墨垫块上垂直于连接通孔的方向设置有镂空孔，所述镂空孔构成了所述镂空槽。
[0019]本专利技术的一个优选方案，所述支撑装置还包括设置在石墨舟中部的陶瓷杆以及陶
瓷环，所述陶瓷环设置在相邻两片石墨舟片之间，所述陶瓷杆穿设在陶瓷环内并将石墨舟片与陶瓷环固定连接，所述陶瓷杆的轴线方向垂直于石墨舟片。
[0020]优选地，所述陶瓷杆有两组，分别设置在石墨舟片的上部与下部，每组陶瓷杆有多根，所述多根陶瓷杆沿着石墨舟的长度方向均匀排布。
[0021]本专利技术的一个优选方案，所述多片石墨舟片中，与正极连接部连接的为正石墨舟片，与负极连接部连接的为负石墨舟片；其中，所述正石墨舟片的两端均设有正连接板，该正连接板延伸至所述正极连接部且与所述正极连接部连接；所述负石墨舟片的两端的均设有负连接板，该负连接板延伸至所述负极连接部且与所述负极连接部连接。
[0022]本专利技术的一个优选方案，所述石墨舟片上设置有用于装载硅片的承载位，所述承载位有多个，所述承载位沿着石墨舟的长度方向均匀排列；所述承载位周围设有用于支撑硅片的卡点孔，所述卡点孔有多个。
[0023]本专利技术的一个优选方案，所述石墨舟片的厚度为1.5-2mm。
[0024]本专利技术与现有技术相比具有以下的有益效果：
[0025]1、本专利技术的节能高效型本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，包括多片石墨舟片以及支撑装置；所述支撑装置包括两组导电安装架，所述多片石墨舟片等间距平行安装在所述两组导电安装架之间；所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部与电源正极连接，所述负极连接部与电源负极连接；在相邻两石墨舟片中，其中一片石墨舟片的两端均与正极连接部连接，另一片石墨舟片的两端均与负极连接部连接，其特征在于，所述两组导电安装架上均设有沿石墨舟片长度方向的镂空槽。2.根据权利要求1所述的一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，其特征在于，所述导电安装架包括左端导电安装架以及右端导电安装架，所述正极连接部分别设置在左端导电安装架的下方以及右端导电安装架的上方，所述负极连接部分别设置在所述左端导电安装架的上方以及右端导电安装架的下方。3.根据权利要求2所述的一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，其特征在于，所述正极连接部以及负极连接部均包括多个石墨块以及垂直于石墨舟片长度方向的石墨杆，所述石墨块上设置有连接通孔，所述石墨块上还设有垂直于所述连接通孔的镂空孔，所述镂空孔构成了所述镂空槽，所述石墨杆穿设在所述连接通孔中将多个石墨块连接成长条状。4.根据权利要求3所述的一种镀膜均匀的节能高效型石墨舟，其特征在于，所述石墨块包括石墨垫块、电极块、以及用于支撑石墨舟的石墨舟脚；所述石墨垫块包括设置在导电安装架最外侧的端部石墨垫块以及多个中间石墨垫块，所述中间石墨垫块设有垂直于所述连接通孔方向的镂空槽；所述电极块的前端设有用于与电源线连接的电极孔，所述电极块设置在其中一组导电安装架上，分别设置在正极连接部的中部以及负极连接部的中部；所述石墨舟脚分别设置在石墨舟的两端，且位于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文红，唐青岗，向建求，付浩然，周绪成，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：