本发明专利技术涉及一种稳定型晶圆收纳装置，包括箱体和门体，所述箱体的形状为长方体，所述箱体的一侧设有开口，所述门体位于箱体的设有开口的一侧，所述门体安装在箱体上且与开口密封连接，所述箱体内设有收纳机构和除尘机构，所述收纳机构包括固定管、支撑板、吸附组件和辅助组件，所述收纳机构包括固定管、支撑板、吸附组件和辅助组件，所述吸附组件包括连接管、磁铁盘、第一弹簧、限位块和安装孔，所述辅助组件包括安装孔、推杆、第二弹簧、齿条、齿轮、转动轴、第一轴承、丝杆、滑块、移动板、气囊和两个导向单元，该稳定型晶圆收纳装置通过收纳机构实现了收纳晶圆的功能，不仅如此，还通过除尘机构实现了除尘的功能。构实现了除尘的功能。构实现了除尘的功能。
【技术实现步骤摘要】
一种稳定型晶圆收纳装置
[0001]本专利技术涉及芯片设备领域，特别涉及一种稳定型晶圆收纳装置。
技术介绍
[0002]芯片是半导体元件产品的统称，又称微电路、微芯片、集成电路，芯片在生产过程中，需要对晶圆进行切割获得晶片，而晶圆在运输过程中，需要通过容器收纳晶圆以便于对晶圆的运输。
[0003]现有的用于收纳晶圆的容器在使用过程中，晶圆易与容器之间发生碰撞，由于晶圆材质较脆，易导致晶圆损坏，降低了实用性，不仅如此，容器在长期使用后，内部会残留较多的灰尘，而灰尘会影响晶圆品质，降低了实用性。
技术实现思路
[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种稳定型晶圆收纳装置。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种稳定型晶圆收纳装置，包括箱体和门体，所述箱体的形状为长方体，所述箱体的一侧设有开口，所述门体位于箱体的设有开口的一侧，所述门体安装在箱体上且与开口密封连接，所述箱体内设有收纳机构和除尘机构；
[0006]所述收纳机构包括固定管、支撑板、吸附组件和辅助组件，所述固定管竖向设置，所述固定管的底端与箱体内的底部密封且固定连接，所述支撑板水平设置，所述支撑板与固定管的顶端密封且固定连接，所述支撑板上设有至少两个通孔，所述通孔以固定管的轴线为中心周向均匀分布，所述通孔与固定管连通，所述辅助组件设置在支撑板的顶部，所述吸附组件设置在固定管上；
[0007]所述吸附组件包括连接管、磁铁盘、第一弹簧、限位块和安装孔，所述安装孔设置在箱体的设有开口的一侧，所述连接管与箱体的设有开口的一侧垂直，所述连接管的一端插入安装孔内，所述连接管的另一端固定在固定管上且与固定管连通，所述连接管与安装孔的内壁密封且固定连接，所述门体与连接管的远离固定管的一端抵靠且密封连接，所述磁铁盘、限位块和第一弹簧均设置在连接管内，所述磁铁盘与连接管同轴设置，所述磁铁盘与连接管的内壁滑动且密封连接，所述限位块固定在连接管的内壁上且与磁铁盘的远离固定管的一侧抵靠，所述磁铁盘的另一侧通过第一弹簧与连接管的靠近固定管一侧的内壁连接，所述第一弹簧处于拉伸状态，所述门体的制作材料为铁；
[0008]所述辅助组件包括安装孔、推杆、第二弹簧、齿条、齿轮、转动轴、第一轴承、丝杆、滑块、移动板、气囊和两个导向单元，所述安装孔设置在箱体的设有开口的一侧，所述推杆与连接管平行且穿过安装孔，所述推杆与安装孔的内壁滑动且密封连接，所述推杆的一端与门体的靠近箱体的一侧抵靠，所述推杆的另一端通过第二弹簧与箱体的设有开口一侧的内壁连接，所述第二弹簧处于拉伸状态，所述转动轴和丝杆均与固定管同轴设置，所述丝杆
固定在转动轴的底端，所述第一轴承的内圈和齿轮均安装在转动轴上，所述第一轴承的外圈与箱体的内壁固定连接，所述齿条固定在推杆的远离门体的一端且与齿轮啮合，所述滑块套设在丝杆上，所述滑块的与丝杆的连接处设有与丝杆匹配的螺纹，所述移动板位于丝杆和支撑板之间且与支撑板平行，所述移动板与丝杆之间设有间隙，所述移动板与滑块固定连接，所述气囊位于移动板和支撑板之间，所述气囊固定在移动板的底部且与支撑板的顶部抵靠，所述导向单元以转动轴的轴线为中心周向均匀分布在移动板的顶部；
[0009]所述导向单元包括固定块和导杆，所述导杆与转动轴平行且固定在移动板的顶部，所述固定块固定在箱体的内壁上，所述固定块上设有导孔，所述导杆穿过导孔且与导孔的内壁滑动连接，所述移动板与固定块之间设有间隙；
[0010]所述除尘机构包括气管、滤网、传动组件和风力组件，所述箱体的远离开口的一侧设有气孔，所述气管与连接管平行且位于支撑板的远离门体的一侧，所述气管穿过气孔，所述气管与气孔的内壁密封且固定连接，所述滤网安装在气管内，所述风力组件设置在气管内且位于滤网的靠近门体的一侧，所述传动组件设置在箱体内；
[0011]所述风力组件包括扇叶、传动轴和第二轴承，所述传动轴与气管同轴设置，所述扇叶安装在传动轴的远离门体的一端，所述第二轴承的内圈安装在传动轴的中端，所述第二轴承的外圈与气管的内壁固定连接；
[0012]所述传动组件包括连接线、定滑轮、单向轴承和扭转弹簧，所述单向轴承的内圈安装传动轴的靠近门体的一端，所述定滑轮固定在箱体的内壁上，所述定滑轮位于齿条的远离推杆的一侧且位于单向轴承的上方，所述连接线的一端固定在齿条上，所述连接线的另一端绕过定滑轮固定在单向轴承的外圈，所述连接线卷绕在单向轴承的外圈，所述扭转弹簧位于第二轴承和单向轴承之间，所述单向轴承的外圈通过扭转弹簧与第二轴承的外圈连接。
[0013]作为优选，为了提高连接线的可靠性，所述连接线为钢丝绳。
[0014]作为优选，为了实现缓冲和减振，所述限位块的制作材料为橡胶。
[0015]作为优选，为了减小连接管的内壁与磁铁盘之间的间隙，所述连接管的内壁上涂有密封脂。
[0016]作为优选，为了实现降噪，所述固定管内设有吸音板。
[0017]作为优选，为了延长箱体的使用寿命，所述箱体上设有防腐镀锌层。
[0018]作为优选，为了减小丝杆与滑块之间的摩擦力，所述丝杆上涂有润滑油。
[0019]作为优选，为了便于推杆的安装，所述推杆的两端均设有倒角。
[0020]作为优选，为了提高箱体的稳定性，所述箱体的底部设有吸盘。
[0021]作为优选，提高晶圆放置在支撑板上的稳定性，所述支撑板的顶部设有防滑纹。
[0022]本专利技术的有益效果是，该稳定型晶圆收纳装置通过收纳机构实现了收纳晶圆的功能，与现有的收纳机构相比，该收纳机构通过通孔吸附晶圆和气囊对晶圆的挤压相互结合，还可以提高晶圆收纳的稳定性，实用性更强，不仅如此，还通过除尘机构实现了除尘的功能，与现有的除尘机构相比，该除尘机构通过齿条的移动驱动扇叶转动，与收纳机构实现了一体式联动结构，实用性更强。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0024]图1是本专利技术的稳定型晶圆收纳装置的结构示意图；
[0025]图2是图1的A部放大图；
[0026]图3是本专利技术的稳定型晶圆收纳装置的辅助组件的结构示意图；
[0027]图4是本专利技术的稳定型晶圆收纳装置的除尘机构的结构示意图；
[0028]图中：1.箱体，2.门体，3.固定管，4.支撑板，5.连接管，6.磁铁盘，7.第一弹簧，8.限位块，9.推杆，10.第二弹簧，11.齿条，12.齿轮，13.转动轴，14.第一轴承，15.丝杆，16.滑块，17.移动板，18.气囊，19.固定块，20.导杆，21.气管，22.滤网，23.扇叶，24.传动轴，25.第二轴承，26.连接线，27.定滑轮，28.单向轴承，29.扭转弹簧，30.吸音板，31.吸盘。
具体实施方式
[0029]现在结合附图对本专利技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本专利技术的基本结构，因此其仅显示与本专利技术有关的构成。
[0030]如图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种稳定型晶圆收纳装置，包括箱体(1)和门体(2)，所述箱体(1)的形状为长方体，所述箱体(1)的一侧设有开口，所述门体(2)位于箱体(1)的设有开口的一侧，所述门体(2)安装在箱体(1)上且与开口密封连接，其特征在于，所述箱体(1)内设有收纳机构和除尘机构；所述收纳机构包括固定管(3)、支撑板(4)、吸附组件和辅助组件，所述固定管(3)竖向设置，所述固定管(3)的底端与箱体(1)内的底部密封且固定连接，所述支撑板(4)水平设置，所述支撑板(4)与固定管(3)的顶端密封且固定连接，所述支撑板(4)上设有至少两个通孔，所述通孔以固定管(3)的轴线为中心周向均匀分布，所述通孔与固定管(3)连通，所述辅助组件设置在支撑板(4)的顶部，所述吸附组件设置在固定管(3)上；所述吸附组件包括连接管(5)、磁铁盘(6)、第一弹簧(7)、限位块(8)和安装孔，所述安装孔设置在箱体(1)的设有开口的一侧，所述连接管(5)与箱体(1)的设有开口的一侧垂直，所述连接管(5)的一端插入安装孔内，所述连接管(5)的另一端固定在固定管(3)上且与固定管(3)连通，所述连接管(5)与安装孔的内壁密封且固定连接，所述门体(2)与连接管(5)的远离固定管(3)的一端抵靠且密封连接，所述磁铁盘(6)、限位块(8)和第一弹簧(7)均设置在连接管(5)内，所述磁铁盘(6)与连接管(5)同轴设置，所述磁铁盘(6)与连接管(5)的内壁滑动且密封连接，所述限位块(8)固定在连接管(5)的内壁上且与磁铁盘(6)的远离固定管(3)的一侧抵靠，所述磁铁盘(6)的另一侧通过第一弹簧(7)与连接管(5)的靠近固定管(3)一侧的内壁连接，所述第一弹簧(7)处于拉伸状态，所述门体(2)的制作材料为铁；所述辅助组件包括安装孔、推杆(9)、第二弹簧(10)、齿条(11)、齿轮(12)、转动轴(13)、第一轴承(14)、丝杆(15)、滑块(16)、移动板(17)、气囊(18)和两个导向单元，所述安装孔设置在箱体(1)的设有开口的一侧，所述推杆(9)与连接管(5)平行且穿过安装孔，所述推杆(9)与安装孔的内壁滑动且密封连接，所述推杆(9)的一端与门体(2)的靠近箱体(1)的一侧抵靠，所述推杆(9)的另一端通过第二弹簧(10)与箱体(1)的设有开口一侧的内壁连接，所述第二弹簧(10)处于拉伸状态，所述转动轴(13)和丝杆(15)均与固定管(3)同轴设置，所述丝杆(15)固定在转动轴(13)的底端，所述第一轴承(14)的内圈和齿轮(12)均安装在转动轴(13)上，所述第一轴承(14)的外圈与箱体(1)的内壁固定连接，所述齿条(11)固定在推杆(9)的远离门体(2)的一端且与齿轮(12)啮合，所述滑块(16)套设在丝杆(15)上，所述滑块(16)的与丝杆(15)的连接处设有与丝杆(15)匹配的螺纹，所述移动板(17)位于丝杆(15)和支撑板(4)之间且与支撑板(4)平行，所述移动板(17)与丝杆(15)之间设有间隙，所述移动板(17)与滑块(16)固定连接，所述气囊(18...
【专利技术属性】
技术研发人员：程香花，
申请(专利权)人：程香花，
类型：发明
国别省市：
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