一种新型固晶治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型固晶治具，包括工作台、晶圆盘定位支撑件、治具盘、固晶台、位移支撑架、固晶组件、位移吸附组件、传输组件和转动驱动组件，晶圆盘定位支撑件设于工作台上，晶圆盘定位支撑件上设有定位限位柱，治具盘圆周设有定位槽，转动驱动组件设于工作台腔体内，传输组件设于工作台上，且传输组件位于晶圆盘定位支撑件一侧，固晶台设于传输组件上，位移支撑架设于工作台上，位移吸附组件设于位移支撑架上且位于晶圆盘定位支撑件上方，固晶组件设于位移支撑架侧边。本实用新型专利技术属于晶片固定装置制造技术领域，具体是提供了一种结构简单，机械手对晶圆位置判断精准率高，且可连续固晶的新型固晶治具。可连续固晶的新型固晶治具。可连续固晶的新型固晶治具。

【技术实现步骤摘要】
一种新型固晶治具


[0001]本技术属于晶片固定装置制造
，具体是指一种新型固晶治具。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。晶圆的圆周外侧设有铁圈，用于保护晶圆。
[0003]在固晶过程中，需要利用吸嘴将晶圆吸附并移动至PCB板上通过固晶治具压紧进行固晶动作，而现有技术中晶圆放置处距离固晶处通常具有一定的距离，机械手需要远距离移动夹取晶圆，不便于固晶的连续性操作，从而影响固晶效率。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供了一种结构简单，机械手对晶圆位置判断精准率高，且可连续固晶的新型固晶治具。
[0005]本技术采取的技术方案如下：本技术一种新型固晶治具，包括工作台、晶圆盘定位支撑件、治具盘、固晶台、位移支撑架、固晶组件、位移吸附组件、传输组件和转动驱动组件，所述晶圆盘定位支撑件设于工作台上，所述工作台为中空腔体结构，所述晶圆盘定位支撑件上设有定位限位柱，所述治具盘圆周设有定位槽，所述治具盘的定位槽通过定位限位柱卡合置于晶圆盘定位支撑件上，所述转动驱动组件设于工作台腔体内，转动驱动组件对晶圆盘定位支撑件起驱动作用，所述传输组件设于工作台上，且所述传输组件位于晶圆盘定位支撑件一侧，所述固晶台设于传输组件上，所述位移支撑架设于工作台上，所述位移吸附组件设于位移支撑架上且位于晶圆盘定位支撑件上方，所述固晶组件设于位移支撑架侧边；
[0006]所述转动驱动组件包括旋转驱动电机、主动拨动盘、从动拨动盘和旋转驱动轴，所述旋转驱动电机设于工作台中空腔体底壁上，所述主动拨动盘设于旋转驱动电机输出轴上，所述主动拨动盘上设有拨动杆，所述旋转驱动轴转动设于工作台中空腔体顶壁上，且所述旋转驱动轴与晶圆盘定位支撑件底壁连接，所述从动拨动设于旋转驱动轴下端，所述从动拨动盘上设有拨动槽，拨动杆通过卡合进拨动槽内带动从动拨动盘旋转，从动拨动盘旋转带动晶圆盘定位支撑件旋转；
[0007]所述位移吸附组件包括位移驱动电机、位移螺杆、位移块、第一气缸和吸嘴，所述位移驱动电机设于位移支撑架上，所述位移螺杆两端分别转动设于位移支撑架上且与位移驱动电机输出轴相连，所述位移块通过螺纹连接设于位移螺杆上，所述第一气缸设于位移块上，所述吸嘴设于第一气缸自由端，且所述吸嘴位于晶圆盘定位支撑件正上方，治具盘随晶圆盘定位支撑件转动至吸嘴下方时，吸嘴吸取治具盘晶圆盘放置槽内的晶圆盘并将其移动至固晶台的PCB板上在固晶组件的作用下完成固晶动作；
[0008]所述传输组件包括传输驱动电机、传输螺杆、导向杆和固定板，所述固定板设于工
作台上，所述传输驱动电机设于工作台上，所述传输螺杆转动设于固定板上且与传输驱动电机输出轴相连，所述导向杆设于固定板上，所述导向杆与传输螺杆平行设置，所述固晶台下端一侧通过螺纹连接设于传输螺杆上，所述固晶台下端另一侧滑动设于导向杆上；
[0009]所述固晶组件包括固晶支撑板、第二气缸和固晶压板，所述固晶支撑板设于位移支撑架上，所述第二气缸设于固晶支撑板上，所述固晶压板设于第二气缸自由端，且所述固晶压板位于传输组件正上方。
[0010]进一步地，所述治具盘上设有若干组晶圆盘放置槽，所述从动拨动盘上拨动槽设有若干组，拨动槽与晶圆盘放置槽组数相等，便于实现若干组晶圆盘的放置与连续性固晶。
[0011]进一步地，所述定位限位柱设有多组，所述治具盘上定位槽设有多组，所述定位限位柱与定位槽对应设置。
[0012]进一步地，所述治具盘外侧设有治具盘握持边，所述治具盘握持边设于相邻两组定位限位柱之间，便于人工握持或者机械手夹持移动治具盘。
[0013]进一步地，所述治具盘为亚克力板治具盘，亚克力板可以有效避免机械手识别光头的反光和误判断。
[0014]采用上述结构本技术取得的有益效果如下：本方案一种新型固晶治具通过主动拨动盘对从动拨动盘的拨动作用，并配合组数相等位置相同的晶圆盘放置槽和拨动槽，使晶圆盘定位支撑件间隔停顿旋转一定角度，从而使治具盘上的晶圆盘稳定转动置于位移吸附组件下方，实现晶圆的稳定、连续吸附位移，并在传输组件和固晶组件的作用下实现自动、连续的固晶动作。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术一种新型固晶治具的整体结构示意图；
[0017]图2为本技术一种新型固晶治具的俯视图；
[0018]图3为本技术一种新型固晶治具转动驱动组件的结构示意图；
[0019]图4为本技术一种新型固晶治具晶圆盘定位支撑件和治具盘的结构示意图；
[0020]图5为本技术一种新型固晶治具晶圆盘定位支撑件和治具盘的爆炸图。
[0021]其中，1、工作台，2、晶圆盘定位支撑件，3、治具盘，4、固晶台，5、位移支撑架，6、固晶组件，7、位移吸附组件，8、传输组件，9、转动驱动组件，10、定位限位柱，11、定位槽，12、旋转驱动电机，13、主动拨动盘，14、从动拨动盘，15、旋转驱动轴，16、拨动杆，17、拨动槽，18、位移驱动电机，19、位移螺杆，20、位移块，21、第一气缸，22、吸嘴，23、传输驱动电机，24、传输螺杆，25、导向杆，26、固定板，27、固晶支撑板，28、第二气缸，29、固晶压板，30、晶圆盘放置槽，31、治具盘握持边。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0024]如图1～5所示，本技术一种新型固晶治具，包括工作台1、晶圆盘定位支撑件2、治具盘3、固晶台4、位移支撑架5、固晶组件6、位移吸附组件7、传输组件8和转动驱动组件9，晶圆盘定位支撑件2设于工作台1上，工作台1为中空腔体结构，晶圆盘定位支撑件2上设有定位限位柱10，治具盘3圆周设有定位槽11，治具盘3的定位槽11通过定位限位柱10卡合置于晶圆盘定位支撑件2上，转动驱动组件9设于工作台1腔体内，转动驱动组件9对晶圆盘定位支撑件2起驱动作用，传输组件8设于工作台1上，且传输组件8位于晶圆盘定位支撑件2一侧，固晶台4设于传输组件8上，位移支撑架5设于工作台1上，位移吸附组件7设于位移支撑架5上且位于晶圆盘定位支撑件2上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型固晶治具，其特征在于：包括工作台、晶圆盘定位支撑件、治具盘、固晶台、位移支撑架、固晶组件、位移吸附组件、传输组件和转动驱动组件，所述晶圆盘定位支撑件设于工作台上，所述工作台为中空腔体结构，所述晶圆盘定位支撑件上设有定位限位柱，所述治具盘圆周设有定位槽，所述治具盘的定位槽通过定位限位柱卡合置于晶圆盘定位支撑件上，所述转动驱动组件设于工作台腔体内，所述传输组件设于工作台上，且所述传输组件位于晶圆盘定位支撑件一侧，所述固晶台设于传输组件上，所述位移支撑架设于工作台上，所述位移吸附组件设于位移支撑架上且位于晶圆盘定位支撑件上方，所述固晶组件设于位移支撑架侧边；所述转动驱动组件包括旋转驱动电机、主动拨动盘、从动拨动盘和旋转驱动轴，所述旋转驱动电机设于工作台中空腔体底壁上，所述主动拨动盘设于旋转驱动电机输出轴上，所述主动拨动盘上设有拨动杆，所述旋转驱动轴转动设于工作台中空腔体顶壁上，且所述旋转驱动轴与晶圆盘定位支撑件底壁连接，所述从动拨动设于旋转驱动轴下端，所述从动拨动盘上设有拨动槽；所述位移吸附组件包括位移驱动电机、位移螺杆、位移块、第一气缸和吸嘴，所述位移驱动电机设于位移支撑架上，所述位移螺杆两端分别转动设于位移支撑架上且与位移驱动电机输出轴相连，所述位移块通过螺纹连接设于位移...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨伟，
申请(专利权)人：深圳市仕力沿海科技有限公司，
类型：新型
国别省市：