本发明专利技术公开了一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，包括设备框架、安装立板及机械手臂，所述安装立板固定安装于设备框架上，机械手臂滑动安装于安装立板上；所述设备框架由中空的金属方钢焊接形成，所述金属方钢两个相对的侧壁均贯穿设置有安装孔，所述安装孔之间设置有安装柱，所述设备框架的一端沿其轴线方向设置有螺纹孔；所述安装立板上贯穿设置有固定孔、应力分散孔、滑动轨道及齿条，所述滑动轨道、齿条沿安装立板的长度方向设置，所述固定孔与螺纹孔对应并通过安装螺栓固定。本发明专利技术的安装立板能够完整的贴合于设备框架上，安装立板上设置有应力分散孔与阶梯状的固定孔，可以分散安装立板上对应的应力，保证了安装强度。证了安装强度。证了安装强度。
【技术实现步骤摘要】
一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构
[0001]本专利技术属于湿法工艺设备
，具体涉及一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构。
技术介绍
[0002]在半导体湿法工艺设备的构件过程中，晶圆需要通过机械手臂在晶圆承载区段、清洗工艺区段、晶圆干燥工艺区段、晶圆卸载工艺区段进行来回穿梭，实现将晶圆片或是装载批量晶圆片的晶圆盒上下货于指定的区段。机械手臂模组通过特定的安装方式安装于湿法处理设备的设备框架上，机械手臂长时间、高频率的使用过程中会经历多种运动行为例如晃动和振动，导致应力集中，进而产生不同方向的错位现象。机械手臂在运动的过程中如果有微量的偏移、偏转、震动、晃动等非预期的现象会对晶圆片夹持与传递过程产生影响，均会使得晶圆产品的表面产生非必要的损伤。故寻找一种高稳定性且减少运动行为造成偏移行为的安装配套方法在湿法设备工程中的应用是至关重要的。
技术实现思路
[0003]针对现有技术中存在的问题，本专利技术提供一种减少移动应力的机械手臂与湿法设备的安装结构，本专利技术能够。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]本专利技术提供一种减少移动应力的机械手臂与湿法设备的安装结构，包括设备框架、安装立板及机械手臂，所述安装立板固定安装于所述设备框架上，所述机械手臂滑动安装于所述安装立板上；
[0006]所述设备框架由中空的金属方钢焊接形成，所述金属方钢两个相对的侧壁均贯穿设置有安装孔，所述安装孔之间设置有安装柱，所述安装柱与所述设备框架固定连接，所述设备框架的一端沿其轴线方向设置有螺纹孔；
[0007]所述安装立板上贯穿设置有固定孔、应力分散孔、滑动轨道及齿条，所述滑动轨道、所述齿条沿所述安装立板的长度方向设置，所述固定孔与所述螺纹孔对应并通过安装螺栓固定；
[0008]所述机械手臂固定于安装座上，安装座的一侧固定有滑动块及滑移电机，所述滑动块与所述滑动轨道配合安装，所述滑移电机的输出端安装有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。
[0009]作为优选的技术方案，所述滑动轨道设置有2条，分别设置于所述安装立板高度1/10及9/10处，所述齿条设置于所述安装立板高度的2/3处。
[0010]作为优选的技术方案，所述固定孔为阶梯状孔，所述应力分散孔设置于所述安装孔的边缘，且对称分布于所述固定孔的上下两端。
[0011]作为优选的技术方案，所述安装柱由轴线重合的外柱体和内柱体组成，所述内柱体由所述外柱体的两端向外延伸出，所述内柱体的直径小于所述外柱体的直径，所述外柱
体的两端沿圆周方向设置有槽键沟，所述槽键沟为圆弧形，其内径等于所述内柱体的直径；所述安装孔包括前端安装孔与后端安装孔，所述前端安装孔的直径等于所述内柱体的直径，所述后端安装孔的直径等于所述外柱体的直径，所述前端安装孔、所述后端安装孔于边缘处设置有卡合块，所述卡合块为圆弧形，所述卡合块的内径等于所述内柱体的直径，所述卡合块的弧长小于所述槽键沟的弧长；所述前端安装孔处内柱体的端部与所述设备框架的表面齐平，所述后端安装孔处卡合块与所述槽键沟之间形成卡合间隙，所述卡合间隙处设置有封堵限位机构，所述封堵限位机构包括一体连接的封堵环及限位块，所述封堵环的内径等于所述内柱体的直径，外径等于所述外柱体的直径，所述限位块与所述卡合间隙相契合，所述封堵环与所述设备框架焊接连接。
[0012]作为优选的技术方案，所述槽键沟、所述卡合块均设置为2个，所述槽键沟沿所述外柱体的轴线对称设置。
[0013]作为优选的技术方案，所述卡合块的厚度等于所述槽键沟的深度，所述槽键沟、所述卡合块的两侧端面均为倾斜面。
[0014]作为优选的技术方案，所述固定孔为阶梯状孔，所述阶梯状孔的小孔直径等于所述螺纹孔的直径，大孔直径大于所述安装螺栓的头部直径。
[0015]作为优选的技术方案，所述机械手臂包括纵向升降机构、开合机构、第一夹持臂、第二夹持臂、第一夹持架及第二夹持架，所述升降机构的固定端安装于所述安装座的另一侧，所述开合机构安装于所述升降机构的输出端，所述开合机构连接所述第一夹持臂、所述第二夹持臂并带动所述第一夹持臂、所述第二夹持臂靠近或远离，所述第一夹持架安装于所述第一夹持臂上，所述第二夹持架安装于所述第二夹持臂上，所述第一夹持架、所述第二夹持架用于夹持晶圆盒。
[0016]作为优选的技术方案，所述纵向升降机构为升降气缸，所述升降气缸的底座安装于所述安装座上，所述升降气缸的输出轴端部安装有集成外壳，所述开合机构安装于所述集成外壳内。
[0017]作为优选的技术方案，所述开合机构包括第一安装块、第二安装块及间距调节块，所述第一夹持臂固定安装于所述第一安装块上，所述第二夹持臂固定安装于所述第二安装块上，所述集成外壳的底部设置有横向滑槽，所述第一安装块、所述第二安装块上分别设置有横向滑块，所述横向滑块配合安装于所述横向滑槽内，所述间距调节块设置于所述第一安装块与所述第二安装块之间，所述间距调节块的下方设置有纵向滑块，所述纵向滑块安装于滑块座上，所述间距调节块的下部设置有纵向滑槽，所述纵向滑槽与所述纵向滑块配合连接，所述间距调节块的宽度沿纵向呈一定斜率变化，所述间距调节块在调节气缸的驱动下沿所述纵向滑块的长度方向移动，所述第一安装块、所述第二安装块的上端面靠近所述间距调节块的一侧设置有滚动轮，所述第一安装块两侧的所述第一夹持臂上、所述第二安装块两侧的所述第二夹持臂上设置有导向块，所述导向块与所述滑块座之间设置有伸缩弹簧。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
[0019](1)本专利技术在设备框架内置入安装柱，由于设备骨架由空心的金属方钢组合而成，仅有2mm的螺纹，容易被机械手臂运动产生的应力破坏，造成无法观测的定位偏移。本专利技术将安装柱嵌入设备框架内，安装柱能够提供足够的强力与刚性，避免机械手臂在运动的过
程中发生晃动。
[0020](2)本专利技术的安装立板能够完整的贴合于设备框架上，安装立板上设置有应力分散孔与阶梯状的固定孔，可以分散安装立板上对应的应力，保证了安装强度。
[0021](3)本专利技术通过设置滑动轨道与齿条，为机械手臂的运动提供三段稳定的水平移动用的运动轨迹，齿条与两条滑动轨道之间的间距比为1:2，避免了机械手臂模组在水平方向移动过程中在Z轴方向产生偏转现象，解决了机械手臂在运动过程中存在潜在转动力矩的问题。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本专利技术机械手臂与湿法处理设备的安装结构示意图。
[0024]图2为本专利技术安装结构中安装柱的结构示意图。
[0025]图3为本专利技术安装结构中设备框架的结构示意图。
[002本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，其特征在于，包括设备框架、安装立板及机械手臂，所述安装立板固定安装于所述设备框架上，所述机械手臂滑动安装于所述安装立板上；所述设备框架由中空的金属方钢焊接形成，所述金属方钢两个相对的侧壁均贯穿设置有安装孔，所述安装孔之间设置有安装柱，所述安装柱与所述设备框架固定连接，所述设备框架的一端沿其轴线方向设置有螺纹孔；所述安装立板上贯穿设置有固定孔、应力分散孔、滑动轨道及齿条，所述滑动轨道、所述齿条沿所述安装立板的长度方向设置，所述固定孔与所述螺纹孔对应并通过安装螺栓固定；所述机械手臂固定于安装座上，安装座的一侧固定有滑动块及滑移电机，所述滑动块与所述滑动轨道配合安装，所述滑移电机的输出端安装有齿轮，所述齿轮与所述齿条啮合连接。2.如权利要求1所述的一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，其特征在于，所述滑动轨道设置有2条，分别设置于所述安装立板高度1/10及9/10处，所述齿条设置于所述安装立板高度的2/3处。3.如权利要求1所述的一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，其特征在于，所述应力分散孔设置于所述安装孔的边缘，且对称分布于所述固定孔的上下两端。4.如权利要求1所述的一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，其特征在于，所述安装柱由轴线重合的外柱体和内柱体组成，所述内柱体由所述外柱体的两端向外延伸出，所述内柱体的直径小于所述外柱体的直径，所述外柱体的两端沿圆周方向设置有槽键沟，所述槽键沟为圆弧形，其内径等于所述内柱体的直径；所述安装孔包括前端安装孔与后端安装孔，所述前端安装孔的直径等于所述内柱体的直径，所述后端安装孔的直径等于所述外柱体的直径，所述前端安装孔、所述后端安装孔于边缘处设置有卡合块，所述卡合块为圆弧形，所述卡合块的内径等于所述内柱体的直径，所述卡合块的弧长小于所述槽键沟的弧长；所述前端安装孔处内柱体的端部与所述设备框架的表面齐平，所述后端安装孔处卡合块与所述槽键沟之间形成卡合间隙，所述卡合间隙处设置有封堵限位机构，所述封堵限位机构包括一体连接的封堵环及限位块，所述封堵环的内径等于所述内柱体的直径，外径等于所述外柱体的直径，所述限位块与所述卡合间隙相契合，所述封堵环与所述设备框架焊接连接。5.如权利要求4所述的一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓信甫，许峯嘉，李志峰，徐铭，王雪松，
申请(专利权)人：江苏启微半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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