本发明专利技术涉及化学气相沉积加工装置技术领域，且公开了一种化学气相沉积管式炉实验装置，包括支撑架，所述支撑架的上部固定连接有侧挡板，所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体。该化学气相沉积管式炉实验装置，通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板，且限位板的上部为尖锐状，使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面，同时增加装置使用时，方便与气体进行流通的作用，同时转动侧挡板一侧的螺纹杆，使得可带动侧挡板前后移动，使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用，同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆，其中支撑杆活动套接在滑槽的内部，使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。置侧挡板移动的位置进行限定。置侧挡板移动的位置进行限定。
【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积管式炉实验装置
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积加工装置
，具体为一种化学气相沉积管式炉实验装置。
技术介绍
[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，为此针对在物块上进行覆膜时，研发出一种化学气相沉积管式炉实验装置，使得针对现有的化学气相沉积管式炉实验装置进行改进。
[0003]在现有的化学气相沉积管式炉实验装置中，存在在实验管式炉本体的内部放置物件时，存在需要将物件放置在装置的底部，当装置存在较高时，使得难以进行放置的现象；在使用时装置管式炉上密封盖的质量较重，在打开时存在难以移动的现象；在使用时，出现装置在物块放置过程中，存在物件常见支撑直接放置放置板上，使得存在放置时出现难以固定的现象。
技术实现思路
[0004]针对现有化学气相沉积管式炉实验装置的不足，本专利技术提供了一种化学气相沉积管式炉实验装置，具备方便带动装置管式炉上密封盖上下移动、方便对物块进行夹持和方便调节物块放置时的位置的优点，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本专利技术提供如下技术方案：一种化学气相沉积管式炉实验装置，包括支撑架，所述支撑架的上部固定连接有侧挡板，所述侧挡板内侧的下部安装有实验管式炉本体，所述侧挡板上部的中部活动套接有限位压板，所述限位压板的上部安装有紧固螺帽，所述侧挡板的上部固定连接有上支撑板，所述上支撑板的中部安装有螺套转动装置，所述螺套转动装置下部的内部螺纹固定套接有螺纹杆一，所述螺纹杆一的下部固定连接有管式炉上密封盖，所述上支撑板下部的一侧固定连接有夹套，所述夹套下部的内部活动套接有限位杆，所述管式炉上密封盖上部的一侧固定连接有气体流通管道，所述实验管式炉本体下部的一侧活动套接有转动柱，所述转动柱的上部固定连接有螺纹杆二，所述螺纹杆二的上部活动套接有螺纹杆固定板，所述螺纹杆二的中部螺纹固定套接有物块放置板，所述物块放置板上部的外侧固定连接有圆锥支撑柱，所述圆锥支撑柱的前端螺纹固定套接有侧挡板，所述侧挡板的下部固定连接有内部推动夹持板，所述物块放置板上端的中部固定连接有限位板，所述实验管式炉本体下壁的内部固定连接有加热防护外壳，所述加热防护外壳的内部固定连接有加热电阻，所述实验管式炉本体中部的下部固定连接有下部出气回收管道。
[0006]优选的，所述限位压板可围绕侧挡板转动三百六十度，所述限位压板的内侧安装有挡板，所述挡板放置在实验管式炉本体的上部，所述紧固螺帽与侧挡板之间相互螺纹固定套接，所述实验管式炉本体的外部等间距位置安装有四个侧挡板。
[0007]优选的，所述螺套转动装置的上部安装有电机，所述电机固定在上支撑板上部的
中部，所述螺套转动装置下部的内部成空心状，所述螺套转动装置的内部开设有螺纹，所述管式炉上密封盖与实验管式炉本体的上部相互重合。
[0008]优选的，所述实验管式炉本体的上部挡板，所述限位压板的一侧固定在实验管式炉本体一侧挡板和管式炉上密封盖下部之间。
[0009]优选的，所述限位杆的下部固定在管式炉上密封盖的上部，所述管式炉上密封盖的上部安装有四个限位杆。
[0010]优选的，所述管式炉上密封盖的上部安装有四个气体流通管道，所述气体流通管道的上部分别连接有不同气体，所述下部出气回收管道的下部安装有相应的气体回收装置。
[0011]优选的，所述螺纹杆二的外部设有螺纹，所述实验管式炉本体内部的两侧各安装有一个转动柱，所述转动柱与实验管式炉本体接触的位置安装有密封垫，所述螺纹杆固定板的上部固定在实验管式炉本体的内部。
[0012]优选的，所述限位板成圆锥状，所述物块放置板上部的中部安装有多个限位板，所述侧挡板的一侧活动套接有螺纹杆，所述螺纹杆与圆锥支撑柱之间相互螺纹固定套接，所述内部推动夹持板的下部的端部安装有支撑杆，所述支撑杆的下部活动套接在物块放置板下部开设凹槽的内部。
[0013]优选的，所述加热电阻的另一侧连接在电路上，所述加热防护外壳分别活动套接在加热电阻的外部，所述加热防护外壳的上部均匀开设有小孔。
[0014]与现有化学气相沉积管式炉实验装置对比，本专利技术具备以下有益效果：
[0015]1、该化学气相沉积管式炉实验装置，通过将转动柱活动套接在实验管式炉本体下部的两侧，同时在转动柱的上部固定连接有螺纹杆二，且在螺纹杆二的上部活动套接螺纹杆固定板，使用时，装置螺纹杆固定板对螺纹杆二的位置进行限定，同时在螺纹杆二的外部螺纹固定套接有物块放置板，使用时，通过转动转动柱，即可带动螺纹杆二与物块放置板之间进行螺纹运动，使得方便将物块放置板上下移动，使得起到方便将物块放置在物块放置板的上部。
[0016]2、该化学气相沉积管式炉实验装置，通过在物块放置板上部的中部安装有对个限位板，且限位板的上部为尖锐状，使得方便降低限位板与物块底部之间的接触面，同时增加装置使用时，方便与气体进行流通的作用，同时转动侧挡板一侧的螺纹杆，使得可带动侧挡板前后移动，使得方便带动侧挡板对物块进行夹持固定的作用，同时装置内部推动夹持板的下部安装有支撑杆，其中支撑杆活动套接在滑槽的内部，使得起到对装置侧挡板移动的位置进行限定。
[0017]3、该化学气相沉积管式炉实验装置，通过启动螺套转动装置上部的电机，使得可带动螺套转动装置夹套进行转动，使得可带动螺套转动装置的下部与螺纹杆一之间进行螺纹运动，为此可带动装置管式炉上密封盖向上提升，防止出现装置管式炉上密封盖的质量较重使得难以将其打开，使得对实验管式炉本体内部的需要进行化学气相沉积的物件进行放置和拿取的作用。
附图说明
[0018]图1为本专利技术结构主体示意图；
[0019]图2为本专利技术结构剖视示意图；
[0020]图3为本专利技术结构局部放大示意图。
[0021]图中：1、支撑架；2、侧挡板；3、实验管式炉本体；4、限位压板；5、紧固螺帽；6、上支撑板；7、螺套转动装置；8、螺纹杆一；9、管式炉上密封盖；10、夹套；11、限位杆；12、气体流通管道；13、转动柱；14、螺纹杆二；15、螺纹杆固定板；16、物块放置板；17、圆锥支撑柱；18、侧挡板；19、内部推动夹持板；20、限位板；21、加热防护外壳；22、加热电阻；23、下部出气回收管道。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]请参阅图1-3，一种化学气相沉积管式炉实验装置，包括支撑架1，支撑架1的上部固定连接有侧挡板2，侧挡板2内侧的下部安装有实验管式炉本体3，侧挡板2上部的中部活动套接有限位压板4，限位压板4的上部安装有紧固螺帽5，侧挡板2的上部固定连接有上支撑板6，上支撑板6的中部安装有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积管式炉实验装置，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)的上部固定连接有侧挡板(2)，所述侧挡板(2)内侧的下部安装有实验管式炉本体(3)，所述侧挡板(2)上部的中部活动套接有限位压板(4)，所述限位压板(4)的上部安装有紧固螺帽(5)，所述侧挡板(2)的上部固定连接有上支撑板(6)，所述上支撑板(6)的中部安装有螺套转动装置(7)，所述螺套转动装置(7)下部的内部螺纹固定套接有螺纹杆一(8)，所述螺纹杆一(8)的下部固定连接有管式炉上密封盖(9)，所述上支撑板(6)下部的一侧固定连接有夹套(10)，所述夹套(10)下部的内部活动套接有限位杆(11)，所述管式炉上密封盖(9)上部的一侧固定连接有气体流通管道(12)，所述实验管式炉本体(3)下部的一侧活动套接有转动柱(13)，所述转动柱(13)的上部固定连接有螺纹杆二(14)，所述螺纹杆二(14)的上部活动套接有螺纹杆固定板(15)，所述螺纹杆二(14)的中部螺纹固定套接有物块放置板(16)，所述物块放置板(16)上部的外侧固定连接有圆锥支撑柱(17)，所述圆锥支撑柱(17)的前端螺纹固定套接有侧挡板(18)，所述侧挡板(18)的下部固定连接有内部推动夹持板(19)，所述物块放置板(16)上端的中部固定连接有限位板(20)，所述实验管式炉本体(3)下壁的内部固定连接有加热防护外壳(21)，所述加热防护外壳(21)的内部固定连接有加热电阻(22)，所述实验管式炉本体(3)中部的下部固定连接有下部出气回收管道(23)。2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积管式炉实验装置，其特征在于：所述限位压板(4)可围绕侧挡板(2)转动三百六十度，所述限位压板(4)的内侧安装有挡板，所述挡板放置在实验管式炉本体(3)的上部，所述紧固螺帽(5)与侧挡板(2)之间相互螺纹固定套接，所述实验管式炉本体(3)的外部等间距位置安装有四个侧挡板(2)。3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积管式炉实验装置，其特征在于：所述螺套转动装置(7)的...
【专利技术属性】
技术研发人员：于彦龙，朱晶，孙宏宇，王俊，于翠艳，许涛，
申请(专利权)人：东北石油大学，
类型：发明
国别省市：
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