用于制造液晶显示器件的方法和装置制造方法及图纸

一种液晶显示器件具有介于第一和第二衬底之间并由周边密封剂围绕的液晶。把液晶滴注到第一衬底上由第一衬底的密封剂限定的区域中。在真空室中在压力作用下把第一衬底和第二衬底接合或粘合在一起。然后在保持第一衬底和第二衬底受压的同时，把该室暴露于大气。然后解除该压力，之后把光照射到周边密封剂上。真空室包括用于支持衬底的顶面板和底面板。顶面板和底面板包括静电卡盘和在卡盘中提供的真空吸力通道。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示器件的制造方法和装置。
技术介绍
液晶显示器件包括第一衬底和第二衬底，和夹在两个衬底之间的液晶。第一和第二衬底中的一个例如是一个支持TFT的TFT衬底，另一个衬底是一个支持滤色器的滤色器衬底。第一衬底利用由可光致固化的密封材料构成的周边密封剂形成，在把第一和第二衬底接合在一起后，通过照射紫外光使周边密封剂固着。液晶被布置在由周边密封剂围绕的区域中。在制造液晶显示器件的该常规方法中，在周边密封剂中形成一个注入孔，并且在把第一和第二衬底接合在一起后，在一个真空室中通过周边密封剂中形成的注入孔把液晶注入。然后，封闭周边密封剂的注入孔，并把包括第一和第二衬底的液晶板从真空室取出，按压周边密封剂以形成一个适当的单元间隙。通过紫外光的照射使周边密封剂固着。日本未审专利公开No.8-190099和No.2000-66163公开了一种制造液晶显示器件的方法，称为滴注法。在滴注法中，在第一衬底上形成周边密封剂，并把液晶滴到该衬底上。然后，在一个真空室中在压力作用下把第一衬底和第二衬底接合在一起。然后，解除对第一和第二衬底的压力，使第一和第二衬底暴露于大气压力中。通过紫外光的照射，使周边密封剂固着。根据滴注法，缩短了制造过程，并且减少了液晶显示器件的制造成本。在滴注法中，在一个真空室中在压力作用下把第一衬底和第二衬底接合在一起。为此目的，在真空室中，第一衬底和第二衬底由各自的支持部件支持。这些支持部件称为顶面板和底面板。把其上滴注了液晶的第一衬底固定到底面板，而把第二衬底固定到顶面板。顶面板是可移动的，并且通过把顶面板向底面板移动，可以在真空室中在压力作用下把第一衬底和第二衬底接合在一起。第一衬底和第二衬底通过静电卡盘分别被固定到顶面板和底面板上。静电卡盘通常用作一个用于在半导体制造工艺中固定一个衬底的装置。但是，静电卡盘有时不能产生足够的吸力以吸住玻璃衬底(作为一个用作液晶显示器件的衬底)。例如，除非玻璃衬底的表面与静电卡盘的表面紧密接触，静电卡盘可能不能充分地固定玻璃衬底。鉴于这种情况，已经尝试通过同时使用静电卡盘的吸力和真空吸力来把玻璃衬底充分地固定在顶面板和底面板上。在同时使用利用静电吸力固定玻璃衬底的装置和利用真空吸力固定玻璃衬底的装置时，在真空环境中按压第一衬底和第二衬底并使它们相互连接，在真空室中把顶面板从底面板移开以便解除压力，然后把真空室暴露于大气。但是，当在真空室中解除施加到衬底上的压力的情况下，周边密封剂可能在除去压缩力时从压缩状态扩张，结果使周边密封剂具有不规则形状，从而导致液晶泄漏或间隙失败的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种制造液晶显示器件的方法和装置，其中当把衬底接合在一起时可以适当地固定衬底。根据本专利技术，提供一种制造液晶显示器件的方法，该液晶显示器件包括第一和第二衬底、夹在第一和第二衬底之间的液晶、和布置在第一和第二衬底之间以围绕液晶的密封剂，该方法包括以下步骤在第一衬底上形成密封剂，把液晶滴注到第一衬底上的、由第一衬底的密封剂限定的区域内，在真空室中在压力作用下把第一和第二衬底接合在一起，在保持第一和第二衬底受压的同时把真空室暴露于大气，并在解除对第一和第二衬底的压力后固着密封剂。而且，根据本专利技术；提供一种制造液晶显示器件的装置，包括一个室，可以向其中引入真空和大气压；在该室中的第一支持部件，支持第一衬底，第一衬底上形成有密封剂并且在由密封剂限定的区域中滴注了液晶；在该室中的第二支持部件，支持第二衬底；静电卡盘，布置在第一和第二支持部件中的至少一个中；真空吸力通道，布置在静电卡盘中，用于把一个相应衬底固定到一个相应支持部件上；真空吸力管路，用于把真空提供到真空吸力通道中；连通管路，用于把所述真空吸力通道连通到该室的内部。在上述结构中，在真空室中把第一衬底和第二衬底接合在一起之后，在保持受压的同时把它们暴露于大气。因此，迄今为止施加到衬底上的压力可以在大气中解除，从而消除周边密封剂的形状的不规则性。附图说明通过以下参考附图对优选实施例的说明，可以对本专利技术有更清楚的理解，在附图中图1是显示根据本专利技术实施例的液晶显示器件的一个衬底的透视图；图2是示意性显示包括图1的衬底的液晶显示器件的剖视图；图3是显示根据本专利技术的制造液晶显示器件的方法和装置的剖视图；图4是显示图3的制造装置的剖视图，其中图3中的上壳体向下壳体移动；图5是显示图4的制造装置的剖视图，其中图4中的顶面板向底面板移动；图6是显示具有不规则形状的周边密封剂的例子的图；以及图7是显示静电卡盘的另一个例子的图。具体实施例方式下面参考附图对本专利技术的实施例进行说明。图1是显示根据本专利技术实施例的液晶显示器件的一个衬底的透视图；图2是示意性显示包括图1所示的衬底的液晶显示器件的剖视图。在图2中，液晶显示器件10包括第一和第二衬底12和14，夹在第一和第二衬底12和14之间的液晶16，和布置在第一和第二衬底12和14之间以围绕液晶16的密封剂(周边密封剂)18。液晶显示器件10是一种有源矩阵型器件，并且其中一个衬底是在其上形成有TFT的TFT衬底，另一个衬底是在其上形成有滤色器的滤色器衬底。液晶显示器件10由滴注法制造。在图1中，从一个滴注器(dispenser)20以液滴的形式把液晶16滴注到第二衬底14上。滴注器20在图1所示箭头方向移动的同时把液晶16排出到由周边密封剂18限定的区域中。形成周边密封剂18的密封材料由可UV固化的粘合树脂或适于通过UV和热的组合使用来固着的粘合树脂制成。把这种密封材料施加到第二衬底14上，然后固着。第一衬底12涂覆有粘性间隔层(adhesive spacers)，该粘性间隔层由涂覆有粘结剂的间隔层构成。通过提供柱(posts)代替间隔层，可以消除间隔层喷涂过程。图3是显示根据本专利技术的用于制造液晶显示器件的方法和装置的剖视图。图4是显示图3的制造装置的剖视图，其中图3中的上壳体向下壳体移动，图5是显示图4的制造装置的剖视图，其中图4中的顶面板向底面板移动。在图3到5中，制造液晶显示器件的装置22包括室24。室24包括一个可移动上壳体26和一个固定的下壳体28。一个垫料(30)介于上壳体26和下壳体28之间，并且室24的内部32形成一个密封空间。室24具有一个连接到真空泵34的用于引入真空的真空通道36和一个用于引入大气压的清除通道40。真空通道36中设置一个阀38，清除通道40中设置一个阀42。清除通道40适于把诸如氮的 惰性气体引入室24。底面板44被设置在下壳体28中，并支持第二衬底14，其中在第二衬底14上形成有周边密封剂18并且在由周边密封剂18限定的区域中滴注了液晶16。底面板44包括一个静电卡盘46，静电卡盘46包括真空吸力通道48。静电卡盘46包括一个公知的电极(未示出)，并且通过向电极施加电源所产生的静电力把设置在静电卡盘46上的第二衬底14固定到静电卡盘46上。真空吸力通道48连通到静电卡盘46的表面，并且通过从真空源提供的真空力把布置在静电卡盘46上的第二衬底14固定到静电卡盘46上。顶面板50可移动地布置在上壳体26中，并支持第一衬底12。顶面板50包括一个静电卡盘52，静电卡盘包括真空吸力通道54。静电卡盘52具有一个公知的电极(未示出)，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造液晶显示器件的方法，该液晶显示器件包括第一和第二衬底、介于所述第一和第二衬底之间的液晶、和布置在所述第一和第二衬底之间以围绕所述液晶的密封剂，所述方法包括以下步骤： 在所述第一衬底上布置密封剂； 把液晶滴注到所述第一衬底上由所述第一衬底的密封剂限定的区域中； 在真空室中在压力作用下把所述第一和第二衬底接合在一起； 在保持所述第一和第二衬底受压的同时，把所述真空室暴露于大气；以及 在去除施加到所述第一和第二衬底上的压力后，固着所述密封剂。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村田聪，杉村宏幸，中山德道，
申请(专利权)人：富士通显示技术株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]