一种溅射镀膜抽真空防震系统技术方案

为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，需要使用多个真空泵进行抽真空处理，多个真空泵通过管道连接的抽真空气路会产生强烈震动，导致真空泵连接的管道与真空泵之间松动而使得腔体抽真空需要花费时间的变长，生产效率低的问题，本实用新型专利技术提出一种溅射镀膜抽真空防震系统，通过在扩散泵和罗茨泵之间的管道上增设一个波纹补偿器，使得补偿管道的热位移，机械变形和吸收各种机械振动，起到降低管道变形应力和提高管道使用寿命的作用；通过在罗茨泵和旋片泵之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料，有效的减少管道震动的频率，防止管道与罗茨泵和旋片泵连接口产生松动。管道与罗茨泵和旋片泵连接口产生松动。管道与罗茨泵和旋片泵连接口产生松动。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜抽真空防震系统


[0001]本技术涉及溅射镀膜
，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜抽真空防震系统。

技术介绍

[0002]目前，真空磁控溅射镀膜机将塑料或金属等表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的上料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。
[0003]真空镀膜设备由真空设备和抽真空系统两大部分组成，而抽真空系统主要利用扩散泵作为主泵达到抽真空的目的，真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，需要使用多个真空泵进行抽真空处理，多个真空泵通过管道连接的抽真空气路会产生强烈震动，导致真空泵连接的管道与真空泵之间松动而使得腔体抽真空需要花费时间的变长，生产效率低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，需要使用多个真空泵进行抽真空处理，多个真空泵通过管道连接的抽真空气路会产生强烈震动，导致真空泵连接的管道与真空泵之间松动而使得腔体抽真空需要花费时间的变长，生产效率低的问题，本技术提出一种溅射镀膜抽真空防震系统，通过在扩散泵5和罗茨泵4之间的管道上增设一个波纹补偿器10，使得补偿管道的热位移，机械变形和吸收各种机械振动，起到降低管道变形应力和提高管道使用寿命的作用；通过在罗茨泵4和旋片泵3之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料9，有效的减少管道震动的频率，防止管道与罗茨泵4和旋片泵3连接口产生松动。
[0005]一种溅射镀膜抽真空防震系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，真空检测机构包括第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8，所述第一真空规6设置在真空室2与扩散泵5连接的管道上，第二真空规7设置在罗茨泵4和扩散泵5之间的管道上，第三真空规8设置在旋片泵3和罗茨泵4连接的管道上，所述扩散泵5、罗茨泵4和旋片泵3分别与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制，所述第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8分别与PLC控制系统1的信号输入端连接，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5通过管道顺序连接与真空室2之间形成一条由泵体通向真空室2的抽真空气路，所述扩散泵5和罗茨泵4之间的管道上设有波纹补偿器10，罗茨泵4和旋片泵3之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料9。
[0006]进一步的，波纹补偿器10与管道的连接方式为法兰连接和焊接中的一种。
[0007]进一步的，管道减震材料9包括：橡胶、海绵和隔声毡中的一种。
[0008]进一步的，管道减震材料9外设有数圈铁箍，通过铁箍使得管道减震材料9包裹在
管道外壁。
[0009]进一步的，罗茨泵4和旋片泵3之间的管道上设置有第一阀门11。
[0010]进一步的，旋片泵3上端设置有放气管14，放气管14上安装有放气阀15。
[0011]进一步的，罗茨泵4与扩散泵5的管道上设定第二阀门12。
[0012]进一步的，真空室2与扩散泵5的管道上设定第三阀门13。
[0013]进一步的，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均为电动阀，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均与控制系统电性连接受控制系统控制。
[0014]本技术的有益效果：本技术提出一种溅射镀膜抽真空防震系统，通过在扩散泵5和罗茨泵4之间的管道上增设一个波纹补偿器10，使得补偿管道的热位移，机械变形和吸收各种机械振动，起到降低管道变形应力和提高管道使用寿命的作用；通过在罗茨泵4和旋片泵3之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料9，有效的减少管道震动的频率，防止管道与罗茨泵4和旋片泵3连接口产生松动。
附图说明
[0015]图1为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的系统结构示意图。
[0016]图2为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的结构示意图。
[0017]图3为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的波纹补偿器的结构示意图。
[0018]图4为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的管道减震材料的结构示意图。
[0019]主要元件符号说明
[0020]PLC控制系统1真空室2旋片泵3罗茨泵4扩散泵5第一真空规6第二真空规7第三真空规8管道减震材料9波纹补偿器10第一阀门11第二阀门12第三阀门13放气管14放气阀15
[0021]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0022]如图1所示，为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的系统结构示意图；如图2所示，为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的结构示意图；如图3所示，为本技术
的溅射镀膜抽真空防震系统的波纹补偿器的结构示意图；如图4所示，为本技术的溅射镀膜抽真空防震系统的管道减震材料的结构示意图。
[0023]一种溅射镀膜抽真空防震系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，真空检测机构包括第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8，所述第一真空规6设置在真空室2与扩散泵5连接的管道上，第二真空规7设置在罗茨泵4和扩散泵5之间的管道上，第三真空规8设置在旋片泵3和罗茨泵4连接的管道上，所述扩散泵5、罗茨泵4和旋片泵3分别与PLC控制系统1电性连接受PLC控制系统1控制，所述第一真空规6、第二真空规7和第三真空规8分别与PLC控制系统1的信号输入端连接，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5，所述旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5通过管道顺序连接与真空室2之间形成一条由泵体通向真空室2的抽真空气路，所述扩散泵5和罗茨泵4之间的管道上设有波纹补偿器10，罗茨泵4和旋片泵3之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料9。
[0024]所述波纹补偿器10与管道的连接方式为法兰连接和焊接中的一种。
[0025]所述管道减震材料9包括：橡胶、海绵和隔声毡中的一种。
[0026]所述管道减震材料9外设有数圈铁箍，通过铁箍使得管道减震材料9包裹在管道外壁。
[0027]所述罗茨泵4和旋片泵3之间的管道上设置有第一阀门11。
[0028]所述旋片泵3上端设置有放气管14，放气管14上安装有放气阀15。
[0029]所述罗茨泵4与扩散泵5的管道上设定第二阀门12。
[0030]所述真空室2与扩散泵5的管道上设定第三阀门13。
[0031]所述第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均为电动阀，第一阀门11、第二阀门12和第三阀门13均与控制系统电性连接受控制系统控制。
[0032]本技术的有益效果：本技术提出一种溅射镀膜抽真空防震系统，通过在扩散泵5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜抽真空防震系统，包括真空室(2)、通过管道与真空室(2)连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统(1)；其特征在于：所述抽真空机构包括旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)，真空检测机构包括第一真空规(6)、第二真空规(7)和第三真空规(8)，所述第一真空规(6)设置在真空室(2)与扩散泵(5)连接的管道上，第二真空规(7)设置在罗茨泵(4)和扩散泵(5)之间的管道上，第三真空规(8)设置在旋片泵(3)和罗茨泵(4)连接的管道上，所述扩散泵(5)、罗茨泵(4)和旋片泵(3)分别与PLC控制系统(1)电性连接受PLC控制系统(1)控制，所述第一真空规(6)、第二真空规(7)和第三真空规(8)分别与PLC控制系统(1)的信号输入端连接，所述旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)，所述旋片泵(3)、罗茨泵(4)和扩散泵(5)通过管道顺序连接与真空室(2)之间形成一条由泵体通向真空室(2)的抽真空气路，所述扩散泵(5)和罗茨泵(4)之间的管道上设有波纹补偿器(10)，罗茨泵(4)和旋片泵(3)之间的管道外壁包裹一圈管道减震材料(9)。2.如权利要求1所述的溅射镀膜抽真空防震系统，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：舒本钢，向阳，李永洲，韩阳，张海军，李均平，
申请(专利权)人：苏州锐世讯光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：