一种防结露的低温磁场探测台制造技术

一种防结露的低温磁场探测台，包括工作台，所述工作台上设有磁场探针主体，所述磁场探针主体顶部设有封盖显微镜，所述磁场探针主体侧面设有探针滑座，所述探针滑座上设有探针螺纹杆，所述探针螺纹杆上套接有探针块，所述工作台内设有驱动机构，所述驱动机构与所述探针螺纹杆连接；所述工作台下方设有支撑板，所述支撑板上设有防结露机构和降温机构且通过通道与所述磁场探针主体连接，所述通道与所述磁场探针主体之间设有封闭机构，所述封闭机构内设有温度传感器；所述防结露机构在所述支撑板上设有防结露盒。本实用新型专利技术通过防结露机构和降温机构协同保持低温的同时，避免磁场探针主体内出现结露或结霜的情况，提高探测的精准度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种防结露的低温磁场探测台


[0001]本技术涉及检测设备
，尤其涉及一种防结露的低温磁场探测台。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
[0003]低温磁场探测台可以对器件进行非破坏性的测试，可以对材料或器件的电学特性、光电特性等效应进行测量，为DC测量RF测量和微波特性测量提供一个低温测试平台。纳米电子材料、量子线、量子点和半导体材料是在探针台上进行测量的比较典型的材料。探针台系统的探针、测试电缆、样品台都有多种类型可供选择，从而满足不同用户的需要。
[0004]现有技术中，低温磁场探测台一般采用液氮进行降温以实现降温的效果。但是液氮容易快速降温，会使得空气中的水分在设备表面结露甚至结霜，会对设备造成一定的损伤，也会对探测结果造成一定的影响。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术的缺点，而提出了一种防结露的低温磁场探测台。
[0006]一种防结露的低温磁场探测台，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设有磁场探针主体，所述磁场探针主体顶部设有封盖显微镜，所述磁场探针主体侧面设有探针滑座，所述探针滑座上设有探针螺纹杆，所述探针螺纹杆上套接有探针块，所述工作台内设有驱动机构，所述驱动机构与所述探针螺纹杆连接；
[0007]所述工作台下方设有支撑板，所述支撑板上设有防结露机构和降温机构，所述防结露机构和所述降温机构通过通道与所述磁场探针主体连接，所述通道与所述磁场探针主体之间设有封闭机构，所述封闭机构内设有温度传感器；
[0008]所述防结露机构在所述支撑板上设有防结露盒，所述防结露盒内一侧设有进风口且另一侧与所述通道连接，所述防结露盒内设有吸水板、第一风扇和加热丝；
[0009]所述降温机构在所述支撑板上设有降温盒，所述降温盒侧面与所述通道连接，所述降温盒内设有液氮抽盒和第二风扇；
[0010]所述封闭机构设在所述工作台内且设有封闭盒，所述封闭盒内设有封闭滑槽，所述封闭滑槽内设有封闭板，所述封闭板两侧穿有封闭螺纹杆，所述封闭螺纹杆端部穿出所述封闭滑槽，所述螺纹杆旁设有封闭电机，所述封闭电机和所述封闭螺纹杆上设有封闭齿轮，所述封闭齿轮啮合。
[0011]优选的，所述驱动机构设有蜗杆，所述蜗杆端部和所述探针螺纹杆端部设有探针传动轮，所述探针传动轮通过传送带连接，所述蜗杆旁商设有驱动电机，所述驱动电机和所述蜗杆设有驱动齿轮且所述驱动齿轮啮合。
[0012]优选的，所述磁场探针主体旁设有支架杆，所述支架杆上设有固定滑块，所述固定滑块与所述封盖显微镜连接。
[0013]优选的，所述探针滑座设有四个且相对两个为一组，每组所述探针滑座上设有的探针螺纹杆的螺纹对称。
[0014]优选的，所述封闭螺纹杆上设有对称的螺纹段。
[0015]优选的，所述防结露盒的所述进风口设有滤网，所述液氮抽盒为抽屉式结构且侧面设有通孔。
[0016]优选的，所述蜗杆设有两个且相互垂直啮合。
[0017]优选的，所述通道直径小于所述封闭板长度，所述封闭滑槽宽度大于所述通道直径。
[0018]优选的，所述通道为Y型且倒置放置，所述通道的分支分别于所述防结露机构和所述降温机构连接。
[0019]本技术的有益效果是:
[0020]通过防结露机构和降温机构协同保持低温的同时，避免磁场探针主体内出现结露或结霜的情况，提高探测的精准度；封闭机构进一步保证磁场探针主体内部出现温度过低出现结露或结霜，当封闭机构上的温度传感器检测温度低于所需温度，封闭电机通电控制封闭版相向运动闭合，隔断通道。
附图说明
[0021]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一同用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0022]图1为本技术结构示意图一；
[0023]图2为本技术结构示意图二；
[0024]图3为封闭机构俯视结构示意图；
[0025]图4为图2中圈A放大示意图；
[0026]图5为图2中圈B放大示意图；
[0027]图中标记为：1-工作台，2-磁场探针主体，3-封盖显微镜，4-支架杆，5
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固定滑块，6-探针块，7-探针滑座，8-探针螺纹杆，9-探针传动轮，10-传送带， 11-蜗杆，12-驱动齿轮，13-驱动电机，14-支撑板，15-防结露机构，16-降温机构，17-封闭机构，18-通道，19-封闭盒，20-封闭滑槽，21-封闭螺纹杆，22
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封闭齿轮，23-封闭电机，24-封闭板，25-防结露盒，26-进风口，27-吸水板， 28-第一风扇，29-加热丝，30-降温盒，31-液氮抽盒，32-第二风扇，33-温度传感器。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0029]根据图1至图5所示，一种防结露的低温磁场探测台包括工作台1，工作台 1上设有磁场探针主体2，磁场探针主体2顶部设有封盖显微镜3，磁场探针主体2侧面设有探针滑座
7，探针滑座7上设有探针螺纹杆8，探针螺纹杆8上套接有探针块6，工作台1内设有驱动机构，驱动机构与探针螺纹杆8连接。驱动机构设有蜗杆11，蜗杆11端部和探针螺纹杆8端部设有探针传动轮9，探针传动轮9通过传送带10连接，蜗杆11旁商设有驱动电机13，驱动电机13和蜗杆 11设有驱动齿轮12且驱动齿轮12啮合。
[0030]磁场探针主体2旁设有支架杆4，支架杆4上设有固定滑块5，固定滑块5 与封盖显微镜3连接。
[0031]工作台1下方设有支撑板14，支撑板14上设有防结露机构15和降温机构 16，防结露机构15和降温机构16通过通道18与磁场探针主体2连接，通道18 与磁场探针主体2之间设有封闭机构17，封闭机构17内设有温度传感器33。
[0032]防结露机构15在支撑板14上设有防结露盒25，防结露盒25内一侧设有进风口26且另一侧与通道18连接，防结露盒25内设有吸水板27、第一风扇28 和加热丝29。
[0033]降温机构16在支撑板14上设有降温盒30，降温盒30侧面与通道18连接，降温盒30内设有液氮抽盒31和第二风扇32。
[0034]封闭机构17设在工作台1内且设有封闭盒19，封闭盒19内设有封闭滑槽 20，封闭滑槽20内设有封闭板24，封闭板24两侧穿有封闭螺纹杆21，封闭螺纹杆21端部穿出封闭滑槽20，螺纹杆旁设有封闭电机23，封闭电机23和封闭螺纹杆21上设有封闭齿轮22，封闭齿轮22啮合。
[0035]工作原理：将样品放入磁场探针本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防结露的低温磁场探测台，其特征在于，包括工作台，所述工作台上设有磁场探针主体，所述磁场探针主体顶部设有封盖显微镜，所述磁场探针主体侧面设有探针滑座，所述探针滑座上设有探针螺纹杆，所述探针螺纹杆上套接有探针块，所述工作台内设有驱动机构，所述驱动机构与所述探针螺纹杆连接；所述工作台下方设有支撑板，所述支撑板上设有防结露机构和降温机构，所述防结露机构和所述降温机构通过通道与所述磁场探针主体连接，所述通道与所述磁场探针主体之间设有封闭机构，所述封闭机构内设有温度传感器；所述防结露机构在所述支撑板上设有防结露盒，所述防结露盒内一侧设有进风口且另一侧与所述通道连接，所述防结露盒内设有吸水板、第一风扇和加热丝；所述降温机构在所述支撑板上设有降温盒，所述降温盒侧面与所述通道连接，所述降温盒内设有液氮抽盒和第二风扇；所述封闭机构设在所述工作台内且设有封闭盒，所述封闭盒内设有封闭滑槽，所述封闭滑槽内设有封闭板，所述封闭板两侧穿有封闭螺纹杆，所述封闭螺纹杆端部穿出所述封闭滑槽，所述螺纹杆旁设有封闭电机，所述封闭电机和所述封闭螺纹杆上设有封闭齿轮，所述封闭齿轮啮合。2.根据权利要求1所述的一种防结露的低温磁场探测台，其特征在于，所述驱动机构设有蜗杆，所述蜗杆端部和...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘卫滨，
申请(专利权)人：北京东方晨景科技有限公司，
类型：新型
国别省市：