一种横式扩散炉制造技术

本实用新型专利技术涉及扩散炉技术领域，且公开了一种横式扩散炉，解决了一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装的问题，其包括底座，所述底座的内部对称开设有滑槽；本实用新型专利技术，通过设置的螺杆、齿轮、齿条和滑块等的配合使用，当需要调节滚轮的位置时，首先转动转杆，转杆带动螺杆转动，螺杆通过螺纹的方式带动两个齿轮同时转动，齿轮通过啮合的方式带动两个齿条相向运动，两个齿条带动滑块在滑槽内滑动，滑块通过连接块带动支座上的滚轮移动，使两个滚轮相向运动，运动到适合的距离后停止即可，然后即可将炉体安装在滚轮顶端，从而能够对不同尺寸的炉体进行安装，应用范围较广。应用范围较广。应用范围较广。

【技术实现步骤摘要】
一种横式扩散炉


[0001]本技术属于扩散炉
，具体为一种横式扩散炉。

技术介绍

[0002]扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
[0003]一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装，操作较为繁琐。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种横式扩散炉，有效的解决了一般的横式扩散炉在安装时，由于不同扩散炉的尺寸不同，故需要特定的底座进行安装，操作较为繁琐的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种横式扩散炉，包括底座，所述底座的内部对称开设有滑槽，滑槽的中心处转动安装有齿轮，齿轮上对称啮合连接有齿条，齿条的一端固定连接有滑块，滑块滑动安装于滑槽内部，滑块的顶端固定连接有连接块，连接块的顶端固定连接有支座，支座的顶端转动连接有滚轮，滚轮的顶端安装有炉体，底座的内部还开设有通槽，通槽的内部安装有驱动机构。
[0006]优选的，所述驱动机构包括螺杆，螺杆转动安装于通槽的内部，螺杆与对应的齿轮啮合连接。
[0007]优选的，所述螺杆的两端均固定连接有转杆，转杆上套接有防滑套。
[0008]优选的，所述底座的四个边角处均固定连接有固定块，固定块的中部开设有安装孔。
[0009]优选的，所述滑块的内部开设有通孔，通孔的尺寸与齿条的尺寸相匹配。
[0010]优选的，所述通槽位于滑槽的顶端，且通槽与滑槽相对垂直设置。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]在工作中，通过设置的螺杆、齿轮、齿条和滑块等的配合使用，当需要调节滚轮的位置时，首先转动转杆，转杆带动螺杆转动，螺杆通过螺纹的方式带动两个齿轮同时转动，齿轮通过啮合的方式带动两个齿条相向运动，两个齿条带动滑块在滑槽内滑动，滑块通过连接块带动支座上的滚轮移动，使两个滚轮相向运动，运动到适合的距离后停止即可，然后即可将炉体安装在滚轮顶端，从而能够对不同尺寸的炉体进行安装，操作简单，应用范围较广。
附图说明
[0013]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0014]图1为本技术的结构示意图；
[0015]图2为本技术的内部结构示意图；
[0016]图3为本技术的螺杆安装结构示意图；
[0017]图4为本技术的滑块内部结构示意图；
[0018]图中：1、底座；2、滑槽；3、齿轮；4、齿条；5、滑块；6、连接块；7、支座；8、滚轮；9、炉体；10、螺杆；11、转杆；12、通槽；13、固定块；14、安装孔；15、通孔。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例一，由图1、图2、图3和图4给出，本技术包括底座1，底座1的内部对称开设有滑槽2，滑槽2的中心处转动安装有齿轮3，齿轮3上对称啮合连接有齿条4，能够通过齿轮3带动齿条4运动，齿条4的一端固定连接有滑块5，滑块5滑动安装于滑槽2内部，滑块5的顶端固定连接有连接块6，连接块6的顶端固定连接有支座7，支座7的顶端转动连接有滚轮8，滚轮8的顶端安装有炉体9，便于对炉体9进行支撑，底座1的内部还开设有通槽12，通槽12的内部安装有驱动机构，能够通过驱动机构带动齿轮3转动。
[0021]实施例二，在实施例一的基础上，驱动机构包括螺杆10，螺杆10转动安装于通槽12的内部，螺杆10与对应的齿轮3啮合连接，便于通过螺杆10带动齿轮3转动。
[0022]实施例三，在实施例二的基础上，螺杆10的两端均固定连接有转杆11，转杆11上套接有防滑套，便于使用人员转动螺杆10。
[0023]实施例四，在实施例一的基础上，底座1的四个边角处均固定连接有固定块13，固定块13的中部开设有安装孔14，便于通过固定块13对底座1进行固定。
[0024]实施例五，在实施例一的基础上，滑块5的内部开设有通孔15，通孔15的尺寸与齿条4的尺寸相匹配，能够扩大齿条4的运动范围。
[0025]实施例六，在实施例一的基础上，通槽12位于滑槽2的顶端，且通槽12与滑槽2相对垂直设置，便于工作人员对其进行安装。
[0026]工作原理：工作时，当需要调节滚轮8的位置时，首先转动转杆11，转杆11带动螺杆10转动，螺杆10通过螺纹的方式带动两个齿轮3同时转动，齿轮3通过啮合的方式带动两个齿条4相向运动，两个齿条4带动滑块5在滑槽2内滑动，滑块5通过连接块6带动支座7上的滚轮8移动，使两个滚轮8相向运动，运动到适合的距离后停止即可，然后即可将炉体9安装在滚轮8顶端，从而能够对不同尺寸的炉体9进行安装，应用范围较广。
[0027]需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0028]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种横式扩散炉，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的内部对称开设有滑槽(2)，滑槽(2)的中心处转动安装有齿轮(3)，齿轮(3)上对称啮合连接有齿条(4)，齿条(4)的一端固定连接有滑块(5)，滑块(5)滑动安装于滑槽(2)内部，滑块(5)的顶端固定连接有连接块(6)，连接块(6)的顶端固定连接有支座(7)，支座(7)的顶端转动连接有滚轮(8)，滚轮(8)的顶端安装有炉体(9)，底座(1)的内部还开设有通槽(12)，通槽(12)的内部安装有驱动机构。2.根据权利要求1所述的一种横式扩散炉，其特征在于：所述驱动机构包括螺杆(10)，螺杆(10)转动安装于通槽(12)的内部，螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘明利，胡思健，
申请(专利权)人：青岛赛尔微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：