激光衰减器制造技术

技术编号:2715850 阅读:178 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种激光衰减器,包括:一个或一对镀有对入射角敏感的介质膜光学平板,介质膜设计为5°入射角时反射最大,而在40°时透射最大,从而大大提高介质膜破坏阈值;在吸收反射光的部分采用石墨材料或陶瓷材料,并视情况在衰减器的外部装上散热片。本发明专利技术设计简单,适用于对激光的功率衰减和调节。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光衰减器,特别是一种应用于各种激光科学实验和激光加工的激光功率衰减器。
技术介绍
在各种科学实验和激光加工的应用中,提出对激光功率的衰减可调的要求。在以往的应用中,有采用吸收型中性玻璃作为衰减片来实现对激光功率的衰减,然而在较高功率下却会漂白,而且不能连续可调;也有采用普通的介质膜来实现对激光功率的衰减,虽然功率衰减可以连续调节,而且也可以经受一定功率的辐照,但不适合较高功率的应用。
技术实现思路
如上所述,如何解决高破坏阈值的膜片设计选择,以及多余激光功率的吸收和散热,乃是本专利技术所要解决的技术问题,为此,本专利技术的目的在于提供一种应用于各种激光科学实验和激光加工的激光功率衰减器。本专利技术的技术解决方案如下根据本专利技术的激光衰减器,包括一个或一对镀有对入射角敏感的介质膜光学平板,介质膜设计为5°入射角时对入射激光反射最大,而在40°入射角时对入射激光透射最大,从而大大提高介质膜破坏阈值;在吸收反射光的部分采用石墨或陶瓷作为吸收材料,石墨或陶瓷的片状材料贴附在衰减器内壁;并视情况在衰减器外部装上金属散热片;所述介质膜光学平板对入射激光的入射角在5°~40°连续可调,并由一调节齿轮盘连续调节。本专利技术设计简单,适用于对激光的功率衰减和调节。附图说明图1为激光衰减器实施列的结构示意图。具体实施例方式根据图1给出本专利技术激光衰减器的一个较好实施例,如图所示,激光1进入衰减器2中,经一对介质膜片3、4后被反射损耗的激光5、6射到衰减内壁的吸收片7、8上,其转化成的热量主要通过散热片9、10排出。通过调节齿轮盘11、12调节介质膜片3、4的角度,从而调节对激光的衰减量,最后获得经衰减后的激光13。介质膜片3、4针对需要的波段进行镀膜,设计的反射率在5°入射角时为最大,这样在镀膜工艺上可确保介质膜的激光破坏阈值达到最大,对1064nm波长10ns的激光而言,破坏阀值可以达到20J/cm2以上。吸收片7、8采用石墨材料经济实用,配合散热片可以获得很好的效果。作为上述实施例的替换,衰减器2中只设一介质膜片3,受其反射损耗的激光5射到衰减器内壁的吸收片7,其转化成的热量主要通过散热片9排出。通过调节齿轮盘11来调节介质膜片3的角度,介质膜片3按所需激光波段进行镀膜,并设计在5°入射角时反射率最大,在40°入射角时透射最大。本实施例中,吸收片由陶瓷制成。权利要求1.一种激光衰减器,包括在激光入射通路上设置有对入射角敏感的介质膜光学平板和在衰减器内壁贴附吸收反射激光的吸收材料,其特征在于该介质膜光学平板设计成5°入射角时入射激光反射最大。2.根据权利要求1所述的激光衰减器,其特征在于该介质膜光学平板设计成40°入射角时入射激光透射最大。3.根据权利要求1或2所述的激光衰减器,其特征在于该内壁上贴附的吸收反射激光的吸收材料为石墨。4.根据权利要求1或2所述的激光衰减器,其特征在于该内壁上贴附的吸收反射激光的吸收材料为陶瓷。5.根据权利要求1或2所述的激光衰减器,其特征在于所述介质膜光学平板对激光入射角为5°~40°连续可调。6.根据权利要求5所述的激光衰减器,其特征在于所述介质膜光学平板对激光入射角由一调节齿轮盘连续调节。7.根据权利要求1或2所述的激光衰减器,其特征在于所述介质膜光学平板为一个或一对。8.根据权利要求1或2所述的激光衰减器,其特征在于还在衰减器的外部装上散热片。全文摘要一种激光衰减器,包括一个或一对镀有对入射角敏感的介质膜光学平板,介质膜设计为5°入射角时反射最大,而在40°时透射最大,从而大大提高介质膜破坏阈值;在吸收反射光的部分采用石墨材料或陶瓷材料,并视情况在衰减器的外部装上散热片。本专利技术设计简单,适用于对激光的功率衰减和调节。文档编号G02F1/35GK1564076SQ20041001749公开日2005年1月12日 申请日期2004年4月6日 优先权日2004年4月6日专利技术者叶震寰, 楼祺洪, 董景星, 魏运荣, 凌磊 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光衰减器,包括在激光入射通路上设置有对入射角敏感的介质膜光学平板和在衰减器内壁贴附吸收反射激光的吸收材料,其特征在于:该介质膜光学平板设计成5°入射角时入射激光反射最大。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:叶震寰楼祺洪董景星魏运荣凌磊
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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