一种靶材离化冷却承载机构制造技术

本实用新型专利技术涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；外管与内管之间设置有冷却液腔；外管设置有第一进水口和第一出水口；外管的外侧套设有电磁感应线圈。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。了生产的成本。了生产的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材离化冷却承载机构


[0001]本技术涉及涂层设备
，尤其是指一种靶材离化冷却承载机构。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一。它以溅射率高、基材温升低、膜-基结合力好、装置性能稳定、操作控制方便等优点，成为镀膜工业应用领域特别是建筑镀膜玻璃、透明导电膜玻璃、柔性基材卷绕镀等对大面积的均匀性有特别苛刻要求的连续镀膜场合的首选方案。
[0003]溅射镀膜装置的靶材离化承载机构在工作中会产生大量的热量，现有的靶材离化承载机构的冷却效果差，靶材离化承载机构所产生的热量会影响整个溅射过程，从而导致镀膜失败。此外，靶材离化承载机构所产生的热量会影响靶材离化承载机构内部的零部件，使得靶材离化承载机构不能正常工作，甚至会造成靶材离化承载机构的损坏，增加生产的成本。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种靶材离化冷却承载机构，该靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却承载机构能稳定地正常工作，降低了靶材离化冷却承载机构的故障率和维修率，进而降低了生产的成本。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0006]一种靶材离化冷却承载机构，其包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；
[0007]所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻真空管机构的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻真空管机构的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧件也用于将第二连接块锁紧于相邻真空管机构的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；
[0008]所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。
[0009]进一步地，所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有安装孔，安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。
[0010]进一步地，所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔和外界；所述第二进水口与第三容置腔连通，所述第二出水口与第四容置腔连通；所述第三容置腔的内壁设置有第一内螺纹，进水管的外壁设置有用于与第一内螺纹螺纹连接的第一外螺纹；所述第四容置腔的内壁设置有第二内螺纹，出水管的外壁设置有用于与第二内螺纹螺纹连接的第二外螺纹。
[0011]进一步地，所述水管套设置有水管套密封圈、密封压持套和密封圈锁紧套；所述水管套密封圈和密封压持套分别套设于出水管的外壁，密封压持套用于将水管套密封圈压持于水管套；所述密封圈锁紧套的内壁设置有第三内螺纹，水管套的外壁设置有用于与第三内螺纹螺纹连接的第三外螺纹；所述密封圈锁紧套卡扣着密封压持套并用于将密封压持套锁紧于水管套。
[0012]进一步地，所述出水管锁紧组件包括出水管螺纹座，出水管螺纹座连接于安装座，出水管螺纹座设置有出水管螺纹孔，出水管螺纹孔贯穿出水管螺纹座，出水管螺纹孔的内壁设置有第四内螺纹；所述出水管的外壁设置有用于与第四内螺纹螺纹连接的第四外螺纹。
[0013]进一步地，所述靶材夹头机构包括夹头底座和夹头座，所述夹头底座连接于安装座，夹头座连接于夹头底座远离安装座的一端，夹头座用于夹紧待离化靶材；所述夹头底座开设有冷却机构容置腔，所述热交换座位于冷却机构容置腔内并抵触着夹头座的底部。
[0014]进一步地，所述热交换座和夹头座之间设置有夹头座密封圈，夹头座密封圈用于密封热交换座和夹头座之间的间隙。
[0015]进一步地，所述夹头底座设置有绝缘套，绝缘套套设于夹头座的外侧。
[0016]进一步地，所述出水管的外壁连接有限位螺母，限位螺母位于冷却机构容置腔内，限位螺母用于抵触夹头底座。
[0017]进一步地，所述引弧机构包括引弧头和引弧头连接杆，引弧头连接杆的一端转动连接于安装座，引弧头连接杆的另一端连接于引弧头；驱动机构用于驱动引弧头连接杆转动。
[0018]本技术的有益效果：实际工作中，先将待离化靶材装入靶材夹头机构，靶材夹头机构将待离化靶材夹紧，然后根据生产的需要在安装座上安装一组或多组真空管机构，然后将内管的内部抽真空并充入惰性气体。靶材夹头机构接阴极，引弧机构与引弧电路电性连接，引弧电路为常规的电路，引弧机构所输出的电流击中靶材夹头机构所夹紧的待离
化靶材以使待离化靶材的表面产生弧斑。电磁感应线圈通电后，真空管机构的附近就会产生一个磁场，靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材被离化出带电的靶材原子后，带电的靶材原子在磁场力的作用下沿着特定路径溅射到基材(工件)的表面并沉积形成镀层，同时，磁场也具有筛选的作用，某些被离化的杂原子或离子在磁场力的作用下抛落至内管上。同时，靶材离化冷却承载机构在工作的过程中会产生大量的热量，为了降低靶材离化冷却承载机构的温度，一方面，冷却机构会通入冷却液对靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材进行冷却处理；另一方面，外界的水泵将外界的水箱的冷却液经由第一进水口输送至冷却液腔，冷却液腔内的冷却液对真空管机构进行冷却，同时，冷却液腔内的冷却液经由第一出水口排出至外界的水箱，从而实现冷却液的循环使用。本申请的靶材离化冷却承载机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化冷却承载机构的冷却效果，保护了靶材离化冷却承载机构内部的零部件，保证靶材离化冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和至少一组真空管机构；所述真空管机构包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件；所述内管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，所述外管的两端分别连接于第一连接块和第二连接块，外管套设于内管的外侧，外管与内管之间设置有冷却液腔；所述外管设置有第一进水口和第一出水口，第一进水口和第一出水口均与冷却液腔连通；所述第一连接块连接于安装座或相邻真空管机构的第二连接块，所述第二连接块连接于相邻真空管机构的第一连接块，多个锁紧件用于将第一连接块锁紧于安装座，多个锁紧件也用于将第二连接块锁紧于相邻真空管机构的第一连接块；所述外管的外侧套设有电磁感应线圈；所述靶材夹头机构设置于安装座并位于内管的内部，靶材夹头机构用于夹紧待离化靶材；所述冷却机构设置于安装座并用于冷却靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材；所述引弧机构转动连接于安装座并位于内管的内部，驱动机构设置于安装座并用于驱动引弧机构转动，引弧机构用于使靶材夹头机构所夹紧的待离化靶材产生弧斑。2.根据权利要求1所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述冷却机构包括水管套、进水管、出水管、出水管锁紧组件和热交换座，所述热交换座设置于安装座的一侧并位于内管的内部，水管套和出水管锁紧组件设置于安装座的另一侧；所述水管套设置有第二进水口和第二出水口，所述热交换座设置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔连通第一容置腔和第二容置腔，所述热交换座与靶材夹头机构连接，所述第一容置腔位于热交换座靠近靶材夹头机构的一端；所述出水管套设于进水管的外侧，进水管与出水管之间设置有流通间隙；所述安装座设置有安装孔，安装孔贯穿安装座，所述进水管的一端连接于水管套，进水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，进水管连通第二进水口和第一容置腔；所述出水管的一端连接于水管套，出水管的另一端穿经安装孔并连接于热交换座，出水管连通第二出水口和第二容置腔；所述出水管锁紧组件用于将出水管锁紧于安装座。3.根据权利要求2所述的一种靶材离化冷却承载机构，其特征在于：所述水管套设置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔连通第三容置腔...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，袁明，王锋，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：