本实用新型专利技术公开了一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，涉及加热装置相关领域，为解决现有技术对于半导体真空管道的加热效率低、会造成环境温度上升、使用寿命短以及存在安全隐患的问题。所述加热体包括内筒、海绵和水道，内筒包括内层内筒和外层内筒，内层内筒的高度低于外层内筒的高度，水道位于内层内筒和外层内筒中间的下端，海绵位于内层内筒上端和外层内筒内侧位置，海绵与外层内筒内侧面贴合固定，海绵与内层内筒上端面贴合固定，所述加热体的中间放置有半导体真空管道，内层内筒的内侧面和海绵的内侧面均与半导体真空管道外侧面贴合。
【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置
本技术涉及加热装置相关领域，具体为一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置。
技术介绍
半导体真空管道加热已经广泛应用于许多半导体生产工艺中。由于许多半导体生产工艺中(例如CVD，PECVD，ETCH)有大量的可凝生成物的生成，对管道的加热可以避免此类生成物在管道内壁上的沉积，从而，避免了管道的堵塞，以保证半导体生产设备的正常运行。目前对于半导体真空管道的加热一般采用电阻式加热装置，电阻式加热装置由控制器和加热体组成，控制器接收加热体实时温度信息，控制器控制加热体电路的通断，加热体通过热电偶，反馈时时温度给控制器。但电阻式加热装置具有热效率低(电阻式加热装置加热真空管道的方式，先利用电流的热效应原理使电阻丝发热，再以热传导方式对真空管道加热，热效率在60％左右，严重浪费电能)，会造成环境温度上升(由于热量大量散失，加热体表面温度高达60℃，使其周围环境温度升高)，使用寿命短(加热体用电阻丝发热，其加热温度高达300度左右，热滞后较大，不易精确控温，电阻丝容易因高温老化而烧断，常用电阻线使用寿命约两年，同时布线、运输、安装等环节上都会在一定程度上造成元件损伤，使其寿命缩短)，以及存在安全隐患(加热体直接贴附在真空管道上，加热体破损后，交流电与被加热物体导通，有短路风险；同时，加热体表面温度较高，也存在人员烫伤风险)的缺点；因此市场急需研制一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置来帮助人们解决现有的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，以解决上述
技术介绍
中提出的对于半导体真空管道的加热效率低、会造成环境温度上升、使用寿命短以及存在安全隐患的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，包括电磁控制器和加热体，所述加热体包括内筒、海绵和水道，内筒包括内层内筒和外层内筒，内层内筒的高度低于外层内筒的高度，水道位于内层内筒和外层内筒中间的下端，海绵位于内层内筒上端和外层内筒内侧位置，海绵与外层内筒内侧面贴合固定，海绵与内层内筒上端面贴合固定，所述加热体的中间放置有半导体真空管道，内层内筒的内侧面和海绵的内侧面均与半导体真空管道外侧面贴合。优选的，所述加热体还包括加热体外皮、环形电缆、保温棉和热电偶，保温棉位于内筒外侧，环形电缆位于保温棉的外侧，加热体外皮位于环形电缆的外侧，加热体外皮设置为耐高温特氟龙涂层布，热电偶位于内筒内侧的下端，热电偶嵌入内筒的内部。优选的，所述环形电缆的两端设置有连接电缆，连接电缆与环形电缆一体化，环形电缆与电磁控制器通过连接电缆连接。优选的，所述热电偶上设置有连接线路，热电偶与电磁控制器通过连接线路连接。优选的，所述半导体真空管道和加热体的一侧设置有支撑臂，所述支撑臂的下端设置有底座。优选的，所述加热体外部的一侧设置有第一固定夹持件，第一固定夹持件与支撑臂固定，所述加热体外部的另一侧设置有第一半环形夹持件，第一半环形夹持件与第一固定夹持件的内侧面均设置有缓冲垫层，第一半环形夹持件与第一固定夹持件通过螺栓固定。优选的，所述半导体真空管道外部的一侧设置有第二固定夹持件，第二固定夹持件与支撑臂固定，所述半导体真空管道外部的另一侧设置有第二半环形夹持件，第二半环形夹持件与第二固定夹持件的内侧面均设置有缓冲垫层，第二半环形夹持件与第二固定夹持件通过螺栓固定。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、该技术中，在加热体的内部设置有内筒，内筒的上端固定有海绵，而内筒的内部设置有水道，水道中有纯水，在电磁加热状态下，内筒内的纯水跟随半导体真空管道一起加热，当加热温度达到100℃时，纯水会蒸发，变成水蒸气进入海绵中，而海绵贴合在半导体真空管道外部，对半导体真空管道有蒸汽加热效果，与电磁加热方式共同对半导体真空管道进行加热，使加热效率更高，当水道内的纯水加热完毕，水蒸气从海绵上端全部溢出后，海绵与保温棉共同进行保温；2、该技术中，加热体内设置有水道，而水道内水蒸气向上蒸发，因此加热体的固定方向为垂直向，因此设置有支撑和夹持构件，对半导体真空管道和加热体进行垂直向支撑固定，完成正常的加热功能；3、该技术中，高速变化的高频高压电流流过环形电缆会产生高速变化的交变磁场，半导体真空管道集聚切割交变磁力线产生交变的涡流，涡流使其载流子高速无规则运动，载流子互相碰撞、摩擦而产生热能，从而起到加热真空管道的效果；采用的环形电缆本身不会产生热量，并可承受500℃以上高温，从而提高加热体的使用寿命，因电缆本身不发热，热阻滞小、热惯性低，与半导体真空管道外壁温度一致，温度控制实时准确；半导体真空管道外壁经高频电磁作用发热，热量利用充分，基本无散失，热量聚集于半导体真空管道内部，电缆表面温度略高于室温，外部热量耗散几乎没有，加热体表面温度人体可触摸，无需高温防护，安全可靠，环境温度无增加，大大改善了电阻式加热装置产生的环境温度升高；半导体真空管道内部分子直接感应磁能而生热，热启动非常快，平均加热时间比电阻式加热方式缩短60％以上，同时热效率高达90％以上，在同等条件下，比电阻式加热装置节电30％～70％。附图说明图1为本技术的一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置的工作示意图；图2为本技术的加热体的纵剖图；图3为本技术的加热体A-A处横剖图；图4为本技术的加热体B-B处横剖图。图中：1、底座；2、支撑臂；3、第一固定夹持件；4、第一半环形夹持件；5、第二固定夹持件；6、第二半环形夹持件；7、半导体真空管道；8、加热体；81、加热体外皮；82、环形电缆；83、内筒；84、海绵；85、保温棉；86、水道；87、热电偶；9、电磁控制器；10、连接电缆；11、连接线路。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，包括电磁控制器9和加热体8，加热体8包括内筒83、海绵84和水道86，内筒83包括内层内筒83和外层内筒83，内层内筒83的高度低于外层内筒83的高度，水道86位于内层内筒83和外层内筒83中间的下端，水道86内设置有纯水，纯水的最高液面要低于内层内筒83的高度，加热体8外侧面设置有加水口，且加水口连通至水道86内，且加水口内设置有单向瓣膜为人字形结构，使内部的蒸汽无法反向溢出，海绵84位于内层内筒83上端和外层内筒83内侧位置，海绵84与外层内筒83内侧面贴合固定，海绵84与内层内筒83上端面贴合固定，纯水蒸发得到的水蒸气直接进入海绵84内，加热体8的中间放置有半导体真空管道7，内层内筒83的内侧面和海绵84的内侧面均与半导体真空管道7外侧面贴合。进一步，加热体8还包括加热体外皮81、环形本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，包括电磁控制器(9)和加热体(8)，其特征在于：所述加热体(8)包括内筒(83)、海绵(84)和水道(86)，内筒(83)包括内层内筒(83)和外层内筒(83)，内层内筒(83)的高度低于外层内筒(83)的高度，水道(86)位于内层内筒(83)和外层内筒(83)中间的下端，海绵(84)位于内层内筒(83)上端和外层内筒(83)内侧位置，海绵(84)与外层内筒(83)内侧面贴合固定，海绵(84)与内层内筒(83)上端面贴合固定，所述加热体(8)的中间放置有半导体真空管道(7)，内层内筒(83)的内侧面和海绵(84)的内侧面均与半导体真空管道(7)外侧面贴合。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，包括电磁控制器(9)和加热体(8)，其特征在于：所述加热体(8)包括内筒(83)、海绵(84)和水道(86)，内筒(83)包括内层内筒(83)和外层内筒(83)，内层内筒(83)的高度低于外层内筒(83)的高度，水道(86)位于内层内筒(83)和外层内筒(83)中间的下端，海绵(84)位于内层内筒(83)上端和外层内筒(83)内侧位置，海绵(84)与外层内筒(83)内侧面贴合固定，海绵(84)与内层内筒(83)上端面贴合固定，所述加热体(8)的中间放置有半导体真空管道(7)，内层内筒(83)的内侧面和海绵(84)的内侧面均与半导体真空管道(7)外侧面贴合。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，其特征在于：所述加热体(8)还包括加热体外皮(81)、环形电缆(82)、保温棉(85)和热电偶(87)，保温棉(85)位于内筒(83)外侧，环形电缆(82)位于保温棉(85)的外侧，加热体外皮(81)位于环形电缆(82)的外侧，加热体外皮(81)设置为耐高温特氟龙涂层布，热电偶(87)位于内筒(83)内侧的下端，热电偶(87)嵌入内筒(83)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种用于半导体真空管道加热的电磁加热装置，其特征在于：所述环形电缆(82)的两端设置有连接电缆(10)，连接电缆(10)与环形电缆(82)一体化，环...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴昊，
申请(专利权)人：摩尔机电工程无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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