张力检测装置及原子层沉积设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种张力检测装置及原子层沉积设备，通过合理安排所述第一传送辊和两个所述第二传送辊的相对位置，也即，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；且所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，以使所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送，产生对所述第一传送辊的压力，并通过所述第一传送辊上两端的张力传感器检测所述物料也即基材的张力，从而可以获知物料在所述张力检测装置上传送时的张力，并基于检测结果对所述物料的张力进行调节，从而可以提高原子层沉积品质。

【技术实现步骤摘要】
张力检测装置及原子层沉积设备
本技术设计原子层沉积
，特别涉及到一种张力检测装置及原子层沉积设备。
技术介绍
现有技术中，原子层沉积工艺需要在基材传送过程中，对基材表面不断沉积单层原子层，以获得需要的镀膜产品，其中，基材在传送过程中的张力影响到原子层沉积的效果以及最终镀膜产品的品质，但是现有技术中，并不存在对基材张力进行检测的相关技术，导致原子层沉积品质下降。
技术实现思路
本技术的主要目的是提出一种张力检测装置，旨在解决现有技术中不存在对基材张力进行检测的相关技术，导致原子层沉积品质下降的技术问题。为实现上述目的，本技术提出的一种张力检测装置，所述张力检测装置包括：第一传送辊，所述第一传送辊的两端各设置有张力传感器，所述张力传感器用于检测在所述第一传送辊上传送的物料的张力；两第二传送辊，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；其中，所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送。进一步地，所述第一传送辊的高度高于两所述第二传送辊的高度，或者，所述第一传送辊的高度均低于两所述第二传送辊的高度。进一步地，两所述第二传送辊的高度相等或者不等。进一步地，在同一径向截面内，所述第一传送辊、两所述第二传送辊的轴线之间的连接构成等边三角形。进一步地，所述第一传送辊和第二传送辊均为从动传送辊。进一步地，所述第一传送辊包括：第一滚筒，所述第一滚筒呈长筒状；第一中间轴，所述第一中间轴穿设于所述第一滚筒中，且所述第一中间轴的两端露出所述滚筒外以设置所述张力传感器；至少两第一惰性轴承，两所述第一惰性轴承套设于所述第一中间轴的两端，并位于所述第一中间轴与所述第一滚筒之间。进一步地，所述第一传送辊包括：至少两第一卡块，至少两所述第一卡块套设于所述第一中间轴上，并一一对应地与所述第一惰性轴承抵接，以将所述第一惰性轴承固定于所述第一中间轴上。进一步地，所述第二传送辊包括：第二滚筒，所述第二滚筒呈长筒状；第二中间轴，所述第二中间轴穿设于所述第二滚筒中，且所述第二中间轴的两端露出所述滚筒外；至少两第二惰性轴承，两所述第二惰性轴承套设于所述第二中间轴的两端，并位于所述第二中间轴与所述第二滚筒之间。进一步地，所述第二传送辊包括：至少两第二卡块，至少两所述第二卡块套设于所述第二中间轴上，并一一对应地与所述第二惰性轴承抵接，以将所述第二惰性轴承固定于所述第二中间轴上。为实现上述目的，本技术还提供一种原子层沉积设备，所述原子层沉积设备包括：如上述任一项所述的张力检测装置，设置于所述原子层沉积设备的真空室内；多个主动传送装置，设置于所述原子层沉积设备的真空室内，且在物料的传送方向上，所述张力检测装置设置于相邻的两个所述主动传送装置之间，以用于检测相邻的两个所述主动传送装置之间的物料的张力；所述主动传送装置包括马达和主动传送辊，所述马达连接至主动传送辊以驱动所述主动传送辊转动，所述第一传送辊和第二传送辊均为从动传送辊，主动传送辊通过物料带动所述从动传送辊转动。本技术中，通过合理安排所述第一传送辊和两个所述第二传送辊的相对位置，也即，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；且所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，以使所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送，产生对所述第一传送辊的压力，并通过所述第一传送辊上两端的张力传感器检测所述物料也即基材的张力，从而可以获知物料在所述张力检测装置上传送时的张力，并基于检测结果对所述物料的张力进行调节，从而可以提高原子层沉积品质。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术张力检测装置的一实施例的结构示意图；图2为本技术张力检测装置的另一实施例的结构示意图；图3为本技术张力检测装置的又一实施例的结构示意图；图4为图3中的张力检测装置沿A-A剖面的剖面结构示意图。本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本技术中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。请一并参阅图1-4，本技术提出的一种张力检测装置100，所述张力检测装置100包括：第一传送辊10，所述第一传送辊10的两端各设置有张力传感器20，所述张力传感器20用于检测在所述第一传送辊10上传送的物料200(见图2)的张力；两第二传送辊30，两所述第二传送辊30设置于所述第一传送辊10两侧并与所述第一传送辊10平行设置；其中，所述第一传送辊10与所述第二传送辊30分别位于物料200的两侧，所述物料200在所述第一传送辊10与所述第二传送辊30构成的传送路径上呈弯曲状传送。在本实施例中，通过在所述第一传送辊10的两端各设置有张力传感器20，并通过所述张力传感器20检测在所述第一传送辊10上传送的物料200的张力，在本实施例中，所述物料200也即需要进行原子层沉积的基材，所述张力传感器20成对使用，可以将两个所述张力传感器20检测到的张力数据的平均值作为所述物料200的张力。两所述第二传送辊30设置于所述第一传送辊10两侧并与所述第一传送辊10平行设置，且所述第一传送辊10与所述第二传送辊30分别位于物料200的两侧，也即，所述物料200会先经过一个所述第二传送辊30，再经过所述第一传送辊10进行张力检测，最后经过另外一个所述第二传送辊30将物料200传送出去，所述物料200在所述第一传送辊10与所述第二传送辊30构成的传送路径上呈弯曲状传送，也即，所述物料200本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种张力检测装置，其特征在于，所述张力检测装置包括：/n第一传送辊，所述第一传送辊的两端各设置有张力传感器，所述张力传感器用于检测在所述第一传送辊上传送的物料的张力；/n两第二传送辊，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；/n其中，所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送。/n

【技术特征摘要】
1.一种张力检测装置，其特征在于，所述张力检测装置包括：
第一传送辊，所述第一传送辊的两端各设置有张力传感器，所述张力传感器用于检测在所述第一传送辊上传送的物料的张力；
两第二传送辊，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；
其中，所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送。


2.如权利要求1所述的张力检测装置，其特征在于，所述第一传送辊的高度高于两所述第二传送辊的高度，或者，所述第一传送辊的高度均低于两所述第二传送辊的高度。


3.如权利要求2所述的张力检测装置，其特征在于，两所述第二传送辊的高度相等或者不等。


4.如权利要求1所述的张力检测装置，其特征在于，在同一径向截面内，所述第一传送辊、两所述第二传送辊的轴线之间的连接构成等边三角形。


5.如权利要求1所述的张力检测装置，其特征在于，所述第一传送辊和第二传送辊均为从动传送辊。


6.如权利要求5所述的张力检测装置，其特征在于，所述第一传送辊包括：
第一滚筒，所述第一滚筒呈长筒状；
第一中间轴，所述第一中间轴穿设于所述第一滚筒中，且所述第一中间轴的两端露出所述滚筒外以设置所述张力传感器；
至少两第一惰性轴承，两所述第一惰性轴承套设于所述第一中间轴的两端，并位于所述第一中间轴与所述第一滚筒之间。


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【专利技术属性】
技术研发人员：李哲峰，乌磊，
申请(专利权)人：深圳市原速光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44