夹持机构和晶圆生产设备制造技术

本实用新型专利技术提出一种夹持机构和应用了该夹持机构的晶圆生产设备，所述夹持机构包括：固定座；托板，所述托板设于所述固定座前方；压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。本实用新型专利技术的技术方案，旨在实现晶圆盘的取放，提高取放晶圆盘的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
夹持机构和晶圆生产设备
本技术涉及夹持
，特别涉及一种夹持机构和应用了该夹持机构的晶圆生产设备。
技术介绍
在晶圆的生产过程中，一般使用料盒存放多个晶圆盘，以便同时转移多个晶圆盘，而这多个晶圆盘在料盒中普遍是层叠设置的。此时，若要对晶圆盘进行检测，则需从料盒中取出单个晶圆盘，并在检测完成后将晶圆盘放回料盒之中。但是，料盒中多个层叠设置晶圆盘层间距相对固定且距离较小，易造成晶圆盘取放的不便。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种夹持机构，旨在实现晶圆盘的取放，提高取放晶圆盘的便捷性。为实现上述目的，本技术提出的一种夹持机构，包括：固定座；托板，所述托板设于所述固定座前方；压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；传动装置，所述传动装置设于所述固定座上，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。可选地，所述传动装置位于所述托板后侧，所述传动装置包括推动杆和抵持机构；所述推动杆沿固定座的前后方向可伸缩地设于所述固定座，所述抵持机构设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端；所述压板背离所述托板一侧表面凸设有导向斜面，所述抵持机构沿固定座的前后方向设于所述导向斜面的后方；当所述推动杆伸出运动时，所述抵持机构与所述导向斜面抵接，并沿所述导向斜面滑动，以驱使所述压板朝向所述托板下压。可选地，所述抵持机构包括轴承固定座和轴承，所述轴承固定座设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端，所述轴承固定座背离所述推动杆的一侧固定有所述轴承；当所述抵持机构沿所述导向斜面滑动，所述轴承的外圈与所述导向斜面滚动配合。可选地，所述固定座内形成有前后贯通的容置空间，所述推动杆至少部分收容于所述容置空间内。可选地，所述夹持机构还包括连接板，所述连接板设于所述固定座顶面，且朝所述固定座的前方延伸设置，所述夹持机构还包括连接块，所述连接块固定于所述连接板的下表面，所述托板固定于所述连接块背离所述连接板的一侧表面，所述连接块开设有避空孔，所述推动杆从所述避空孔伸出或回缩。可选地，所述夹持机构还包括导向柱，所述托板设有连接孔，所述压板开设有贯通的导向孔，所述导向柱的一端插设于所述连接孔，另一端穿设于所述导向孔，所述压板沿所述导向柱的轴向靠近或远离所述托板。可选地，所述夹持机构还包括限位件，所述限位件固定于所述导向柱背离所述托板的一端，所述压板位于所述限位件和所述托板之间。可选地，所述复位件套设于所述导向柱，所述复位件一端抵接所述托板，另一端抵接所述压板，以驱使所述压板背离所述托板上升。可选地，所述压板朝向所述托板的夹持面设有防滑层；且/或，所述托板朝向所述压板的夹持面设有防滑层。本技术还提出的一种晶圆生产设备，包括前述中任一所述的夹持机构，所述夹持机构包括：固定座；托板，所述托板设于所述固定座前方；压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。本技术的技术方案，在夹持机构中设置有沿高度方向间隔设置的压板和托板，压板和托板之间形成夹持空间，当晶圆盘的边缘进入夹持空间时，压板在传动装置作用下可朝向托板下压，以夹持固定晶圆盘，从而便于取料和移动；进一步地，在托板和压板之间还设有复位件，压板在复位件作用下向背离托板的方向上升，以松开晶圆盘，从而便于放料。即通过本技术的夹持机构便可取放取料盒中层叠设置的晶圆盘，提高了取放晶圆盘的便捷性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术夹持机构一实施例的结构示意图；图2为图1中夹持机构另一方向的结构示意图；图3为图2中夹持机构去除压板后的结构示意图；图4为图2中压板的结构示意图；图5为图4的压板另一方向的结构示意图。附图标号说明：本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。本技术提出一种夹持机构10，包括：固定座11；托板12，所述托板12设于所述固定座11前方；压板13，所述压板13和所述托板12沿高度方向间隔设置，所述压板13和所述托板12之间形成夹持空间；传动装置14，所述传动装置14设于所述固定座11上，且和所述压板13传动连接，以驱使所述压板13朝向所述托板12下压；复位件19，所述复位件19设于所述托板12和所述压板13之间，以驱使所述压板13背离所述托板12上升。请参考图1，在本技术的一些实施例中，所述夹持机构10设有用于夹持产品的托板12和压板13，所述托板12和所述压板13沿高度方向间隔设置形成夹持空间，所述压板13朝向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括：/n固定座；/n托板，所述托板设于所述固定座前方；/n压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；/n传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；/n复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括：
固定座；
托板，所述托板设于所述固定座前方；
压板，所述压板和所述托板沿高度方向间隔设置，所述压板和所述托板之间形成夹持空间；
传动装置，所述传动装置设于所述固定座，且和所述压板传动连接，以驱使所述压板朝向所述托板下压；
复位件，所述复位件设于所述托板和所述压板之间，以驱使所述压板背离所述托板上升。


2.如权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述传动装置位于所述托板后侧，所述传动装置包括推动杆和抵持机构；
所述推动杆沿固定座的前后方向可伸缩地设于所述固定座，所述抵持机构设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端；所述压板背离所述托板一侧表面凸设有导向斜面，所述抵持机构沿固定座的前后方向设于所述导向斜面的后方；
当所述推动杆伸出运动时，所述抵持机构与所述导向斜面抵接，并沿所述导向斜面滑动，以驱使所述压板朝向所述托板下压。


3.如权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述抵持机构包括轴承固定座和轴承，所述轴承固定座设于所述推动杆的朝向所述固定座前方的一端，所述轴承固定座背离所述推动杆的一侧固定有所述轴承；
当所述抵持机构沿所述导向斜面滑动，所述轴承的外圈与所述导向斜面滚动配合。


4.如权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述固定座内形成有前后贯通的容置空间，所述推...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾潇凯，夏笔文，程海阔，
申请(专利权)人：深圳市大族富创得科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44