气体激光器用气体纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种气体激光器用气体纯化装置，包括玻璃钛泵和玻璃弹簧；所述玻璃钛泵包括玻璃基壳，在所述玻璃基壳内设置有螺旋状的钛丝，所述钛丝的两端固定连接有镍带，所述镍带上分别焊接有钨杆电极，两端的钨杆电极从所述玻璃基壳内伸出通过导线与高压电源进行电性连接；所述玻璃弹簧的一端与玻璃钛泵相连通，另一端与谐振腔相连接，所述谐振腔与整谐振腔专用电源电性连接。本实用新型专利技术采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。

【技术实现步骤摘要】
气体激光器用气体纯化装置
本技术涉及气体激光器总装
，具体涉及一种气体激光器用气体纯化装置。
技术介绍
气体激光器谐振腔基壳的内表面洁净度、增益气体纯度是影响气体激光器寿命的重要因素，其中气体激光器的总装充排气工艺过程是激光器谐振腔封离前引入污染的关键环节，为了保证谐振腔内部质量，设计一种气体激光器充排气纯化装置十分必要。气体激光器在装配过程中存在多次充气、排气的过程。高精度气体激光器对谐振腔真空度要求极为苛刻，目前常用的气体激光器真空系统可抽至10-7Pa，标准大气压为105Pa，谐振腔充排气过程最大气压差数量级为1012，如此大的气压冲击不可避免的引入污染。目前，由于真空系统泵源一般距离谐振腔较远，由于管道流阻大的原因，谐振腔末端真空度一般要比泵源极限真空度低2-3个数量级。在真空条件下，由分子动理论可知，超高真空条件下分子自由程远大于分子直径，气体宏观紊流效应明显。因此，在谐振腔长时间辉光放电老化的过程中释放的杂气无法及时有效的抽除，一旦谐振腔基壳或者玻璃管道释放的有机杂气返流至谐振腔，会污染谐振腔导致性能下降甚至报废，因此有必要在谐振腔末端增加某种泵源来提升谐振腔末端真空度，从而快速有效的将超高真空条件下谐振腔缓慢释放的杂气抽除。
技术实现思路
本技术针对现有技术中存在的技术问题，提供一种气体激光器用气体纯化装置，该装置可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。本技术解决上述技术问题所采用的技术方案如下：一种气体激光器用气体纯化装置，包括玻璃钛泵和玻璃弹簧；所述玻璃钛泵包括玻璃基壳，在所述玻璃基壳内设置有螺旋状的钛丝，所述钛丝的两端固定连接有镍带，所述镍带上分别焊接有钨杆电极，两端的钨杆电极从所述玻璃基壳内伸出通过导线与高压电源进行电性连接；所述玻璃弹簧的一端与玻璃钛泵相连通，另一端与谐振腔相连接，所述谐振腔与整谐振腔专用电源电性连接。作为本实施例的优选，所述玻璃基壳由30*120mm的DM308玻璃构成。作为本实施例的优选，所述玻璃弹簧由DM308电真空玻璃高温绕制，所述玻璃钛泵和玻璃弹簧烧结连通在一起。作为本实施例的优选，所述玻璃弹簧的末端与谐振腔气密烧结。作为本实施例的优选，在所述玻璃钛泵的底部设置有真空台，所述真空台与玻璃钛泵烧结在一起。本技术具有以下有益效果：(1)本技术所述的气体激光器用气体纯化装置，采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。(2)本技术所述的气体激光器用气体纯化装置，可以有效防止气体激光器谐振腔由于充排气工艺带来的污染，并对充入的增益气体有效提纯。(3)本技术所述的气体激光器用气体纯化装置，可以在气体激光器谐振腔在超高真空条件下，有效抽除杂气，保持更高的末端真空度，同时还可以在气体激光器长时间放电老化时，及时有效的抽除谐振腔缓慢释放的杂气和污染物。附图说明图1为本技术气体激光器用气体纯化装置的结构示意图；图2为本技术中所述的玻璃钛泵结构示意图；图3为本技术中所述的钛丝结构示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、玻璃钛泵，2、玻璃弹簧，3、真空台，4、谐振腔，5、玻璃基壳，6、镍带，7、钨杆电极，8、钛丝，9、高压电源，10、谐振腔专用电源。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参阅图1至3所示，本技术实施例提供一种气体激光器用气体纯化装置，具体包括玻璃钛泵1和玻璃弹簧2，玻璃钛泵1和玻璃弹簧2烧结组成本实施例中的气体纯化装置。在本实施例中，所述玻璃钛泵1包括玻璃基壳5(玻璃基壳5由30*120mm的DM308玻璃构成)，在玻璃基壳5内设置有沿着玻璃基壳5内长度方向上呈螺旋状设置的钛丝8，钛丝8的两端固定连接有镍带6，镍带6上分别焊接有钨杆电极7，两端的钨杆电极7从玻璃基壳5内伸出通过导线与高压电源9进行电性连接。在本实施例中，玻璃弹簧2(玻璃弹簧2由DM308电真空玻璃高温绕制)的一端与玻璃钛泵1相连通，另一端与谐振腔4相连接，谐振腔4与整谐振腔专用电源10电性连接。在本实施例中，在玻璃钛泵1的底部设置有真空台3，真空台3与玻璃钛泵1烧结在一起，通过真空台3对整个系统进行排期和预热。在在本实施例中。气体纯化装置使用时，真空台3与玻璃钛泵1气密烧结，玻璃弹簧1的末端与谐振腔4气密烧结，玻璃钛泵1对流通的气体实现“过滤”，并保持优质的末端真空度。玻璃弹簧2避免了在充排气时气压不稳定导致污染物涌进谐振腔4。在本实施例中。玻璃钛泵1和玻璃弹簧2的体积远大于气体激光器谐振腔4体积，为了防止该气体纯化装置释放杂气在超高真空条件下返流至谐振腔4，对整套玻璃管道装置采用高压电源9和谐振腔专用电源10施加高压电，通过辉光放电的方式随谐振腔4一同进行长时间放电老化，将释放的杂气由玻璃钛泵,1及时有效的抽除。参见图1至3所示，下面我们结合附图对本实施例中的气体激光器用气体纯化装置做详细的原理介绍：a.排气1：启动真空台3对系统进行排气和加热，将系统抽至10-4Pa以下，将谐振腔4烘烤加热至115℃，保温24h，最终真空度达到10-7Pa。b.预除气：将高压电源11的“+”极接钨杆电极7的A端，“－”极接钨杆电极7的B端。接通高压，调整加热电流至15A，待钛丝8变红后，维持5min，断开高压，完成钛,8的预除气。c.排气2：继续对谐振腔4高温烘烤及抽真空，115℃保温24h，将系统真空度抽至10-7Pa。d.激活：将高压电源9的“+”极接钨杆电极7的A端，“－”极接钨杆电极7的B端。接通高压，调整加热电流至20A，激活玻璃钛泵1开始工作。e充气：关闭真空台3，待谐振腔4恢复至室温，关闭真空系统，向谐振腔4缓慢充入增益气体700Pa，关闭真空台3充气阀门。f.放电老化：将谐振腔专用电源10的“+”极接谐振腔4的D端，另一“+”极接谐振腔4的E端，“-”极接谐振腔4的C端，调整电流至0.8mA，完成谐振腔4辉光放电。若玻璃弹簧2内增益气体未被击穿，则断开钨杆电极7的A端电压，完成玻璃弹簧2辉光放电，并调整谐振腔专用电源10至谐振腔4的D端和C端和E端和C端间电流一致后，再接通钨杆电极7的A端高压，系统持续放电老化20d。g.谐振腔4封离下台。本技术采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：包括玻璃钛泵(1)和玻璃弹簧(2)；/n所述玻璃钛泵(1)包括玻璃基壳(5)，在所述玻璃基壳(5)内设置有螺旋状的钛丝(8)，所述钛丝(8)的两端固定连接有镍带(6)，所述镍带(6)上分别焊接有钨杆电极(7)，两端的钨杆电极(7)从所述玻璃基壳(5)内伸出通过导线与高压电源(9)进行电性连接；/n所述玻璃弹簧(2)的一端与玻璃钛泵(1)相连通，另一端与谐振腔(4)相连接，所述谐振腔(4)与整谐振腔专用电源(10)电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：包括玻璃钛泵(1)和玻璃弹簧(2)；
所述玻璃钛泵(1)包括玻璃基壳(5)，在所述玻璃基壳(5)内设置有螺旋状的钛丝(8)，所述钛丝(8)的两端固定连接有镍带(6)，所述镍带(6)上分别焊接有钨杆电极(7)，两端的钨杆电极(7)从所述玻璃基壳(5)内伸出通过导线与高压电源(9)进行电性连接；
所述玻璃弹簧(2)的一端与玻璃钛泵(1)相连通，另一端与谐振腔(4)相连接，所述谐振腔(4)与整谐振腔专用电源(10)电性连接。


2.根据权利要求1所述的气体激光器用气体纯化装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利伟，张洪波，王保峰，
申请(专利权)人：中国船舶重工集团公司第七一七研究所，
类型：新型
国别省市：湖北;42