一种清洗干燥系统及清洗干燥方法技术方案

本发明专利技术公开一种清洗干燥系统和清洗干燥方法。洗干燥系统适于对掩膜板进行清洗干燥，包括清洗槽、移动装置、干燥装置和监控装置。移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。干燥装置包括吹气单元和连接部件，吹气单元与连接部件可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板至第一预设位置，监控装置适于控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。通过控制掩膜板移动和吹气单元转动，能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗干燥系统及清洗干燥方法
本专利技术涉及清洗领域，具体涉及一种清洗干燥系统及清洗干燥方法。
技术介绍
通常掩膜板在使用常规方式清洗干燥后，经常会出现对位孔开口周围和内部有药液和水渍残留的情况。由于药液和水渍残留，一方面会引起PPA量测时报警(pixelpositionaccuracy，像素位置精度)，影响作业时间；另一方面，掩膜板在蒸镀步骤对位过程中发生报警，需要停止并检查更换掩膜板，会影响蒸镀的产能。此外，残留的药液和水渍也会一定程度污染蒸镀腔室环境，长期积累会造成后续产品不良。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术提供一种清洗干燥系统及清洗干燥方法，以解决掩膜板清洗干燥过程中的药液和水渍残留的问题。本专利技术提供一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，包括：清洗槽，移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。可选的，所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接。可选的，所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动。可选的，所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动。可选的，所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流。可选的，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。可选的，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态。可选的，所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转。可选的，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体。可选的，所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。可选的，所述吹扫头还具有侧出风口，侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同。可选的，所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。可选的，所述干燥装置还包括安装座，所述安装座与所述连接部件固定连接。可选的，所述干燥装置还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。可选的，所述监控装置包括控制单元和监测单元；所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监测单元适于监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数；所述控制单元适于依据所述监测单元所监测到的的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。本专利技术还公开一种清洗干燥方法，采用如上所述的清洗干燥系统对掩膜板进行清洗干燥，其中掩膜板具有对位孔，将所述掩膜板置于所述清洗槽中进行清洗；所述监控装置控制所述移动装置抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液；所述监控装置控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥。可选的，所述掩膜板的边缘具有第一对位孔和第二对位孔，所述第一对位孔和所述第二对位孔的延伸方向与掩膜板的表面呈倾斜状态；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥的步骤包括：采用吹气单元对第一对位孔进行第一吹扫干燥；采用吹气单元对第二对位孔进行第二吹扫干燥。可选的，所述吹气单元对准所述对位孔的步骤包括：采用所述吹气单元对所述第一对位孔进行第一吹扫干燥之前，进行第一对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第一对位孔的中心轴线重合；采用所述吹气单元对所述第二对位孔进行第二吹扫干燥之前，进行第二对位步骤，使所述吹气单元的中心轴与所述第二对位孔的中心轴线重合。可选的，所述吹气单元包括吹扫头；在所述吹扫干燥的过程中，所述吹扫头伸入所述掩膜板的所述对位孔；或者，在所述吹扫干燥的过程中，吹扫头位于所述对位孔的外部。可选的，所述吹气单元包括吹扫头，所述吹扫头具有主出风口，所述主出风口适于喷射方向可控的线状气流；所述吹扫头可围绕吹气单元的中心轴进行旋转；在所述吹扫干燥的过程中，所述主出风口围绕吹气单元的中心轴进行旋转。可选的，所述监控装置包括控制单元和监测单元；采用所述监测单元监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数，并将所述作业参数传输给所述控制单元；所述控制单元依据所述监测单元所监测到的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。本专利技术的有益效果在于：1.本专利技术提供的清洗干燥系统，包括清洗槽；移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。通过吹气单元与连接部件的相对转动，使得吹气单元的喷射方向可发生改变并且喷射出的线状气流可控。采用喷射方向可控的线状气流能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥，另外可基于对位孔的延伸方向，对吹气单元的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫。监控装置通过控制移动装置抓取掩膜板移动和控制吹气单元围绕连接部件转动，可实现吹气单元和掩膜板对位孔的对准，实现对对位孔的精准吹扫干燥，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。2.本专利技术提供的清洗干燥系统，吹气单元包括吹扫头、底座、吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接，所述底座和所述连接部件可转动连接。一方面通过底座与连接部件的相对转动，可针对不同倾斜角度的对位孔，调整所述吹气单元主体和吹扫头的朝向，另一方面可基于对位孔的延伸方向，对吹扫头的喷射方向进行角度的微调，使得对所述对位孔的孔壁和开口周围的各区域都能得到有效的吹扫，保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。3.本专利技术提供的清洗干燥系统，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于吹气单元主体的中心轴。使得吹扫头可延伸至对位孔的内部，对对位孔的内部进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，其特征在于，包括：/n清洗槽；/n移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；/n干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；/n监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，其特征在于，包括：
清洗槽；
移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；
干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；
监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。


2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接；
优选的，所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动；
优选的，所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动；
优选的，所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流；
优选的，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于所述吹气单元主体的中心轴；
优选的，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态；
优选的，所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转；
优选的，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体；
优选的，所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。


3.根据权利要求2所述的清洗干燥系统，其特征在于，
所述吹扫头还具有侧出风口，所述侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同；
优选的，所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。


4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。


5.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，
所述监控装置包括控制单元和监测单元；
所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监...

【专利技术属性】
技术研发人员：王善鹤，何生权，阮玉帅，孙田雨，王军伟，
申请(专利权)人：合肥维信诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34