一种晶圆凸块推拉力测试机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆凸块推拉力测试机，属于晶圆推拉力测试技术领域，包括顶架、下夹具组件、升降锁紧组件和底座，所述顶架的下端设置有升降锁紧组件，所述升降锁紧组件的一侧连接有横板，所述横板的上端固定有下夹具组件，本实用新型专利技术通过在内管两两之间连接一侧凿有凹槽的连接板，外管外侧连接的握把一侧嵌接有插杆，插杆一端固定的插块嵌入凹槽内，这种结构配合伸缩弹簧初始情况插块刚好卡入凹槽内的情况能够实现对升降停止后的缩紧，支撑座的侧壁贯穿上端凿有定位槽的活动杆，上端与把手转动连接的调节螺杆嵌入定位槽内，这种结构能够实现对压板间距的调整，进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆凸块推拉力测试机
本技术属于晶圆推拉力测试
，具体涉及一种晶圆凸块推拉力测试机。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，推拉力测试机用于在半导体晶圆生产过程中对产品的质量进行检测，推拉力测试机用于测试各种材料、半成品及成品的抗拉强度、抗压强度及伸长量，可做剥离、撕裂、抗弯、抗折、压缩等试验，适合金属、塑料、橡胶、纺织品、合成化学制品、电线电缆、皮革等行业使用。在进行推拉力测试的过程中，下夹具组件的升降过程是完全有液压缸控制活塞杆的移动实现的，这种结构并没有对升降停留后的部分进行锁紧，当出现液压缸装置出现故障或其他问题时，横板可能会因为输出动力消失出现自动下落的情况这样容易使晶圆凸块摔坏，另外，上下夹具对于晶圆凸块的固定都是范围难以调节的，当更换成其他尺寸的待测晶圆凸块时调节起来会很不方便。
技术实现思路
为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种晶圆凸块推拉力测试机，具有升降锁紧，夹具可调节特点。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架、下夹具组件、升降锁紧组件和底座，所述顶架的下端设置有升降锁紧组件，且顶架的顶端下端固定有伸缩杆，所述伸缩杆的下端连接有上夹具，所述升降锁紧组件的一侧连接有横板，且升降锁紧组件的底端设置有底座，所述横板的上端固定有下夹具组件，且横板的下端连接有活塞杆，所述底座的上端安装有液压缸。优选的，所述下夹具组件包括定位槽、活动杆、支撑座、压力传感器本体、拉力传感器本体、支撑板、橡胶垫、压板、调节螺杆、把手和延伸板，其中，所述支撑座的内底端安装有压力传感器本体，且支撑座的侧壁贯穿有活动杆，所述压力传感器本体的上端固定有支撑板，所述支撑板的内部安装有拉力传感器本体，所述活动杆的上端凿有定位槽，且活动杆靠近支撑座的一端固定有压板，所述压板远离活动杆的一侧粘接有橡胶垫，所述定位槽的内部嵌入有调节螺杆，所述调节螺杆的下端贯穿有延伸板，且调节螺杆的顶端连接有把手。优选的，所述升降锁紧组件包括内管、伸缩弹簧、插杆、握把、外管、插块和连接板，其中，所述外管的内部贯穿有内管，且外管的外侧连接有伸缩弹簧，所述内管的一侧固定有连接板，所述伸缩弹簧远离内管的一端连接有握把，所述握把靠近外管的一侧嵌接有插杆，所述插杆靠近连接板的一端固定有插块。优选的，所述顶架与上夹具之间通过伸缩杆连接构成伸缩结构，所述液压缸通过安装座固定在底座的上端，且液压缸的输出端通过活塞杆与横板连接。优选的，所述支撑板与支撑座的内底端之间通过压力传感器本体连接固定，且支撑板与拉力传感器本体为一体式结构。优选的，所述延伸板通过电弧焊焊接在支撑座的外侧，所述调节螺杆的下端贯穿延伸板内部凿有的通孔嵌入定位槽内，且调节螺杆与把手之间通过轴承转动连接，所述橡胶垫通过强力黏胶粘接在压板的一侧。优选的，所述内管通过电弧焊焊接在顶架与底座之间，且内管两两之间通过连接板连接固定，所述外管套接在两两连接的内管的外周与内管构成滑动结构。优选的，所述连接板的一侧凿有凹槽，所述插块通过嵌入凹槽内与连接板连接固定，所述插杆远离连接板的一端通过卡环嵌接在握把的一侧，所述握把与外管之间通过伸缩弹簧连接，所述伸缩弹簧位于初始状态时插块刚好卡入连接板一侧凿有的凹槽内。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术通过在内管两两之间连接一侧凿有凹槽的连接板，外管套接在内管的外周与内管构成滑动结构，并且外管外侧通过伸缩弹簧连接的握把一侧嵌接有贯穿外管的插杆，插杆一端固定的插块嵌入凹槽内，这种结构配合伸缩弹簧初始情况插块刚好卡入凹槽内的情况能够实现对升降停止后的锁紧。2、本技术通过在支撑座的侧壁贯穿上端凿有定位槽的活动杆，活动杆一端固定的压板的一侧粘接有橡胶垫，上端与把手转动连接的调节螺杆贯穿延伸板的一端嵌入定位槽内，这种结构能够通过移动活动杆配合转动把手实现对压板间距的调整，进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术下夹具组件的结构示意图；图3为本技术升降锁紧组件的结构示意图；图中：1、顶架；2、下夹具组件；201、定位槽；202、活动杆；203、支撑座；204、压力传感器本体；205、拉力传感器本体；206、支撑板；207、橡胶垫；208、压板；209、调节螺杆；210、把手；211、延伸板；3、升降锁紧组件；31、内管；32、伸缩弹簧；33、插杆；34、握把；35、外管；36、插块；37、连接板；4、底座；5、液压缸；6、活塞杆；7、横板；8、上夹具；9、伸缩杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供以下技术方案：一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架1、下夹具组件2、升降锁紧组件3和底座4，顶架1的下端设置有升降锁紧组件3，且顶架1的顶端下端固定有伸缩杆9，伸缩杆9的下端连接有上夹具8，升降锁紧组件3的一侧连接有横板7，且升降锁紧组件3的底端设置有底座4，横板7的上端固定有下夹具组件2，且横板7的下端连接有活塞杆6，底座4的上端安装有液压缸5，为了实现对上夹具8和下夹具组件2的高度调节，顶架1与上夹具8之间通过伸缩杆9连接构成伸缩结构，液压缸5通过安装座固定在底座4的上端，且液压缸5的输出端通过活塞杆6与横板7连接。下夹具组件2包括定位槽201、活动杆202、支撑座203、压力传感器本体204、拉力传感器本体205、支撑板206、橡胶垫207、压板208、调节螺杆209、把手210和延伸板211，其中，支撑座203的内底端安装有压力传感器本体204，且支撑座203的侧壁贯穿有活动杆202，压力传感器本体204的上端固定有支撑板206，支撑板206的内部安装有拉力传感器本体205，为了实现对晶圆凸块的推拉力测试，支撑板206与支撑座203的内底端之间通过压力传感器本体204连接固定，且支撑板206与拉力传感器本体205为一体式结构；活动杆202的上端凿有定位槽201，且活动杆202靠近支撑座203的一端固定有压板208，压板208远离活动杆202的一侧粘接有橡胶垫207，定位槽201的内部嵌入有调节螺杆209，调节螺杆209的下端贯穿有延伸板211，且调节螺杆209的顶端连接有把手210，为了实现对压板208间距的调节进一步实现对不同尺寸晶圆凸块的固定，延伸板211通过电弧焊焊接在支撑座203的外侧，调节螺杆209的下端贯穿延伸板211内部凿有的通孔嵌入定位槽201内，且调节螺杆209与把手210之间通过轴承转动连接，橡胶垫207通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架(1)、下夹具组件(2)、升降锁紧组件(3)和底座(4)，其特征在于：所述顶架(1)的下端设置有升降锁紧组件(3)，且顶架(1)的顶端下端固定有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的下端连接有上夹具(8)，所述升降锁紧组件(3)的一侧连接有横板(7)，且升降锁紧组件(3)的底端设置有底座(4)，所述横板(7)的上端固定有下夹具组件(2)，且横板(7)的下端连接有活塞杆(6)，所述底座(4)的上端安装有液压缸(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆凸块推拉力测试机，包括顶架(1)、下夹具组件(2)、升降锁紧组件(3)和底座(4)，其特征在于：所述顶架(1)的下端设置有升降锁紧组件(3)，且顶架(1)的顶端下端固定有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的下端连接有上夹具(8)，所述升降锁紧组件(3)的一侧连接有横板(7)，且升降锁紧组件(3)的底端设置有底座(4)，所述横板(7)的上端固定有下夹具组件(2)，且横板(7)的下端连接有活塞杆(6)，所述底座(4)的上端安装有液压缸(5)。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述下夹具组件(2)包括定位槽(201)、活动杆(202)、支撑座(203)、压力传感器本体(204)、拉力传感器本体(205)、支撑板(206)、橡胶垫(207)、压板(208)、调节螺杆(209)、把手(210)和延伸板(211)，其中，所述支撑座(203)的内底端安装有压力传感器本体(204)，且支撑座(203)的侧壁贯穿有活动杆(202)，所述压力传感器本体(204)的上端固定有支撑板(206)，所述支撑板(206)的内部安装有拉力传感器本体(205)，所述活动杆(202)的上端凿有定位槽(201)，且活动杆(202)靠近支撑座(203)的一端固定有压板(208)，所述压板(208)远离活动杆(202)的一侧粘接有橡胶垫(207)，所述定位槽(201)的内部嵌入有调节螺杆(209)，所述调节螺杆(209)的下端贯穿有延伸板(211)，且调节螺杆(209)的顶端连接有把手(210)。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆凸块推拉力测试机，其特征在于：所述升降锁紧组件(3)包括内管(31)、伸缩弹簧(32)、插杆(33)、握把(34)、外管(35)、插块(36)和连接板(37)，其中，所述外管(35)的内部贯穿有内管(31)，且外管(35)的外侧连接有伸缩弹簧(32)，所述内管(31)的一侧固定有连接板(37)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴传勇，
申请(专利权)人：联立徐州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32